Монокристалл кремнийның үсеш процессы тулысынча җылылык кырында алып барыла. Яхшы җылылык кыры кристаллларның сыйфатын яхшырту өчен ярдәм итә һәм кристалллаштыруның югары эффективлыгына ия. Rылылык кырының дизайны динамик җылылык кырындагы температура градиентларының үзгәрүен һәм мич камерасында газ агымын билгели. Rылылык кырында кулланылган материалларның аермасы җылылык кырының хезмәт срогын турыдан-туры билгели. Акылсыз җылылык кыры сыйфат таләпләренә туры килгән кристаллларны үстерү генә түгел, кайбер процесс таләпләре буенча тулы монокристаллны да үстерә алмый. Шуңа күрә турыдан-туры монокристалл кремний индустриясе җылылык кыры дизайнын иң төп технология дип саный һәм җылылык кырын тикшерүгә һәм эшкәртүгә зур эшче көче һәм материаль ресурслар сала.
Rылылык системасы төрле җылылык кыры материалларыннан тора. Термаль кырда кулланылган материалларны кыскача гына таныштырабыз. Rылылык кырындагы температураның бүленеше һәм аның кристалл тартуга тәэсиренә килгәндә, без монда анализ ясамыйбыз. Rылылык кыры материалы кристалл үсешенең вакуум мич камерасындагы структураны һәм җылылык изоляция өлешен аңлата, бу ярымүткәргеч эретү һәм кристалл тирәсендә тиешле температураны тарату өчен кирәк.
1. Rылылык кыры төзелеше материалы
Монокристалл кремнийны үстерү өчен туры тарту ысулы өчен төп таяныч материал - югары чисталыклы графит. Графит материаллары хәзерге индустриядә бик мөһим роль уйныйлар. Аларны җылылык кырының структур компонентлары итеп кулланырга мөмкинҗылыткычлар, трубалар, хачЧокральски ысулы белән монокристалл кремний әзерләгәндә изоляция трубалары, критик подшипниклар һ.б.
Графит материалларызур күләмдә әзерләү җиңел, эшкәртелә һәм югары температурага чыдам булганга сайланган. Алмаз яки графит рәвешендәге углерод эретү ноктасына теләсә нинди элемент яки кушылмага караганда югарырак. Графит материаллары бик көчле, аеруча югары температурада, һәм аларның электр һәм җылылык үткәрүчәнлеге дә бик яхшы. Аның электр үткәрүчәнлеге аны аҗылыткычматериал. Аның канәгатьләнерлек җылылык үткәрүчәнлек коэффициенты бар, ул җылыткыч җитештергән җылылыкны критик һәм җылылык кырының бүтән өлешләренә тигез бүләргә мөмкинлек бирә. Ләкин, югары температурада, аеруча озын араларда, төп җылылык тапшыру режимы - нурланыш.
Графит өлешләре башта бәйләүче белән кушылган һәм экструзия яки изостатик басу белән ясалган нечкә углеродлы кисәкчәләрдән ясала. Graphгары сыйфатлы графит өлешләре гадәттә изостатик рәвештә кысыла. Бөтен кисәк башта карбонлаштырылган, аннары бик югары температурада графиклаштырылган, 3000 ° C ка якын. Бу бөтен кисәкләрдән эшкәртелгән өлешләр, гадәттә, ярымүткәргеч индустриясе таләпләренә туры китереп, металл пычрануны бетерү өчен, югары температурада хлор булган атмосферада чистартыла. Ләкин, дөрес чистартылганнан соң да, металлның пычрану дәрәҗәсе кремний монокристалл материалларына рөхсәт ителгәннән зуррак зурлыктагы берничә заказ. Шуңа күрә, җылылык кыры дизайнында бу компонентларның эреп яки кристалл өслегенә кермәсен өчен сак булырга кирәк.
Графит материаллары бераз үткәрүчән, бу калган металлның өслеккә барып җитүен җиңеләйтә. Моннан тыш, графит өслегендә чистарту газында булган кремний оксиды күпчелек материалларга үтеп керә ала.
