SiC каплавы химик пар парламенты (CVD), прекурсор трансформациясе, плазма сиптерү һ.б. белән әзерләнергә мөмкин, Химик пар парламенты белән әзерләнгән каплау бертөрле һәм компакт, яхшы дизайнга ия. Метил трихлосилан куллану. (CHzSiCl3, MTS) кремний чыганагы буларак, SiC каплау әзерләү ...
Күбрәк укыгыз