خىمىيىلىك ھور چۆكۈش (CVD) كرېمنىينىڭ يۈزىگە قاتتىق پىلاستىنكا قويۇش جەريانىنى كۆرسىتىدۇwaferگاز ئارىلاشمىسىنىڭ خىمىيىلىك رېئاكسىيەسى ئارقىلىق. ئوخشىمىغان ئىنكاس شارائىتىغا (بېسىم ، ئالدىنئالا) غا ئاساسەن ، ئۇنى ھەر خىل ئۈسكۈنىلەرنىڭ مودېللىرىغا ئايرىشقا بولىدۇ.
بۇ ئىككى ئۈسكۈنە قايسى جەريانلارغا ئىشلىتىلىدۇ؟
PECVD(پلازما كۈچەيتىلگەن) ئۈسكۈنىلەر ئەڭ كۆپ ۋە ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغان بولۇپ ، OX ، نىترىد ، مېتال دەرۋازا ، ئامورف كاربون قاتارلىقلار. LPCVD (تۆۋەن قۇۋۋەت) ئادەتتە Nitride ، poly ، TEOS دا ئىشلىتىلىدۇ.
پرىنسىپ نېمە؟
PECVD- پلازما ئېنېرگىيىسى بىلەن CVD نى مۇكەممەل بىرلەشتۈرگەن جەريان. PECVD تېخنىكىسى تۆۋەن تېمپېراتۇرا پلازمىسى ئىشلىتىپ ، تۆۋەن بېسىم ئاستىدا جەريان ئۆيىنىڭ كاتودىدا (يەنى ئەۋرىشكە تەخسىسى) پارقىراق نۇر چىقىرىدۇ. بۇ پارقىراق قويۇپ بېرىش ياكى باشقا ئىسسىنىش ئۈسكۈنىسى ئەۋرىشكىنىڭ تېمپېراتۇرىسىنى ئالدىن بېكىتىلگەن سەۋىيىگە كۆتۈرەلەيدۇ ، ئاندىن كونترول قىلىنىدىغان مىقداردىكى گازنى تونۇشتۇرىدۇ. بۇ گاز بىر قاتار خىمىيىلىك ۋە پلازما رېئاكسىيەلىرىنى باشتىن كەچۈرۈپ ، ئاخىرىدا ئەۋرىشكە يۈزىدە قاتتىق پىلاستىنكا ھاسىل قىلىدۇ.
LPCVD - تۆۋەن بېسىملىق خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (LPCVD) رېئاكتوردىكى رېئاكسىيە گازىنىڭ مەشغۇلات بېسىمىنى تەخمىنەن 133Pa ياكى ئۇنىڭدىن تۆۋەنلىتىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن.
ھەر بىرىنىڭ قانداق ئالاھىدىلىكلىرى بار؟
PECVD - پلازما ئېنىرگىيىسى بىلەن CVD نى مۇكەممەل بىرلەشتۈرگەن جەريان: 1) تۆۋەن تېمپېراتۇرا مەشغۇلاتى (ئۈسكۈنىلەرنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرىنىڭ بۇزۇلۇشىدىن ساقلىنىش) 2) فىلىمنىڭ تېز ئۆسۈشى 3) ماتېرىياللارنى تاللىماسلىق ، OX ، نىترىد ، مېتال دەرۋازا ، ئامورفوس كاربوننىڭ ھەممىسى ئۆسەلەيدۇ. 4) نەق مەيداننى نازارەت قىلىش سىستېمىسى بار ، ئۇ رېتسېپنى ئىئون پارامېتىرى ، گازنىڭ ئېقىش سۈرئىتى ، تېمپېراتۇرا ۋە قېلىنلىقى ئارقىلىق تەڭشىيەلەيدۇ.
LPCVD - LPCVD ئامانەت قويغان نېپىز كىنولارنىڭ قەدەم باسقۇچلىرى تېخىمۇ ياخشى بولىدۇ ، تەركىبى ۋە قۇرۇلمىسى ياخشى ، چۆكۈش نىسبىتى ۋە چىقىرىش نىسبىتى يۇقىرى بولىدۇ. ئۇنىڭدىن باشقا ، LPCVD توشۇغۇچى گازىغا ئېھتىياجلىق ئەمەس ، شۇڭا ئۇ زەررىچە بۇلغىنىشنىڭ مەنبەسىنى زور دەرىجىدە تۆۋەنلىتىدۇ ھەمدە نېپىز پەردە چۆكۈش ئۈچۈن يۇقىرى قىممەتلىك يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە كەڭ قوللىنىلىدۇ.
دۇنيانىڭ ھەر قايسى جايلىرىدىكى خېرىدارلارنىڭ بىزنى زىيارەت قىلىپ تېخىمۇ كۆپ مۇلاھىزە قىلىشىنى قارشى ئالىمىز!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
يوللانغان ۋاقتى: Jul-24-2024