Баштагы монокристалл кремний мич җылыткычлары вольфрам һәм молибден кебек отрядлы металлдан эшләнгән. Графит эшкәртү технологиясенең җитлеккәнлеге белән, графит компонентлары арасындагы бәйләнешнең электр үзлекләре тотрыклы булды, һәм монокристалл кремний мич җылыткычлары вольфрам, молибден һәм башка материал җылыткычларын тулысынча алыштырдылар. Хәзерге вакытта иң киң кулланылган графит материалы - изостатик графит. минем илнең изостатик графит әзерләү технологиясе чагыштырмача артка китә, һәм эчке фотоволтаик индустриядә кулланылган графит материалларының күбесе чит илләрдән кертелә. Чит ил изостатик графит җитештерүчеләре, нигездә, Германиянең SGL, Япониянең Токай Карбоны, Япониянең Тойо Тансо һ.б.ны үз эченә ала. тәлинкәләр һәм бүтән компонентлар. Углерод / углерод (C / C) композитлары - югары специфик көч, югары специфик модуль, түбән җылылык киңәю коэффициенты, яхшы электр үткәрүчәнлеге, югары сыну катылыгы, түбән спецификация кебек углерод җепселле ныгытылган углеродлы композитлар. җылылык шокына каршы тору, коррозиягә каршы тору, һәм югары температурага каршы тору. Хәзерге вакытта алар аэрокосмос, чабыш, биоматериал һәм башка өлкәләрдә яңа югары температурага чыдам структур материал буларак киң кулланыла. Хәзерге вакытта, C / C композитлары очраткан төп кыенлыклар әле бәяләр һәм индустриализация проблемалары.
Rылылык кырларын ясау өчен кулланылган башка бик күп материаллар бар. Карбон җепселләре ныгытылган графит яхшырак механик үзлекләргә ия; ләкин ул кыйммәтрәк һәм дизайн өчен башка таләпләр бар.Кремний карбид (SiC)күп яктан графитка караганда яхшырак материал, ләкин зур күләмле өлешләрне әзерләү күпкә кыйммәтрәк һәм авыр. Ләкин, SiC еш кулланылаCVD каплаукоррозицион кремний газы тәэсирендә булган графит өлешләренең гомерен арттыру, шулай ук графиттан пычрануны киметергә мөмкин. Тыгыз CVD кремний карбид каплавы микропороз графит материалы эчендәге пычраткыч матдәләрнең өскә килеп җитүен тыя.
Икенчесе - CVD углерод, ул шулай ук графит өлешеннән тыгыз катлам ясый ала. Башка югары температурага чыдам материаллар, мәсәлән, молибден яки керамик материаллар, әйләнә-тирә мохит белән бергә яши ала, эретүне пычрату куркынычы булмаган җирдә кулланырга мөмкин. Ләкин, оксид керамикасы, гадәттә, югары температурада графит материалларына карата кулланыла, һәм изоляция кирәк булса, башка вариантлар аз. Берсе алты почмаклы бор нитриды (охшаш үзенчәлекләр аркасында кайвакыт ак графит дип атала), ләкин механик үзлекләре начар. Молибден, гадәттә, уртача бәясе, кремний кристаллларында диффузия дәрәҗәсе һәм 5 × 108 сегрегация коэффициенты аркасында югары температура ситуацияләре өчен акыллы кулланыла, бу кристалл структурасын җимергәнче билгеле күләмдә молибден пычрануга мөмкинлек бирә.
2. Rылылык изоляциясе материаллары
Иң еш кулланыла торган изоляция материалы - төрле формадагы углерод. Карбон нечкә җепселләрдән эшләнгән, алар изоляция ролен башкара, чөнки алар җылылык нурланышын кыска арада берничә тапкыр блоклыйлар. Йомшак углерод кисәге чагыштырмача нечкә материалга үрелгән, аннары кирәкле формага киселә һәм радиуска нык бәйләнгән. Дәваланган эремчекләр охшаш җепсел материалларыннан тора, һәм таралган җепселләрне тагын да каты һәм формадагы әйбергә тоташтыру өчен углеродлы бәйләүче кулланыла. Карбонның химик парларын бәйләүче урынына куллану материалның механик үзлекләрен яхшырта ала.
