سىلىتسىيلىق ۋافېرنى قانداق ياساش كېرەك

سىلىتسىيلىق ۋافېرنى قانداق ياساش كېرەك

A waferبىر بۆلەك كرېمنىينىڭ قېلىنلىقى تەخمىنەن 1 مىللىمېتىر قېلىنلىقتا بولۇپ ، تېخنىكىلىق تەلەپچانلىقى كۈچلۈك بولغان جەريانلارنىڭ يۈزى ئىنتايىن تەكشى. كېيىنكى ئىشلىتىش قايسى كىرىستال ئۆسۈپ يېتىلىش تەرتىپىنى قوللىنىش كېرەكلىكىنى بەلگىلەيدۇ. Czochralski جەريانىدا ، پولى كرىستاللىق كرېمنىي ئېرىپ ، قەلەم نېپىز ئۇرۇق كىرىستال ئېرىتىلگەن كرېمنىيغا چىلىدۇ. ئاندىن ئۇرۇق كىرىستال ئايلىنىدۇ ۋە ئاستا-ئاستا يۇقىرىغا تارتىلىدۇ. ئىنتايىن ئېغىر بولغان چوڭ ئۈچەي تاياقچە باكتېرىيەسى. كىچىك ساپلىقتىكى دوپپىلارنى قوشۇش ئارقىلىق مونوپولنىڭ ئېلېكتر ئالاھىدىلىكىنى تاللىغىلى بولىدۇ. خرۇستال خېرىدارلارنىڭ ئۆلچىمىگە ئاساسەن كۆپەيتىلگەندىن كېيىن سىلىقلاپ پارچە قىلىپ كېسىلىدۇ. ھەرخىل قوشۇمچە ئىشلەپچىقىرىش باسقۇچلىرىدىن كېيىن ، خېرىدار ئالاھىدە ئورالمىلاردا بەلگىلەنگەن ۋافېرلارنى تاپشۇرۇۋالىدۇ ، بۇ خېرىدارنى ۋافېرنى ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىدە دەرھال ئىشلىتەلەيدۇ.

CZOCHRALSKI PROCESS

بۈگۈنكى كۈندە ، كرېمنىيلىق يەككە كرىستالنىڭ زور بىر قىسمى Czochralski جەريانىغا ئاساسەن ئۆستۈرۈلىدۇ ، ئۇ پولى كرىستاللىن يۇقىرى ساپلىقتىكى كرېمنىينى يۇقىرى بېسىملىق كۋارتستا ئېرىتىپ ، دوپپا قوشۇشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ (ئادەتتە B ، P ، As ، Sb). نېپىز ، يەككە كرىستال ئۇرۇق كىرىستال ئېرىتىلگەن كرېمنىيغا چىلىدۇ. ئاندىن بۇ نېپىز كىرىستالدىن چوڭ CZ كىرىستال تەرەققىي قىلىدۇ. ئېرىتىلگەن كرېمنىينىڭ تېمپېراتۇرىسى ۋە ئېقىمى ، خرۇستال ۋە ھالقىلىق ئايلىنىش ، شۇنداقلا خرۇستال تارتىش سۈرئىتى ئىنتايىن يۇقىرى سۈپەتلىك يەككە كرىستال كرېمنىينى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

FLOAT ZONE METHOD

لەيلىمە رايون ئۇسۇلى بويىچە ئىشلەنگەن يەككە كرىستاللار IGBTs غا ئوخشاش ئېلېكتر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاپچاسلىرىدا ئىشلىتىشكە ماس كېلىدۇ. سىلىندىرلىق پولى كرىستاللىق كرېمنىيلىق كىرىش ئېغىزى ئىندۇكسىيە كاتەكچىسىگە ئورنىتىلغان. رادىئو چاستوتا ئېلېكتر ماگنىت مەيدانى كرېمنىينى تاياقنىڭ تۆۋەنكى قىسمىدىن ئېرىتىشكە ياردەم بېرىدۇ. ئېلېكتر ماگنىت مەيدانى ئىندۇكسىيە كاتەكچىسىدىكى كىچىك تۆشۈكتىن كىرىمىنىينىڭ ئېقىشىنى تەڭشەيدۇ ھەمدە تۆۋەندە ياتقان يەككە شەكىللىك (لەيلىمە رايون ئۇسۇلى). دوپپا ئادەتتە B ياكى P بىلەن بىللە ، گازلىق ماددىلارنى قوشۇش ئارقىلىق ئەمەلگە ئاشىدۇ.