Кабат урнаштырылдыкремний карбид (RSiC) керамикааюгары җитештерүчән керамик материал. Яхшы температурага каршы тору, оксидлашуга каршы тору, коррозиягә каршы тору һәм каты булу аркасында ул ярымүткәргеч җитештерү, фотоволтаик сәнәгать, югары температуралы мичләр һәм химия җиһазлары кебек күп өлкәләрдә киң кулланылды. Заманча сәнәгатьтә югары җитештерүчән материалларга сорау арту белән, кремний карбид керамикасын рестрилизацияләнгән тикшеренүләр һәм эшләнмәләр тирәнәя бара.
1. Әзерлек технологиясекремний карбид керамикасы
Рекристализацияләнгән әзерлек технологиясекремний карбид керамикасынигездә ике ысулны үз эченә ала: порошок синтеринг һәм пар парламенты (CVD). Алар арасында порошокны синтерлау ысулы - кремний карбид порошогын югары температура шартларында синтерлау, кремний карбид кисәкчәләре бөртекләр арасында диффузия һәм рестрализация аша тыгыз структура формалаштыру. Парны чүпләү ысулы - кремний карбидын субстрат өслегенә химик пар реакциясе аша югары температурада урнаштыру, шуның белән югары чисталык кремний карбид пленкасы яки структур өлешләр формалаштыру. Бу ике технологиянең үз өстенлекләре бар. Порошокны синтерлау ысулы зур масштаблы җитештерү өчен яраклы һәм аз чыгымлы, парларны чүпләү ысулы югары чисталык һәм тыгызлык структурасын тәэмин итә ала һәм ярымүткәргеч кырында киң кулланыла.
2. Материаль үзлекләркремний карбид керамикасы
Рекристализацияләнгән кремний карбид керамикасының күренекле характеристикасы - аның югары температура шартларында яхшы эшләве. Бу материалның эрү ноктасы 2700 ° C кадәр, һәм ул югары температурада яхшы механик көчкә ия. Моннан тыш, рестрилизацияләнгән кремний карбид шулай ук яхшы оксидлашуга һәм коррозиягә каршы тора, һәм экстремаль химик шартларда тотрыклы булып кала ала. Шуңа күрә RSiC керамикасы югары температуралы мичләр, югары температуралы отряд материаллары, химия җиһазлары өлкәсендә киң кулланылган.
Моннан тыш, рестрилизацияләнгән кремний карбид югары җылылык үткәрүчәнлегенә ия һәм җылылыкны эффектив үткәрә ала, бу аны куллануның мөһим кыйммәтенә китерә.MOCVD реакторларыһәм ярымүткәргеч вафер җитештерүдә җылылык эшкәртү җиһазлары. Аның югары җылылык үткәрүчәнлеге һәм җылылык шокына каршы торуы җиһазның экстремаль шартларда ышанычлы эшләвен тәэмин итә.
3. Рекристизацияләнгән кремний карбид керамикасының куллану кырлары
Ярымүткәргеч җитештерү: Ярымүткәргеч тармагында кристалл кремний карбид керамикасы субстратлар һәм MOCVD реакторларында терәкләр җитештерү өчен кулланыла. Highгары температурага каршы тору, коррозиягә каршы тору, һәм югары җылылык үткәрүчәнлеге аркасында, RSiC материаллары ярымүткәргеч вафларның сыйфатын һәм уңышын тәэмин итеп, катлаулы химик реакция мохитендә тотрыклы эшне саклый ала.
Фотовольта индустриясе: Фотовольта индустриясендә RSiC кристалл үсеш җиһазларының ярдәм структурасын җитештерү өчен кулланыла. Фотовольтаик күзәнәкләр җитештерү процессында кристалл үсеше югары температурада башкарылырга тиеш булганлыктан, кремний карбидының рестральләштерелгән җылылыкка чыдамлыгы җиһазның озак вакытлы тотрыклы эшләвен тәэмин итә.
Temperatureгары температуралы мичләр: RSiC керамикасы шулай ук югары температуралы мичләрдә киң кулланыла, мәсәлән, вакуум мичләренең компонентлары, эретү мичләре һәм башка җиһазлар. Аның җылылык шокына каршы торуы һәм оксидлашу каршылыгы аны югары температуралы тармакларда алыштыргысыз материалларның берсе итә.
4. Рекристизацияләнгән кремний карбид керамикасының тикшеренү юнәлеше
Performanceгары җитештерүчән материалларга сорау арту белән, кремний карбид керамикасының рестральләштерелгән тикшеренү юнәлеше әкренләп ачыкланды. Киләчәк тикшеренүләр түбәндәге аспектларга юнәлтеләчәк:
Материаль чисталыкны яхшырту: Ярымүткәргечтә һәм фотоволтаик өлкәләрдә чисталык таләпләрен канәгатьләндерү өчен, тикшерүчеләр парларны чүпләү технологиясен камилләштереп яки яңа чимал кертеп, RSiC чисталыгын яхшырту юлларын эзлиләр, шуның белән бу югары технологияле өлкәләрдә куллану бәясен арттыралар. .
Микроструктураны оптимальләштерү: Синтеринг шартларын һәм порошок кисәкчәләрен таратуны контрольдә тотып, кристалл кремний карбидының микроструктурасы тагын да оптимальләштерелергә мөмкин, шуның белән аның механик үзлекләрен һәм җылылык шокына каршы торуны яхшыртырга мөмкин.
Функциональ композицион материаллар: Катлаулы куллану мохитенә яраклашу өчен, тикшерүчеләр RSiCны башка материаллар белән берләштерергә тырышалар, күп функциональ характеристикалары булган композицион материалларны эшкәртү өчен, кремний карбид нигезендәге композицион материаллар, киемнең каршылыгы һәм электр үткәрүчәнлеге.
5. Йомгаклау
Performanceгары җитештерүчән материал буларак, рестральләштерелгән кремний карбид керамикасы югары температурада, оксидлашуга һәм коррозиягә каршы тору аркасында күп өлкәләрдә киң кулланылган. Киләчәк тикшеренүләр материаль чисталыкны яхшырту, микросруктураны оптимальләштерү һәм үсә барган сәнәгать ихтыяҗларын канәгатьләндерү өчен композицион функциональ материаллар эшләүгә юнәлтеләчәк. Бу технологик яңалыклар ярдәмендә рестрилизацияләнгән кремний карбид керамикасы югары технологияле өлкәләрдә зуррак роль уйнар дип көтелә.
Пост вакыты: 24-2024 октябрь