Гадәттә, җылылык изоляциясен дәвалауның тышкы өслеге эрозияне киметү өчен, өзлексез графит каплау яки фольга белән капланган, шулай ук кисәкчәләр пычрануы. Углеродлы җылылык изоляциясе материалларының башка төрләре дә бар, мәсәлән, углерод күбеке. Гомумән алганда, графитизацияләнгән материалларга өстенлек бирелә, чөнки графитизация җепсел өслеген киметә. Бу югары өслек материалларын чыгару бик кимеде, һәм мичне тиешле вакуумга җибәрү өчен азрак вакыт кирәк. Икенчесе - C / C композицион материал, җиңел авырлык, зур зыянга чыдамлык һәм югары көч кебек күренекле үзенчәлекләргә ия. Графит өлешләрен алыштыру өчен җылылык кырларында кулланылган графит өлешләрен алыштыру ешлыгын сизелерлек киметә, монокристалл сыйфатын һәм җитештерү тотрыклылыгын яхшырта.
Чимал классификациясе буенча, углерод полиакрилонитрил нигезендәге углерод, вискоз нигезендәге углерод һәм питч нигезендәге углерод кисәгенә бүләргә мөмкин.
Полиакрилонитрил нигезендәге углеродның көл күләме зур. Highгары температурада эшкәртелгәннән соң, бер җепсел ватык була. Эш вакытында мич мохитен пычрату өчен тузан чыгару җиңел. Шул ук вакытта җепсел кеше организмының тишекләренә һәм сулыш юлларына җиңел керә ала, бу кеше сәламәтлегенә зыян китерә. Вискоз нигезендәге углерод җылылык изоляциясе яхшы. Heatылылык белән эшкәртелгәннән соң чагыштырмача йомшак, тузан чыгару җиңел түгел. Ләкин, вискозага нигезләнгән чималның кисемтәсе тәртипсез, һәм җепсел өслегендә бик күп трюклар бар. CZ кремний миченең оксидлаштыручы атмосферасы астында C02 кебек газлар чыгару җиңел, монокристалл кремний материалында кислород һәм углерод элементларының явым-төшеменә китерә. Төп җитештерүчеләргә Германия SGL һәм башка компанияләр керә. Хәзерге вакытта ярымүткәргеч монокристалл сәнәгатендә иң киң кулланылган чокырлы углерод тойгысы, ул җылылык изоляциясе вискозлы углерод хисләренә караганда начаррак, ләкин тишек нигезендәге углерод чисталыгы югарырак чисталыкка һәм тузан чыгаруга түбәнрәк. Manufactитештерүчеләргә Япониянең Куреха Химик һәм Осака Газы керә.
Углеродның формасы тотрыклы булмаганга, эшләү уңайсыз. Хәзер күп компанияләр яңа җылылык изоляциясе материалы эшләделәр, углерод белән дәваланган углерод хисләренә нигезләнеп. Шифалы углерод тойгысы, шулай ук каты тойгы дип атала, билгеле бер формадагы углерод һәм йомшак тойгы резин белән импреграцияләнгәннән соң, ламинатланган, дәваланган һәм карбонлаштырылган.
Монокристалл кремнийның үсеш сыйфаты җылылык мохитенә турыдан-туры тәэсир итә, һәм углерод җепселле җылылык изоляциясе материаллары бу мохиттә төп роль уйныйлар. Карбон җепсел җылылык изоляциясе йомшак тотылган фотовольта ярымүткәргеч тармагында аның өстенлеге, искиткеч җылылык изоляциясе эффекты, сыгылмалы дизайн һәм көйләнә торган форма аркасында зур өстенлеге бар. Моннан тыш, углерод җепселенең каты җылылык изоляциясе җылылык кыры материалы базарында билгеле бер көче һәм югары оперативлыгы аркасында зуррак үсеш мәйданына ия булачак. Без җылылык изоляциясе материаллары өлкәсендә тикшеренүләр һәм эшләнмәләр ясарга, фотоволтаик ярымүткәргеч сәнәгатенең үсешенә һәм үсешенә ярдәм итәр өчен, продукт җитештерүчәнлеген өзлексез оптимальләштерергә тиеш.
Пост вакыты: 12-2024 июнь