Ярымүткәргеч CVD җиһазларында PECVD һәм LPCVD арасында нинди аерма бар?

Химик пар парламенты (CVD) кремний өслегендә каты пленка урнаштыру процессын аңлатавафергаз катнашмасының химик реакциясе аша. Төрле реакция шартлары буенча (басым, прекурсор) аны төрле җиһаз модельләренә бүлеп була.

Бу ике җайланма нинди процесслар өчен кулланыла?
PECVD(Плазма көчәйтелгән) җиһаз - иң күп һәм иң еш кулланыла торган, OX, Nitride, металл капка, аморф углерод һ.б .; LPCVD (Түбән Көч) гадәттә Нитрид, поли, TEOSда кулланыла.
Нинди принцип?
PECVD - плазма энергиясен һәм CVDны берләштергән процесс. PECVD технологиясе түбән температурада процесс палатасы катодында (ягъни үрнәк подшипка) ялтыравык җибәрү өчен түбән температуралы плазманы куллана. Бу ялтыравык агызу яки башка җылыту җайланмасы үрнәкнең температурасын алдан билгеләнгән дәрәҗәгә күтәрә ала, аннары контроль күләмдә эшкәртелгән газ кертә ала. Бу газ химик һәм плазмалы реакцияләр сериясен кичерә, һәм ниһаять, үрнәк өслегендә каты пленка ясый.

LPCVD - Түбән басымлы химик пар парламенты (LPCVD) реактордагы реакция газының эш басымын якынча 133Pa яки аннан да азрак киметү өчен эшләнгән.
Eachәрберсенең нинди үзенчәлекләре бар?
PECVD - плазма энергиясен һәм CVDны камилләштергән процесс: 1) Түбән температурада эшләү (җиһазга югары температура зыян китермәсен); 2) Фильмның тиз үсеше; 3) Материалларны сайламагыз, OX, Нитрид, металл капка, аморф углерод барысы да үсә ала; 4) Рецептны ион параметрлары, газ агымы тизлеге, температура һәм кино калынлыгы аша көйли ала торган мониторинг системасы бар.
LPCVD - LPCVD тарафыннан урнаштырылган нечкә фильмнар яхшырак адым каплауга, яхшы композициягә һәм структураны контрольдә тотуга, югары чүпләнү дәрәҗәсенә һәм чыгарылышына ия булачак. Моннан тыш, LPCVD ташучы газ таләп итми, шуңа күрә ул кисәкчәләрнең пычрану чыганагын киметә һәм нечкә пленка чүпләү өчен югары кыйммәтле ярымүткәргеч тармакларында киң кулланыла.

 

Киләсе сөйләшү өчен безгә бөтен дөньядан килгән клиентларны рәхим итегез!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/