CMP نىڭ پىلانلاش مېخانىزمى نېمە؟

Dual-Damascene بولسا بىر گەۋدىلەشتۈرۈلگەن توك يولىدا مېتال ئۆز-ئارا ئۇلىنىش ياساشتا ئىشلىتىلىدىغان جەريان تېخنىكىسى. بۇ دەمەشىق مۇساپىسىنىڭ تېخىمۇ تەرەققىي قىلىشى. ئوخشاش جەرياندا بىرلا ۋاقىتتا تۆشۈك ۋە تۆشۈك ھاسىل قىلىپ ، ئۇلارنى مېتال بىلەن تولدۇرۇش ئارقىلىق ، مېتال ئۆز-ئارا تۇتاشتۇرۇش بىر گەۋدىلەشتۈرۈلگەن ئەمەلگە ئاشىدۇ.

نېمە ئۈچۈن دەمەشىق دەپ ئاتىلىدۇ؟

دەمەشىق شەھىرى سۈرىيەنىڭ پايتەختى ، دەمەشىق قىلىچلىرى ئۆتكۈرلىكى ۋە نەپىسلىكى بىلەن داڭلىق. بىر خىل كىرىشتۈرۈش جەريانى تەلەپ قىلىنىدۇ: بىرىنچى ، لازىملىق ئەندىزە دەمەشىق پولاتنىڭ يۈزىگە ئويۇلغان ، ئالدىن تەييارلانغان ماتېرىياللار ئويۇلغان ئويمىلارغا مەھكەم ئورالغان. كىرىش تاماملانغاندىن كېيىن ، يۈزى سەل تەكشى بولماسلىقى مۇمكىن. ھۈنەرۋەن ئۇنى ئەستايىدىللىق بىلەن سىلىقلاپ ، ئومۇمىي راۋانلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. ئۇنىڭ ئۈستىگە بۇ جەريان ئۆزەكنىڭ قوش دەمەشىق جەريانىنىڭ ئەسلى مودېلى. ئالدى بىلەن ئۆڭكۈر ياكى تۆشۈكلەر ئېلېكتر قەۋىتىگە ئويۇلغان ، ئاندىن ئۇلارغا مېتال قاچىلانغان. تولدۇرغاندىن كېيىن ، ئارتۇق مېتال cmp ئارقىلىق چىقىرىۋېتىلىدۇ.

قوش دامېننىڭ ئاساسلىق باسقۇچلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:

Die دىئېلېكترىك قەۋەتنىڭ چۆكۈشى:

يېرىم ئۆتكۈزگۈچكە كرېمنىي تۆت ئوكسىد (SiO2) قاتارلىق بىر قەۋەت دىئېلېكترىك ماتېرىيال قويۇڭ.wafer.

▪ Photolithography ئەندىزىسىنى ئېنىقلاش:

فوتوگرافىيە ئارقىلىق دىئېلېكترىك قەۋىتىدىكى ئۆستەڭ ۋە ئۆستەڭنىڭ شەكلىنى ئېنىقلاڭ.

▪Etching:

قۇرغاق ياكى ھۆل تەمرەتكە ئارقىلىق ئۆڭكۈر ۋە ئۆستەڭ ئەندىزىسىنى دىئېلېكترىك قەۋىتىگە يۆتكەڭ.

Metal مېتالنىڭ قويۇلۇشى:

مىس (Cu) ياكى ئاليۇمىن (Al) قاتارلىق مېتاللارنى ۋېروس ۋە ئۆستەڭگە قويۇپ ، مېتال ئۆز-ئارا ئۇلىنىش ھاسىل قىلىدۇ.

Mechanical خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش:

مېتال يۈزىنى خىمىيىلىك مېخانىك سىلىقلاش ئارتۇق مېتالنى چىقىرىپ تاشلاپ ، يۈزنى تەكشى قىلىدۇ.

ئەنئەنىۋى مېتال ئۆز-ئارا ئىشلەپچىقىرىش جەريانىغا سېلىشتۇرغاندا ، قوش دامېن جەريانى تۆۋەندىكىدەك ئەۋزەللىككە ئىگە:

Process ئاددىيلاشتۇرۇلغان جەريان باسقۇچلىرى:ئوخشاش جەرياندا بىرلا ۋاقىتتا ئۆڭكۈر ۋە ئۆستەڭ ھاسىل قىلىش ئارقىلىق جەريان باسقۇچلىرى ۋە ئىشلەپچىقىرىش ۋاقتى قىسقىرايدۇ.

Manufacturing ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ئۆستۈردى:جەريان باسقۇچلىرىنىڭ ئازىيىشى سەۋەبىدىن ، قوش دامسېن جەريانى ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ئۆستۈرۈپ ، ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىدۇ.

Metal مېتال ئۆز-ئارا ئۇلىنىش ئىقتىدارىنى ياخشىلاش:قوش داماسىن جەريانى تار مېتال ئۆز-ئارا ئۇلىنىشنى ئەمەلگە ئاشۇرالايدۇ ، بۇ ئارقىلىق توك يولىنىڭ بىرىكىشى ۋە ئىقتىدارىنى ئۆستۈرىدۇ.

Para پارازىت سىغىمچانلىقى ۋە قارشىلىقىنى ئازايتىش:تۆۋەن k دىئېلېكترىك ماتېرىياللارنى ئىشلىتىش ۋە مېتال ئۆز-ئارا ئۇلىنىش قۇرۇلمىسىنى ئەلالاشتۇرۇش ئارقىلىق ، پارازىت سىغىمچانلىقى ۋە قارشىلىق كۈچىنى تۆۋەنلىتىپ ، توك يولىنىڭ سۈرئىتى ۋە توك سەرپىياتىنى يۇقىرى كۆتۈرگىلى بولىدۇ.