Waferكېسىش توك يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى مۇھىم ھالقىلارنىڭ بىرى. بۇ باسقۇچ يەككە ئۆتكۈزگۈچ توك يولى ياكى ئۆزەكنى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېردىن توغرا ئايرىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن.
ئاچقۇچwaferكېسىش بولسا ئىنچىكە ئۆزەكلەرنى ئايرىپ ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا نازۇك قۇرۇلمىلار ۋە توك يولىغا قىستۇرۇلغانwaferبۇزۇلمىغان. كېسىش جەريانىنىڭ مۇۋەپپەقىيەتلىك بولۇشى ياكى مەغلۇپ بولۇشى ئۆزەكنىڭ ئايرىش سۈپىتى ۋە مەھسۇلات مىقدارىغا تەسىر كۆرسىتىپلا قالماي ، پۈتكۈل ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنىڭ ئۈنۈمى بىلەنمۇ بىۋاسىتە مۇناسىۋەتلىك.
Wa ئۈچ خىل كۆپ ئۇچرايدىغان ۋافېر كېسىش | مەنبە: KLA CHINA
نۆۋەتتە ، ئورتاقwaferكېسىش جەريانى:
تىغ كېسىش: تەننەرخى تۆۋەن ، ئادەتتە قېلىنراق ئىشلىتىلىدۇwafers
لازېر كېسىش: تەننەرخى يۇقىرى ، ئادەتتە قېلىنلىقى 30 مىللىمېتىردىن ئاشىدىغان ۋافېرلارغا ئىشلىتىلىدۇ
پلازما كېسىش: يۇقىرى تەننەرخ ، تېخىمۇ كۆپ چەكلىمىلەر ، ئادەتتە قېلىنلىقى 30 مىللىمېتىردىن تۆۋەن بولغان ۋافېرلارغا ئىشلىتىلىدۇ
مېخانىكىلىق تىغ كېسىش
تىغ كېسىش يۇقىرى سۈرئەتلىك ئايلانما تارتما دىسكا (تىغ) ئارقىلىق پۈتۈك سىزىقىنى بويلاپ كېسىش جەريانى. تىغ ئادەتتە سۈركىلىشچان ياكى دەرىجىدىن تاشقىرى نېپىز ئالماس ماتېرىيالدىن ياسالغان بولۇپ ، كرېمنىيلىق ۋافېردا توغراش ياكى يۆگەشكە ماس كېلىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن ، مېخانىكىلىق كېسىش ئۇسۇلى بولۇش سۈپىتى بىلەن ، تىغ كېسىش فىزىكىلىق ماتېرىياللارنى ئېلىۋېتىشكە تايىنىدۇ ، بۇ ئۆزەكنىڭ گىرۋىكىنى ئاسانلا ئۈزۈش ياكى يېرىلىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ، شۇڭا مەھسۇلات سۈپىتىگە تەسىر كۆرسىتىپ ، مەھسۇلاتنى تۆۋەنلىتىدۇ.
مېخانىكىلىق كۆرۈش جەريانى ئىشلەپچىقارغان ئاخىرقى مەھسۇلاتنىڭ سۈپىتى كېسىش سۈرئىتى ، تىغ قېلىنلىقى ، تىغ دىئامېتىرى ۋە تىغ ئايلىنىش سۈرئىتى قاتارلىق كۆپ خىل پارامېتىرلارنىڭ تەسىرىگە ئۇچرايدۇ.
تولۇق كېسىش ئەڭ ئاساسلىق تىغ كېسىش ئۇسۇلى بولۇپ ، مۇقىم ماتېرىيالغا (كېسىش لېنتىسىغا ئوخشاش) كېسىش ئارقىلىق ئەسەرنى پۈتۈنلەي كېسىپ تاشلايدۇ.
Chan مېخانىكىلىق تىغ كېسىش-تولۇق كېسىش | رەسىم مەنبەسى تورى
يېرىم كېسىش پىششىقلاپ ئىشلەش ئۇسۇلى بولۇپ ، ئەسەرنىڭ ئوتتۇرىسىغا كېسىش ئارقىلىق ئۆستەڭ ھاسىل قىلىدۇ. ئۈزۈش جەريانىنى ئۇدا ئىجرا قىلىش ئارقىلىق ، تارغاق ۋە يىڭنە شەكىللىك نۇقتىلارنى ھاسىل قىلغىلى بولىدۇ.
