خىمىيىلىك پارنى چۆكۈش (CVD) ، ئالدىنئالا ئۆزگەرتىش ، پلازما پۈركۈش قاتارلىقلار ئارقىلىق SiC سىرنى تەييارلىغىلى بولىدۇ ، CHEMICAL ھور چۆكمىسى تەييارلىغان سىر بىر خىل ھەم ئىخچام بولۇپ ، لايىھەلىنىشى ياخشى. مېتىل ترىخلوسىلاننى ئىشلىتىش. (CHzSiCl3, MTS) كىرىمنىي مەنبەسى ، SiC سىرلىق تەييارلىق ...
تېخىمۇ كۆپ ئوقۇڭ