ВЭТ ЭнергиясеPECVD процесс графит ташучы - PECVD (плазманы көчәйтелгән химик пар парлау) процессы өчен эшләнгән югары сыйфатлы куллану. Бу графит ташучы югары чисталык, югары тыгызлыктагы графит материалдан эшләнгән, искиткеч югары температурага каршы тору, коррозиягә каршы тору, үлчәм тотрыклылыгы һәм башка характеристикалары белән, PECVD процессы өчен тотрыклы ташучы платформа тәэмин итә ала, нечкә пленканың бердәмлеген һәм яссылыгын тәэмин итә. чүпләү.
PECVD процессы өчен графит йөртүчеләр түбәндәге үзенчәлекләргә ия:
▪ purгары чисталык: пычраклыкның бик түбән булуы, фильмның пычрануыннан саклану һәм кино сыйфатын тәэмин итү.
Density dгары тыгызлык: югары тыгызлык, югары механик көч, югары температурага һәм югары басымлы PECVD мохитенә каршы тора ала.
▪ Яхшы үлчәмле тотрыклылык: югары температурада кечкенә үлчәмле үзгәреш, процесс тотрыклылыгын тәэмин итү.
▪ Искиткеч җылылык үткәрүчәнлеге: ваферның артык эсселеген булдырмас өчен җылылыкны эффектив күчерегез.
▪ Көчле коррозиягә каршы тору: төрле коррозив газлар һәм плазма белән эрозиягә каршы тора белү.
▪ Хосусыйлаштырылган хезмәт: төрле зурлыктагы һәм формадагы графит ташучылар клиент ихтыяҗлары буенча көйләнә ала.
SGLдан графит материал:
Типик параметр: R6510 | |||
Индекс | Тест стандарты | Кыйммәт | Берәмлек |
Ашлыкның уртача күләме | ISO 13320 | 10 | μm |
Күпчелек тыгызлык | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | г / см3 |
Ачык күзәнәк | DIN66133 | 10 | % |
Урта күзәнәк күләме | DIN66133 | 1.8 | μm |
Рөхсәт | DIN 51935 | 0.06 | см² / с |
Роквелл катылыгы HR5 / 100 | DIN IEC60413 / 303 | 90 | HR |
Аерым электр каршылыгы | DIN IEC 60413/402 | 13 | μm |
Флексур көч | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Кысу көче | DIN 51910 | 130 | MPa |
Яшь модуль | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
Rылылык киңәюе (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Rылылык үткәрүчәнлеге (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ул махсус G12 зур күләмле вафер эшкәртүгә булышып, югары эффектив кояш күзәнәкләрен җитештерү өчен эшләнгән. Оптималь ташучы дизайны үткәрү күләмен сизелерлек арттыра, югары уңыш ставкаларын һәм җитештерү чыгымнарын киметә.
Предмет | Тип | Номер ташучы |
PEVCD Грефит көймәсе - 156 серия | 156-13 грефит көймәсе | 144 |
156-19 грефит көймәсе | 216 | |
156-21 грефит көймәсе | 240 | |
156-23 графит көймә | 308 | |
PEVCD Грефит көймәсе - 125 серия | 125-15 грефит көймәсе | 196 |
125-19 грефит көймәсе | 252 | |
125-21 грфит көймәсе | 280 |