Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorچۆكمە ياكى Epitaxy جەريانلىرىغا ئوخشاش ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئاستى قىسمىنى ساقلاش ۋە قىزىتىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان ئالاھىدە لايىھەلەنگەن قوللاش ۋە ئىسسىتىش ئۈسكۈنىسى.

ئۇنىڭ قۇرۇلمىسى ئادەتتە سىلىندىرلىق ياكى ئازراق تۇڭ شەكىللىك ، يۈزىدە كۆپ خالتا ياكى ۋافېر ئورۇنلاشتۇرىدىغان سۇپىلار بار ، ئىسسىنىش ئۇسۇلىغا ئاساسەن قاتتىق ياكى كاۋاك لايىھىلەنگەن بولىدۇ.

تۇتقاقلىق تۇڭ سۈمۈرگۈچنىڭ ئاساسلىق ئىقتىدارلىرى:

-Substrate قوللاش: كۆپ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرنى بىخەتەر ساقلايدۇ
-ئىسسىقلىق مەنبەسى: ئىسسىنىش ئارقىلىق ئۆسۈشكە ئېھتىياجلىق يۇقىرى تېمپېراتۇرا بىلەن تەمىنلەيدۇ
-تېمپېراتۇرىنىڭ بىردەكلىكى: تارماق ئېلېمېنتلارنىڭ بىردەك ئىسسىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ
-روتا: ئادەتتە ئۆسۈش جەريانىدا ئايلىنىدۇ ، تېمپېراتۇرا ۋە گاز تەقسىملەشنىڭ بىردەكلىكىنى ئۆستۈرىدۇ.

Epi گرافت تۇڭىنىڭ سۈمۈرگۈچنىڭ خىزمەت پرىنسىپى:
- تۇتقاقلىق رېئاكتوردا ، تۇڭ سۈمۈرگۈچ ئېھتىياجلىق تېمپېراتۇرىدا قىزىتىلىدۇ (ئادەتتە كرېمنىي تۇتقاقلىق كېسىلى ئۈچۈن 1000 ℃ -1200))
- تۇڭ سۈمۈرگۈچ ئايلىنىدۇ ، بىردەك تېمپېراتۇرا تەقسىملىنىشى ۋە گازنىڭ ئايلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
- رېئاكسىيە گازى يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پارچىلىنىپ ، يەر ئاستى يۈزىدە ئېپىتاكسىيىلىك قەۋەت ھاسىل قىلىدۇ.

قوللىنىشچان پروگراممىلار:
-كۆمۈلدە كرېمنىينىڭ ئېپىتاكسىيىلىك ئۆسۈشىگە ئىشلىتىلىدۇ
-GaAs ، InP قاتارلىق باشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللارنىڭ تارقىلىشچانلىقىغىمۇ ماس كېلىدۇ.

VET ئېنىرگىيىسى CVD-SiC سىر بىلەن يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافتنى ئىشلىتىپ خىمىيىلىك مۇقىملىقنى ئاشۇرىدۇ:

VET ئېنېرگىيە Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor نىڭ ئەۋزەللىكى:

- يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى
-ياخشى ئىسسىقلىق بىرلىكى
-باشقىلارنى بىرلا ۋاقىتتا بىر تەرەپ قىلىپ ، ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ئۆستۈرگىلى بولىدۇ.
-خېمىيىلىك جەھەتتىن ئىنېرتسىيىلىك ، يۇقىرى ساپلىقتىكى مۇھىتنى ساقلاش.