Пар фазасы эпитакси (VPE) процессында пьедесталның роле субстратка булышу һәм үсеш процессында бердәм җылытуны тәэмин итү. Төрле пьедесталлар төрле үсеш шартлары һәм материаль системалар өчен яраклы. Түбәндә пар фазасында еш кулланыла торган пьедестал төрләре барэпитакси:
Баррель пьедестал
Баррель пьедесталлары гадәттә горизонталь яки иелгән пар фазасы эпитакси системаларында кулланыла. Алар субстратны тотып, газ субстрат өстендә агып китәргә рөхсәт итә ала, бу бердәм эпитаксиаль үсешкә ярдәм итә.
Диск формасындагы пьедестал (вертикаль пьедестал)
Диск формасындагы пьедестал вертикаль пар фазасы эпитакси системалары өчен яраклы, анда субстрат вертикаль урнаштырылган. Бу конструкция субстрат белән сусептор арасындагы контакт мәйданын киметергә ярдәм итә, шуның белән җылылык югалту һәм потенциаль пычрануны киметә.
Горизонталь сизүче
Пар фазасы эпитаксында горизонталь сиземләүчеләр сирәк очрый, ләкин горизонталь юнәлештә эпитаксиаль үсеш өчен кайбер үсеш системаларында кулланылырга мөмкин.
Монолит эпитаксиаль реакция сизгерлеге
Монолит эпитаксиаль реакция сусепторы бер субстрат өчен эшләнгән, ул төгәл температураны контрольдә тота һәм җылылык изоляциясен тәэмин итә ала, югары сыйфатлы эпитаксиаль катламнар үсү өчен яраклы.
Продукт турында мәгълүмат һәм консультация өчен безнең сайтка рәхим итегез.
Безнең сайт: https://www.vet-china.com/
Пост вакыты: 30-2024 июль