▲ مېخانىكىلىق تىغ كېسىش يېرىم كېسىش | رەسىم مەنبەسى تورى
قوش كېسىش بىر خىل پىششىقلاپ ئىشلەش ئۇسۇلى بولۇپ ، ئىككى تال ئايلانما تاياقچە ئىشلىتىپ ، ئىككى ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىدە بىرلا ۋاقىتتا تولۇق ياكى يېرىم كېسىش ئېلىپ بارىدۇ. قوش كېسىش تاختىسىنىڭ ئىككى تال ئوق بار. بۇ جەريان ئارقىلىق يۇقىرى ئۈنۈمگە ئېرىشكىلى بولىدۇ.
Chan مېخانىكىلىق تىغ كېسىش-قوش كېسىش | رەسىم مەنبەسى تورى
قەدەم كېسىشتە ئىككى ئايلانما ئايلانما قوش كېسىش تاختىسى قوللىنىلىپ ، ئىككى باسقۇچتا تولۇق ۋە يېرىم كېسىش ئېلىپ بېرىلىدۇ. ۋافېر يۈزىدىكى سىم قەۋىتىنى كېسىش ئۈچۈن ئەلالاشتۇرۇلغان تىغ ۋە قالغان كرېمنىي يەككە خرۇستال ئۈچۈن ئەلالاشتۇرۇلغان تىغ ئىشلىتىپ ، يۇقىرى سۈپەتلىك بىر تەرەپ قىلىشنى قولغا كەلتۈرۈڭ.
▲ مېخانىكىلىق تىغ كېسىش - قەدەم كېسىش | رەسىم مەنبەسى تورى
بېزەك كېسىش بىر تەرەپ قىلىش ئۇسۇلى بولۇپ ، يېرىم كېسىلگەن قىرغا V شەكىللىك قىرلىق تىغ ئىشلىتىپ ، باسقۇچنى كېسىش جەريانىدا ۋافېرنى ئىككى باسقۇچتا كېسىدۇ. كېسىش جەريانى كېسىش جەريانىدا ئېلىپ بېرىلىدۇ. شۇڭلاشقا ، يۇقىرى قېلىپنىڭ كۈچلۈكلۈكى ۋە يۇقىرى سۈپەتلىك پىششىقلاپ ئىشلەشنى ئەمەلگە ئاشۇرغىلى بولىدۇ.
▲ مېخانىكىلىق تىغ كېسىش - بەلۋاغ كېسىش | رەسىم مەنبەسى تورى
لازېر كېسىش
لازېر كېسىش ئالاقىسىز ۋافېر كېسىش تېخنىكىسى بولۇپ ، فوكۇسلانغان لازېر نۇرى ئارقىلىق يەككە ئۆزەكنى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېردىن ئايرىيدۇ. يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك لازېر نۇرى لامپۇچكىنىڭ يۈزىگە مەركەزلەشتۈرۈلۈپ ، تاھارەت ياكى ئىسسىقلىق پارچىلىنىش جەريانى ئارقىلىق ئالدىن بېكىتىلگەن كېسىش لىنىيىسىدىكى ماتېرىياللارنى پارغا ئايلاندۇرىدۇ ياكى چىقىرىۋېتىدۇ.
