Графит көймәләр, шулай ук графит көймәләр буларак та билгеле, ярымүткәргеч керамика җитештерүнең катлаулы процессларында мөһим роль уйныйлар. Бу махсуслаштырылган суднолар югары үткәргеч эшкәртү вакытында ярымүткәргеч ваферлар өчен ышанычлы йөртүче булып хезмәт итәләр, төгәл һәм контроль эшкәртүне тәэмин итәләр. Аларның уникаль характеристикалары һәм күпкырлы кушымталары белән,Графит көймәләрярымүткәргеч тармагында алыштыргысыз коралга әйләнде. Әйдәгез, төп үзенчәлекләрне өйрәникГрафит көймәләрярымүткәргеч керамика җитештерүдә мөһим компонентлар.
1. Highгары температурага толерантлык:
Графит көймәләрГадәттән тыш җылылыкка каршы торулары белән танылган югары сыйфатлы графит материаллардан эшләнгән. Бу атрибут Графит көймәләренә ярымүткәргеч эшкәртү процессларында очрый торган экстремаль температураларга каршы торырга мөмкинлек бирә, мәсәлән, химик пар парламенты (CVD) һәм кремний карбид каплавы. Көчле җылылык шартларында структур бөтенлекне һәм үлчәмле тотрыклылыкны саклап калу ярымүткәргеч җитештерүне тәэмин итү өчен бик мөһим.
2. Химик инерция:
Графит, кулланылган төп материалГрафит көймәләр, коррозиягә һәм химик реакцияләргә каршы торучы искиткеч химик инерцияне күрсәтә. Бу характеристика ярымүткәргеч керамика җитештерүдә аеруча отышлы, анда каты химикатлар һәм реактив газлар еш кулланыла. Графит көймәләр ярымүткәргеч ваферлар өчен саклагыч мохит бирә, пычранудан саклый һәм соңгы продуктның чисталыгын тәэмин итә.
3. Төгәл үлчәмле контроль:
Графит көймәләрТөрле зурлыктагы һәм формадагы ярымүткәргеч ваферларны урнаштыру өчен төгәллек белән эшләнгән. Аларның көйләнә торган конструкцияләре төгәл үлчәмле контроль ясарга мөмкинлек бирә, ваферларга яраклашуны тәэмин итә һәм эшкәртү һәм эшкәртү вакытында зыян куркынычын киметә. Бу төгәллек дәрәҗәсе ярымүткәргеч җитештерү процессларында бердәм каплау калынлыгына һәм чүплек төгәллегенә ирешү өчен бик кирәк.
4. Кушымталарның күпкырлылыгы:
Графит көймәләрТөрле ярымүткәргеч эшкәртү процессларында киң кулланылыш табыгыз, шул исәптән эпитакси, диффузия, аннальинг һәм нечкә пленка. Термаль эшкәртү вакытында кремний ваферларга булышамы яки эпитаксиаль катламнарның үсешен җиңеләйтәме, Графит көймәләре төрле кушымталарда күпкырлы һәм ышанычлы тәкъдим итәләр. Аларның югары температураларга һәм коррозив мохиткә озак тәэсир итүләренә каршы тору сәләте аларны ярымүткәргеч керамика җитештерүдә алыштыргысыз коралга әйләндерә.
5. Кремний карбид каплауның туры килүе:
Графит көймәләр кремний карбид (SiC) капламалары катнашындагы кушымталар өчен бик яраклы, алдынгы ярымүткәргеч җайланмаларның критик компоненты. Графитның кремний карбид белән туры килүе ярымүткәргеч субстратларда SiC катламнарын эффектив һәм бертөрле урнаштырырга мөмкинлек бирә, җайланманың эшләвен һәм ышанычлылыгын арттыра. Графит көймәләр чүпләү процессын җиңеләйтүдә, бердәм каплауны һәм каплау калынлыгын төгәл контрольдә тотуда мөһим роль уйныйлар.
Ахырда, графит көймәләре ярымүткәргеч керамика җитештерүдә мөһим компонентлар булып хезмәт итә, югары температуралы толерантлыкның, химик инерциянең, төгәл үлчәмле контрольнең, кремний карбид каплаулары белән туры килүенең уникаль комбинациясен тәкъдим итә. Аларның күпкырлылыгы һәм ышанычлылыгы аларны ярымүткәргеч эшкәртү процесслары өчен алыштыргысыз коралга әйләндерә, югары сыйфатлы һәм югары җитештерүчән ярымүткәргеч җайланмалар җитештерергә мөмкинлек бирә. Ярымүткәргеч технологиясе алга барган саен, графит көймәләре алыштыргысыз актив булып калачак, инновацияләр һәм ярымүткәргеч өлкәсендә алгарыш.
Пост вакыты: 22-2024 апрель