CVD (Химик пар парламенты) - кремний карбид капламнарын әзерләү өчен еш кулланыла торган ысул.CVD кремний карбид каплауларыбик күп уникаль үзенчәлекләргә ия. Бу мәкалә CVD кремний карбид каплауны әзерләү ысулы һәм аның эш үзенчәлекләре белән таныштырачак.
1. Әзерлек ысулыCVD кремний карбид каплавы
CVD ысулы газлы прекурсорларны югары температура шартларында каты кремний карбид капламаларына әйләндерә. Төрле газлы прекурсорлар буенча, аны газ фазасы CVD һәм сыек фаза CVDга бүлеп була.
1. Пар фазасы CVD
Пар фазасы CVD газлы прекурсорларны куллана, гадәттә органосиликон кушылмалары, кремний карбид пленкалары үсешенә ирешү өчен. Гадәттә кулланыла торган органосиликон кушылмаларына метилсилан, диметилсилан, моносилан һ.б. керә, алар газ прекурсорларын югары температуралы реакция палаталарына ташып металл субстратларда кремний карбид пленкаларын ясыйлар. Реакция палатасында югары температура өлкәләре гадәттә индукция җылыту яки резистив җылыту ярдәмендә барлыкка килә.
2. Сыек фаза CVD
Сыек фазалы CVD сыек прекурсор куллана, гадәттә кремний һәм силанол кушылмасы булган органик эретүче, реакция камерасында җылытыла һәм парлана, аннары химик реакция ярдәмендә субстратта кремний карбид пленкасы барлыкка килә.
2. Эшчәнлек үзенчәлекләреCVD кремний карбид каплавы
1.Температураның югары күрсәткечләре
CVD кремний карбид каплауларыискиткеч югары температураның тотрыклылыгын һәм оксидлашуга каршы торуны тәкъдим итегез. Ул югары температура шартларында эшләргә сәләтле һәм югары температурада экстремаль шартларга каршы тора ала.
2. Яхшы механик үзлекләр
CVD кремний карбид каплавыюгары каты һәм яхшы киемгә каршы. Ул металл субстратларны киемнән һәм коррозиядән саклый, материалның хезмәт срогын озайта.
3. Искиткеч химик тотрыклылык
CVD кремний карбид каплауларыкислоталар, эшкәртүләр һәм тозлар кебек гомуми химикатларга бик чыдам. Ул химик һөҗүмгә һәм субстрат коррозиясенә каршы тора.
4. Түбән сүрелү коэффициенты
CVD кремний карбид каплавытүбән сүрелү коэффициенты һәм яхшы майлау үзлекләренә ия. Ул сүрелү һәм киемне киметә, материал куллануның эффективлыгын күтәрә.
5. Яхшы җылылык үткәрүчәнлеге
CVD кремний карбид каплавы яхшы җылылык үткәрүчәнлек үзенчәлекләренә ия. Ул җылылыкны тиз үткәрә һәм металл нигезнең җылылык тарату эффективлыгын яхшырта ала.
6. Яхшы электр изоляциясе үзлекләре
CVD кремний карбид каплавы яхшы электр изоляциясенә ия һәм агымның агып китүен булдыра ала. Электрон җайланмаларны изоляцияләүдә киң кулланыла.
7. Көйләнә торган калынлык һәм состав
CVD процессындагы шартларны һәм прекурсор концентрациясен контрольдә тотып, кремний карбид пленкасының калынлыгы һәм составы көйләнергә мөмкин. Бу төрле кушымталар өчен бик күп вариантлар һәм сыгылмалар бирә.
Кыскасы, CVD кремний карбид каплавы искиткеч югары температура күрсәткечләренә, искиткеч механик үзлекләренә, яхшы химик тотрыклылыкка, түбән сүрелү коэффициентына, яхшы җылылык үткәрүчәнлегенә һәм электр изоляциясенә ия. Бу үзлекләр CVD кремний карбид капламаларын күп өлкәләрдә киң кулланалар, шул исәптән электроника, оптика, аэрокосмос, химия сәнәгате һ.б.
Пост вакыты: 20-2024 март