Ион бомбардирасының бертөрле булмавы
Корыэфиргадәттә физик һәм химик эффектларны берләштергән процесс, анда ион бомбардирасы мөһим физик эфир ысулы. .Әр сүзнеңчистарту процессы, вакыйга почмагы һәм ионнарның энергия бүленеше тигез булмаска мөмкин.
Әгәр дә ион вакыйгалар почмагы тротуардагы төрле позицияләрдә төрле булса, ионнарның тротуардагы эффектлары да төрле булыр. Ион вакыйгаларының почмаклары зуррак булган өлкәләрдә ионнарның тротуардагы эффекты көчлерәк була, бу тротуарның күбрәк таралышына китерәчәк, тротуарның иелүенә китерә. Моннан тыш, ион энергиясенең тигез булмаган бүленеше дә шундый ук эффектлар китерәчәк. Energyгары энергияле ионнар материалларны эффективрак бетерә ала, нәтиҗәдә туры килмиэфиртротуарның дәрәҗәләре төрле позицияләрдә, бу үз чиратында тротуарның иелүенә китерә.
Фоторезист йогынтысы
Фоторесист коры эфирда маска ролен башкара, чистартылырга тиеш булмаган урыннарны саклый. Ләкин, фоторесист шулай ук плазма бомбардирациясеннән һәм химик реакцияләрдән тәэсир итә, һәм аның эшләнеше үзгәрергә мөмкин.
Әгәр дә фоторесистның калынлыгы тигез булмаса, эшкәртү процессында куллану дәрәҗәсе туры килмәсә, яки фоторесист белән субстрат арасындагы ябышу төрле урында төрле булса, бу тротуарларның тигез булмаган саклануына китерергә мөмкин. Мәсәлән, нечкә фоторезист яки зәгыйфь ябышу булган урыннар төп материалны җиңелрәк ясарга мөмкин, бу тротуарларның бу урыннарда иелүенә китерә.
Субстрат материаль үзлекләрдәге аермалар
Чистартылган субстрат материалның үзе төрле характеристикаларга ия булырга мөмкин, мәсәлән, төрле кристалл ориентацияләр һәм төрле төбәкләрдә допинг концентрацияләре. Бу аермалар эфир тизлегенә һәм эфир сайлап алуына тәэсир итәчәк.
Мисал өчен, кристалл кремнийда кремний атомнарының төрле кристалл юнәлештә урнашуы төрле, һәм аларның реактивлыгы һәм эфир газы белән эфир тизлеге дә төрлечә булачак. Эфирлау процессы вакытында, материаль характердагы аермалар аркасында килеп чыккан төрле эфир ставкалары төрле урыннардагы тротуарларның тирәнлеген туры килмәячәк, ахыр чиктә тротуарның бөкләнүенә китерәчәк.
Equipmentиһаз белән бәйле факторлар
Эшләү җиһазларының эшләве һәм торышы шулай ук эфир нәтиҗәләренә мөһим йогынты ясый. Мәсәлән, реакция палатасында тигез булмаган плазманы тарату һәм электродның тигез булмаган киеме кебек проблемалар эфир вакытында вон өслегендә ион тыгызлыгы һәм энергия кебек параметрларның тигез булмаган таралышына китерергә мөмкин.
Моннан тыш, җиһазларның температураны тигез булмаган контрольдә тоту һәм газ агымының аз гына үзгәрүе шулай ук эфирның бердәмлегенә тәэсир итә, тротуарның бөкләнүенә китерә.
Пост вакыты: 03-2024 декабрь