PECVD ئۈچۈن Graphite Substrate Wafer Holder

PECVD ئالاھىدە رەسىم ئۈچۈن Graphite Substrate Wafer Holder

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

VET ئېنىرگىيىسىنىڭ گرافىك سۇبيېكت ئىگىسى PECVD جەريانىدا پۈتكۈل دولقۇننىڭ ماسلىشىشى ۋە مۇقىملىقىنى ساقلاپ ، بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئېلىپ ، زىيان خەۋىپىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈردى. Graphite Wafer Holder بىخەتەر ، ھەتتا سۇپا بىلەن تەمىنلەيدۇ ، ۋافېرلارنىڭ ئىزچىل ۋە يۇقىرى سۈپەتلىك چۆكۈش ئۈچۈن پلازما بىلەن تەكشى ئۇچرىشىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە ئالاھىدە كۈچلۈكلىكى بىلەن بۇ تۇتقۇچى ئومۇمىي جەريان ئۈنۈمى ۋە مەھسۇلات ئۈنۈمىنى ئاشۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ.

بىزگە ئېلخەت يوللاڭ PDF قىلىپ چۈشۈرۈڭ

مەھسۇلات تەپسىلاتى

مەھسۇلات خەتكۈچلىرى

VET ئېنىرگىيىلىك گرافىك سۇبيېكتى Wafer Holder بولسا PECVD (پلازما كۈچەيتىلگەن خىمىيىلىك ھور چۆكۈش) جەريانى ئۈچۈن لايىھەلەنگەن ئېنىق توشۇغۇچى. بۇ ئەلا سۈپەتلىك گرافىك سۇبيېكت تۇتقۇچى يۇقىرى ساپلىق ، يۇقىرى زىچلىقتىكى گرافت ماتېرىيالىدىن ياسالغان بولۇپ ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق ، چىرىشكە چىداملىق ، ئۆلچەملىك مۇقىملىق ۋە باشقا ئالاھىدىلىكلەرگە ئىگە. ئۇ PECVD جەريانىنى مۇقىم قوللاش سۇپىسى بىلەن تەمىنلەپ ، كىنو چۆكمىسىنىڭ بىردەكلىكى ۋە تەكشىلىكىگە كاپالەتلىك قىلالايدۇ.

VET ئېنېرگىيە PECVD جەريان گرافت ۋافېر قوللاش جەدۋىلىدە تۆۋەندىكىدەك ئالاھىدىلىكلەر بار:

▪ساپلىقى يۇقىرى:ئىنتايىن تۆۋەن نىجاسەت مەزمۇنى ، فىلىمنىڭ بۇلغىنىشىدىن ساقلىنىڭ ، كىنو سۈپىتىگە كاپالەتلىك قىلىڭ.

▪زىچلىقى يۇقىرى:يۇقىرى زىچلىق ، مېخانىكىلىق كۈچلۈك ، يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى بېسىملىق PECVD مۇھىتىغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ.

▪ياخشى ئۆلچەملىك مۇقىملىق:يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا كىچىك ئۆلچەملىك ئۆزگىرىش ، جەرياننىڭ مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

▪مۇنەۋۋەر ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى:ئىسسىق ئۆتۈپ ، ئىسسىق ئۆتۈپ قېلىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.

▪كۈچلۈك چىرىتىشكە قارشى تۇرۇش:ھەر خىل چىرىتىشچان گاز ۋە پلازما ئارقىلىق چىرىشكە قارشى تۇرالايدۇ.

▪خاسلاشتۇرۇلغان مۇلازىمەت:ئوخشىمىغان چوڭلۇقتىكى ۋە شەكىلدىكى گرافت قوللاش جەدۋىلىنى خېرىدارلارنىڭ ئېھتىياجىغا ئاساسەن خاسلاشتۇرغىلى بولىدۇ.

مەھسۇلات ئەۋزەللىكى

▪كىنو سۈپىتىنى يۇقىرى كۆتۈرۈش:بىر تۇتاش كىنو قويۇشقا كاپالەتلىك قىلىپ ، كىنو سۈپىتىنى ئۆستۈرۈڭ.

▪ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۆمرىنى ئۇزارتىش:ئېسىل چىرىشكە چىداملىق ، PECVD ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىشلىتىش مۇددىتىنى ئۇزارتىڭ.

▪ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىش:ئەلا سۈپەتلىك گرافت تەخسىسى تاشلاندۇق نىسبىتىنى تۆۋەنلىتىپ ، ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىدۇ.

SGL دىن گرافىك ماتېرىيالى:

تىپىك پارامېتىر: R6510
كۆرسەتكۈچ	سىناق ئۆلچىمى	قىممەت	بىرلىك
ئوتتۇرىچە ئاشلىق چوڭلۇقى	ISO 13320	10	μm
توپ زىچلىقى	DIN IEC 60413/204	1.83	g / cm³
ئېچىنىشلىق	DIN66133	10	%
ئوتتۇراھال تۆشۈكنىڭ چوڭلۇقى	DIN66133	1.8	μm
يول يۈرۈشچانلىقى	DIN 51935	0.06	cm² / s
Rockwell قاتتىقلىقى HR5 / 100	DIN IEC60413 / 303	90	HR
كونكرېت ئېلېكتر قارشىلىق كۈچى	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
ئەۋرىشىم كۈچ	DIN IEC 60413/501	60	MPa
پىرىسلاش كۈچى	DIN 51910	130	MPa
ياشنىڭ مودۇلى	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
ئىسسىقلىق كېڭىيىشى (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

ئۇ ئالاھىدە يۇقىرى ئۈنۈملۈك قۇياش ئېنېرگىيىسى باتارېيەسى ياساش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ ، G12 چوڭ رازمېرلىق ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەشنى قوللايدۇ. ئەلالاشتۇرۇلغان توشۇغۇچى لايىھىسى ئىشلەپچىقىرىش مىقدارىنى كۆرۈنەرلىك ئاشۇرۇپ ، تېخىمۇ يۇقىرى مەھسۇلات نىسبىتى ۋە ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىدۇ.

Item	تىپ	نومۇر ۋافېر
PEVCD Grephite كېمىسى - 156 يۈرۈش	156-13 گرېتسىيە كېمىسى	144
	156-19 گرېتسىيە كېمىسى	216
	156-21 گرېتسىيە كېمىسى	240
	156-23 گرافت كېمىسى	308
PEVCD Grephite كېمىسى - 125 يۈرۈش	125-15 گرېتسىيە كېمىسى	196
	125-19 گرېتسىيە كېمىسى	252
	125-21 grphite كېمىسى	280