VET EnergyPECVD جەريان گرافىك توشۇغۇچى PECVD (پلازما كۈچەيتىلگەن خىمىيىلىك ھورنىڭ چۆكۈپ كېتىش) جەريانىغا ماسلاشتۇرۇلغان يۇقىرى سۈپەتلىك ئىستېمال قىلىشقا بولىدۇ. بۇ گرافت توشۇغۇچى يۇقىرى ساپلىق ، يۇقىرى زىچلىقتىكى گرافت ماتېرىيالىدىن ياسالغان بولۇپ ، يۇقىرى تېمپېراتۇراغا چىداملىق ، چىرىشكە چىداملىق ، ئۆلچەملىك مۇقىملىق ۋە باشقا ئالاھىدىلىكلەرگە ئىگە ، PECVD جەريانىنى مۇقىم توشۇغۇچى سۇپىسى بىلەن تەمىنلەپ ، نېپىز پەردىنىڭ بىردەكلىكى ۋە تەكشىلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. deposition.
PECVD جەريانىدىكى گرافىك توشۇغۇچىلارنىڭ تۆۋەندىكىدەك ئالاھىدىلىكلىرى بار:
▪ يۇقىرى ساپلىق: ئىنتايىن تۆۋەن نىجاسەت مەزمۇنى ، فىلىمنىڭ بۇلغىنىشىدىن ساقلىنىش ۋە كىنو سۈپىتىگە كاپالەتلىك قىلىش.
Density يۇقىرى زىچلىق: يۇقىرى زىچلىق ، مېخانىكىلىق كۈچلۈك ، يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى بېسىملىق PECVD مۇھىتىغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ.
▪ ياخشى ئۆلچەملىك مۇقىملىق: يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا كىچىك ئۆلچەملىك ئۆزگىرىش ، جەرياننىڭ مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
Thermal مۇنەۋۋەر ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى: ئىسسىق ئۆتۈپ ، ئىسسىق ئۆتۈپ قېلىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
▪ كۈچلۈك چىرىشكە چىداملىق: ھەر خىل چىرىتكۈچى گاز ۋە پلازما ئارقىلىق چىرىشكە قارشى تۇرالايدۇ.
▪ خاسلاشتۇرۇلغان مۇلازىمەت: ئوخشىمىغان چوڭلۇقتىكى ۋە شەكىلدىكى گرافت توشۇغۇچىلار خېرىدارلارنىڭ ئېھتىياجىغا ئاساسەن خاسلاشتۇرۇلىدۇ.
SGL دىن گرافىك ماتېرىيالى:
| تىپىك پارامېتىر: R6510 | |||
| كۆرسەتكۈچ | سىناق ئۆلچىمى | قىممەت | بىرلىك |
| ئوتتۇرىچە ئاشلىق چوڭلۇقى | ISO 13320 | 10 | μm |
| توپ زىچلىقى | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g / cm3 |
| ئېچىنىشلىق | DIN66133 | 10 | % |
| ئوتتۇراھال تۆشۈكنىڭ چوڭلۇقى | DIN66133 | 1.8 | μm |
| يول يۈرۈشچانلىقى | DIN 51935 | 0.06 | cm² / s |
| Rockwell قاتتىقلىقى HR5 / 100 | DIN IEC60413 / 303 | 90 | HR |
| كونكرېت ئېلېكتر قارشىلىق كۈچى | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| ئەۋرىشىم كۈچ | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| پىرىسلاش كۈچى | DIN 51910 | 130 | MPa |
| ياشنىڭ مودۇلى | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
| ئىسسىقلىق كېڭىيىشى (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ئۇ ئالاھىدە يۇقىرى ئۈنۈملۈك قۇياش ئېنېرگىيىسى باتارېيەسى ياساش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ ، G12 چوڭ رازمېرلىق ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەشنى قوللايدۇ. ئەلالاشتۇرۇلغان توشۇغۇچى لايىھىسى ئىشلەپچىقىرىش مىقدارىنى كۆرۈنەرلىك ئاشۇرۇپ ، تېخىمۇ يۇقىرى مەھسۇلات نىسبىتى ۋە ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
| Item | تىپ | نومۇر ۋافېر |
| PEVCD Grephite كېمىسى - 156 يۈرۈش | 156-13 گرېتسىيە كېمىسى | 144 |
| 156-19 گرېتسىيە كېمىسى | 216 | |
| 156-21 گرېتسىيە كېمىسى | 240 | |
| 156-23 گرافت كېمىسى | 308 | |
| PEVCD Grephite كېمىسى - 125 يۈرۈش | 125-15 گرېتسىيە كېمىسى | 196 |
| 125-19 گرېتسىيە كېمىسى | 252 | |
| 125-21 grphite كېمىسى | 280 |