▲ لازېر كېسىش دىئاگراممىسى | رەسىم مەنبەسى: KLA CHINA
ھازىر كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلىۋاتقان لازېرلارنىڭ تۈرى ئۇلترا بىنەپشە لازېر ، ئىنفىرا قىزىل نۇرلۇق لازېر نۇر ۋە لازېر نۇرلۇق لازېر قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. بۇنىڭ ئىچىدە ئۇلترا بىنەپشە لازېر فوتون ئېنىرگىيىسى يۇقىرى بولغاچقا ، ھەمىشە سوغۇقنى يوقىتىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ ، ئىسسىقلىقنىڭ تەسىرىگە ئۇچرىغان رايون ئىنتايىن كىچىك بولۇپ ، بۇ ۋافېر ۋە ئۇنىڭ ئەتراپىدىكى ئۆزەكلەرنىڭ ئىسسىقلىق بۇزۇلۇش خەۋپىنى ئۈنۈملۈك تۆۋەنلىتىدۇ. ئىنفىرا قىزىل نۇرلۇق لازېر قېلىن ۋافېرلارغا تېخىمۇ ماس كېلىدۇ ، چۈنكى ئۇلار ماتېرىيالغا چوڭقۇر سىڭىپ كىرەلەيدۇ. Femtosecond لازېرلىرى ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى نۇر تومۇرى ئارقىلىق ئاساسەن دېگۈدەك ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈش ئارقىلىق يۇقىرى ئېنىقلىق ۋە ئۈنۈملۈك ماتېرىياللارنى يوقىتىشنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ.
لازېر كېسىش ئەنئەنىۋى تىغ كېسىشتىن كۆرۈنەرلىك ئەۋزەللىككە ئىگە. بىرىنچىدىن ، ئالاقىسىز جەريان بولۇش سۈپىتى بىلەن ، لازېر كېسىش ۋافېرغا جىسمانىي بېسىم تەلەپ قىلمايدۇ ، مېخانىكىلىق كېسىشتە كۆپ ئۇچرايدىغان پارچىلىنىش ۋە يېرىلىش مەسىلىلىرىنى ئازايتىدۇ. بۇ ئىقتىدار لازېر كېسىشنى نازۇك ياكى دەرىجىدىن تاشقىرى نېپىز ۋافېرلارنى بىر تەرەپ قىلىشقا ئالاھىدە ماسلاشتۇرىدۇ ، بولۇپمۇ مۇرەككەپ قۇرۇلمىلىرى ياكى ئىنچىكە ئىقتىدارلىرى بار.
▲ لازېر كېسىش دىئاگراممىسى | رەسىم مەنبەسى تورى
ئۇنىڭدىن باشقا ، لازېر كېسىشنىڭ يۇقىرى ئېنىقلىقى ۋە توغرىلىقى ئۇنى لازېر نۇرىنى ئىنتايىن كىچىك داغ چوڭلۇقىغا مەركەزلەشتۈرۈپ ، مۇرەككەپ كېسىش ئەندىزىسىنى قوللايدۇ ۋە ئۆزەك ئارىسىدىكى ئەڭ تۆۋەن ئارىلىقنى ئايرىشنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ. بۇ ئىقتىدار چوڭلۇقى كىچىكلىگەن ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
قانداقلا بولمىسۇن ، لازېر كېسىشنىڭمۇ بەزى چەكلىمىلىرى بار. تىغ كېسىشكە سېلىشتۇرغاندا ، ئۇ ئاستا ۋە قىممەترەك ، بولۇپمۇ چوڭ تىپتىكى ئىشلەپچىقىرىشتا. ئۇنىڭدىن باشقا ، مۇۋاپىق لازېر تۈرىنى تاللاش ۋە پارامېتىرلارنى ئەلالاشتۇرۇپ ، ئۈنۈملۈك ماتېرىياللارنى چىقىرىۋېتىشكە ۋە ئىسسىقلىقنىڭ تەسىرىگە ئەڭ ئاز ئۇچرايدىغان رايونغا كاپالەتلىك قىلىش بەزى ماتېرىياللار ۋە قېلىنلىقلارغا خىرىس ئېلىپ كېلىدۇ.
لازېر تاھارەت كېسىش
لازېر تاھارەت كېسىش جەريانىدا ، لازېر نۇرى دەل ۋافېر يۈزىدىكى مەلۇم ئورۇنغا مەركەزلەشتۈرۈلگەن بولۇپ ، لازېر ئېنېرگىيىسى ئالدىن بېكىتىلگەن كېسىش ئەندىزىسىگە ئاساسەن يېتەكلىنىپ ، ۋافېردىن ئاستا-ئاستا كېسىلىدۇ. كېسىش تەلىپىگە ئاساسەن ، بۇ مەشغۇلات تومۇر سوقۇلغان لازېر ياكى ئۇدا دولقۇن لازېر ئارقىلىق ئېلىپ بېرىلىدۇ. يەرلىك لازېرنىڭ زىيادە قىزىپ كېتىشى سەۋەبىدىن ۋافېرنىڭ بۇزۇلۇشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن ، سوۋۇتۇش سۈيى سوۋۇتۇش ۋە ۋافېرنىڭ ئىسسىقلىق بۇزۇلۇشىدىن ساقلىنىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، سوۋۇتۇش سۈيى يەنە كېسىش جەريانىدا ھاسىل بولغان زەررىچىلەرنى ئۈنۈملۈك چىقىرىپ تاشلاپ ، بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئېلىپ ، كېسىش سۈپىتىگە كاپالەتلىك قىلالايدۇ.
