كرېمنىي يۈزىدە كرېمنىي تۆت ئوكسىدنىڭ شەكىللىنىشى ئوكسىدلىنىش دەپ ئاتىلىدۇ ، مۇقىم ۋە كۈچلۈك يېپىشقاقلىق كرېمنىي تۆت ئوكسىدنىڭ بارلىققا كېلىشى كرېمنىي توپلاشتۇرۇلغان توك يولى پىلانى تېخنىكىسىنىڭ بارلىققا كېلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقاردى. گەرچە كرېمنىينىڭ ئوكسىدنى كرېمنىينىڭ يۈزىدە بىۋاسىتە يېتىشتۈرۈشنىڭ نۇرغۇن ئۇسۇللىرى بولسىمۇ ، ئەمما ئۇ ئادەتتە ئىسسىقلىق ئوكسىدلىنىش ئارقىلىق ئېلىپ بېرىلىدۇ ، يەنى كرېمنىينى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئوكسىدلىنىش مۇھىتىغا (ئوكسىگېن ، سۇ) ئاشكارىلاش. ئىسسىقلىق ئوكسىدلىنىش ئۇسۇلى كرېمنىي ئوكسىد پىلاستىنكىسى تەييارلاش جەريانىدا فىلىمنىڭ قېلىنلىقى ۋە كرېمنىي / كرېمنىي تۆت ئوكسىد كۆرۈنمە يۈزى ئالاھىدىلىكىنى كونترول قىلالايدۇ. كرېمنىي ئوكسىدنى ئاشۇرۇشنىڭ باشقا تېخنىكىلىرى پلازما ئانودلاش ۋە ھۆل ئانودلاش ، ئەمما بۇ تېخنىكىلارنىڭ ھېچقايسىسى VLSI جەريانلىرىدا كەڭ قوللىنىلمىغان.
كرېمنىي مۇقىم كرېمنىي ئوكسىد ھاسىل قىلىش خاھىشىنى كۆرسىتىپ بېرىدۇ. ئەگەر يېڭىدىن ياسالغان كرېمنىي ئوكسىدلىنىش مۇھىتىغا (ئوكسىگېن ، سۇغا ئوخشاش) تەسىر كۆرسەتسە ، ئۆي تېمپېراتۇرىسىدىمۇ ئىنتايىن نېپىز ئوكسىد قەۋىتى (<20Å) ھاسىل قىلىدۇ. كرېمنىي يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئوكسىدلىنىش مۇھىتىغا دۇچ كەلگەندە ، تېخىمۇ تېز سۈرئەتتە تېخىمۇ قويۇق ئوكسىد قەۋىتى ھاسىل بولىدۇ. كرېمنىيدىن كرېمنىي تۆت ئوكسىد ھاسىل قىلىشنىڭ ئاساسىي مېخانىزمى ياخشى چۈشىنىلدى. دىئال ۋە گروۋ ماتېماتىكىلىق مودېلنى ياساپ چىقتى ، ئۇ ئوكسىد فىلىمىنىڭ ئۆسۈپ يېتىلىش سۈرئىتىنى 300Å دىن يۇقىرى تەسۋىرلەيدۇ. ئۇلار ئوكسىدلىنىشنىڭ تۆۋەندىكى ئۇسۇلدا ئېلىپ بېرىلىشىنى ئوتتۇرىغا قويدى ، يەنى ئوكسىدلىنىش (سۇ مولېكۇلاسى ۋە ئوكسىگېن مولېكۇلاسى) ھازىرقى ئوكسىد قەۋىتى ئارقىلىق Si / SiO2 كۆرۈنمە يۈزىگە تارقىلىپ ، ئوكسىد كرېمنىي بىلەن ئىنكاس قايتۇرۇپ ، كرېمنىي ئوكسىد ھاسىل قىلىدۇ. كرېمنىي ئوكسىد ھاسىل قىلىشنىڭ ئاساسلىق ئىنكاسى تۆۋەندىكىدەك تەسۋىرلەنگەن:
ئوكسىدلىنىش رېئاكسىيەسى Si / SiO2 كۆرۈنمە يۈزىدە كۆرۈلىدۇ ، شۇڭا ئوكسىد قەۋىتى ئۆسكەندە كرېمنىي ئۇدا ئىستېمال قىلىنىدۇ ۋە كۆرۈنمە يۈزى ئاستا-ئاستا كرېمنىيغا بېسىپ كىرىدۇ. كىرىمنىي ۋە كرېمنىي تۆت ئوكسىدنىڭ ماس زىچلىقى ۋە مولېكۇلا ئېغىرلىقىغا ئاساسەن ، ئاخىرقى ئوكسىد قەۋىتىنىڭ قېلىنلىقى ئۈچۈن ئىستېمال قىلىنغان كرېمنىينىڭ% 44 ئىكەنلىكىنى بايقىغىلى بولىدۇ. بۇنداق بولغاندا ، ئوكسىد قەۋىتى 10،000Å ئۆسسە ، 4400Å كرېمنىي ئىستېمال قىلىنىدۇ. بۇ مۇناسىۋەت ئۈستىدە شەكىللەنگەن باسقۇچلارنىڭ ئېگىزلىكىنى ھېسابلاشتا ئىنتايىن مۇھىمكرېمنىيلىق ۋافېر. بۇ باسقۇچلار كرېمنىيلىق ۋافېر يۈزىدىكى ئوخشىمىغان جايلاردىكى ئوكسىدلىنىش نىسبىتىنىڭ نەتىجىسى.
بىز يەنە يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافت ۋە كرېمنىي كاربون مەھسۇلاتلىرى بىلەن تەمىنلەيمىز ، بۇلار ئوكسىدلىنىش ، تارقىلىش ۋە ئۇلاش قاتارلىق ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەشتە كەڭ قوللىنىلىدۇ.
دۇنيانىڭ ھەر قايسى جايلىرىدىكى خېرىدارلارنىڭ بىزنى زىيارەت قىلىپ تېخىمۇ كۆپ مۇلاھىزە قىلىشىنى قارشى ئالىمىز!
https://www.vet-china.com/
يوللانغان ۋاقتى: 11-نويابىردىن 20-نويابىرغىچە