لازېر كۆرۈنمەيدىغان كېسىش
لازېر يەنە ئىسسىقلىقنى ۋافېرنىڭ ئاساسىي گەۋدىسىگە يۆتكەشكە مەركەزلەشتۈرگىلى بولىدۇ ، بۇ ئۇسۇل «كۆرۈنمەيدىغان لازېر كېسىش» دەپ ئاتىلىدۇ. بۇ ئۇسۇل ئۈچۈن لازېردىن چىققان ئىسسىقلىق يازغۇچىلار يولىدا بوشلۇق پەيدا قىلىدۇ. بۇ ئاجىزلاشقان رايونلار ئاندىن ۋافېر سوزۇلغاندا سۇنۇش ئارقىلىق مۇشۇنىڭغا ئوخشاش سىڭىپ كىرىش ئۈنۈمىگە ئېرىشىدۇ.
La لازېر كۆرۈنمەيدىغان كېسىشنىڭ ئاساسلىق جەريانى
كۆرۈنمەيدىغان كېسىش جەريانى لازېر يۈزىگە سۈمۈرۈلگەن لازېر تاھارەت ئەمەس ، بەلكى ئىچكى سۈمۈرۈلۈش لازېر جەريانى. كۆرۈنمەس كېسىش ئارقىلىق ، دولقۇن ئۇزۇنلۇقى بىلەن لافېر نۇر دەستىسى ئېنىرگىيىسى ئىشلىتىلىدۇ. بۇ جەريان ئاساسلىق ئىككى باسقۇچقا بۆلىنىدۇ ، بىرى لازېرلىق جەريان ، يەنە بىرى مېخانىكىلىق ئايرىش جەريانى.
Laser لازېر نۇرى لامپۇچكىنىڭ ئاستىدا تۆشۈك ھاسىل قىلىدۇ ، ئالدى-كەينى تەرەپ تەسىرگە ئۇچرىمايدۇ | رەسىم مەنبەسى تورى
بىرىنچى قەدەمدە ، لازېر نۇرى لامپۇچكىنى تەكشۈرگەندە ، لازېر نۇرى لامپۇچكىنىڭ ئىچىدىكى مەلۇم بىر نۇقتىغا مەركەزلەشتۈرۈلۈپ ، ئىچىدە يېرىلىش نۇقتىسى شەكىللىنىدۇ. لىم ئېنېرگىيىسى ئىچىدە بىر قاتار يېرىقلارنىڭ شەكىللىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ، بۇلار ۋافېرنىڭ پۈتكۈل قېلىنلىقى ئارقىلىق ئۈستۈنكى ۋە ئاستى يۈزىگە تېخى كېڭەيمىدى.
قېلىنلىقى 100 مىللىمېتىر قېلىنلىقتىكى كرېمنىيلىق ۋافېرنى تىغ ئۇسۇلى ۋە لازېر كۆرۈنمەيدىغان كېسىش ئۇسۇلى بىلەن سېلىشتۇرۇش | رەسىم مەنبەسى تورى
ئىككىنچى قەدەمدە ، ۋافېرنىڭ ئاستىدىكى ئۆزەك لېنتىسى جىسمانى جەھەتتىن كېڭەيتىلىپ ، بىرىنچى باسقۇچتا لازېر جەريانىدا پەيدا بولغان ۋافېر ئىچىدىكى يېرىقلاردا جىددىيلىك بېسىمى پەيدا قىلىدۇ. بۇ بېسىم يېرىقنىڭ ۋافېرنىڭ ئۈستۈنكى ۋە تۆۋەنكى يۈزىگە تىك كېڭىيىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ، ئاندىن بۇ كېسىش نۇقتىلىرىنى بويلاپ ۋافېرنى ئۆزەكلەرگە ئايرىيدۇ. كۆرۈنمەيدىغان كېسىشتە ، يېرىم كېسىش ياكى ئاستى تەرەپ يېرىم كېسىش ئادەتتە ۋافېرنىڭ ئۆزەك ياكى ئۆزەكلەرگە ئايلىنىشىنى ئاسانلاشتۇرىدۇ.
كۆرۈنمەس لازېر كېسىشنىڭ ئاساسلىق ئەۋزەللىكى:
• سوۋۇتقۇچ تەلەپ قىلىنمايدۇ
• ئەخلەت پەيدا بولمايدۇ
• سەزگۈر توك يولىغا زىيان يەتكۈزىدىغان ئىسسىقلىق تەسىرىگە ئۇچرىغان رايون يوق
پلازما كېسىش
پلازما كېسىش (پلازما قىرىش ياكى قۇرۇق قىچىشىش دەپمۇ ئاتىلىدۇ) ئىلغار ۋافېر كېسىش تېخنىكىسى بولۇپ ، رېئاكتىپ ئىئون قىرىش (RIE) ياكى چوڭقۇر رېئاكتىپ ئىئون قىرىش (DRIE) ئارقىلىق يەككە ئۆزەكنى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېردىن ئايرىيدۇ. بۇ تېخنىكا پلازما ئارقىلىق ئالدىن بېكىتىلگەن كېسىش لىنىيىسىدىكى ماتېرىياللارنى خىمىيىلىك ھالدا ئېلىۋېتىش ئارقىلىق كېسىشنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ.
پلازما كېسىش جەريانىدا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېر ۋاكۇئۇملۇق كامېرغا قويۇلدى ، كامېرغا كونترول قىلىنىدىغان رېئاكتىپ گاز ئارىلاشمىسى كىرگۈزۈلۈپ ، ئېلېكتر مەيدانى قوللىنىلىپ ، يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى رېئاكتىپ ئىئون ۋە رادىكاللار بار پلازما ھاسىل قىلىندى. بۇ خىل جانلىق جانلىقلار ۋافېر ماتېرىيالى بىلەن ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىپ ، خىمىيىلىك رېئاكسىيە ۋە فىزىكىلىق داغنى بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق يازغۇچى لىنىيىسىدىكى ۋافېر ماتېرىياللىرىنى تاللاپ چىقىرىپ تاشلايدۇ.
پلازما كېسىشنىڭ ئاساسلىق ئەۋزەللىكى شۇكى ، ئۇ ۋافېر ۋە ئۆزەكنىڭ مېخانىكىلىق بېسىمىنى تۆۋەنلىتىدۇ ھەمدە جىسمانىي ئۇچرىشىش كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان زىياننى ئازايتىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن ، بۇ جەريان باشقا ئۇسۇللارغا قارىغاندا تېخىمۇ مۇرەككەپ ۋە ۋاقىت ئىسراپ قىلىدۇ ، بولۇپمۇ قېلىن ۋافېر ياكى ماتېرىياللارنىڭ چىرىشچانلىقى يۇقىرى ماتېرىياللارنى بىر تەرەپ قىلغاندا ، ئۇنىڭ تۈركۈملەپ ئىشلەپچىقىرىشتا قوللىنىلىشى چەكلىك.
Source رەسىم مەنبەسى تورى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا ، ۋافېر كېسىش ئۇسۇلىنى wafer ماتېرىيال خۇسۇسىيىتى ، ئۆزەكنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى ۋە گېئومېتىرىيە ، تەلەپتىكى ئېنىقلىق ۋە توغرىلىق ، شۇنداقلا ئىشلەپچىقىرىش ئومۇمىي قىممىتى ۋە ئۈنۈمى قاتارلىق نۇرغۇن ئامىللارغا ئاساسەن تاللاش كېرەك.
يوللانغان ۋاقتى: 20-سېنتەبىردىن 2024-يىلغىچە