Графит материал таләпләренең ярымүткәргеч индустриясе таләпләре аеруча югары, графитның нечкә кисәкчәләре зур төгәллеккә, югары температурага каршы торуга, югары көчкә, кечкенә югалтуга һәм башка өстенлекләргә ия, мәсәлән: синтерланган графит продуктлары формасы.Ярымүткәргеч тармагында кулланылган графит җиһазлары (җылыткычлар һәм аларның синтерланган үлгәннәре дә) кат-кат җылыту һәм суыту процессларына каршы торырга тиеш, графит җиһазларының хезмәт срогын озайту өчен, гадәттә кулланылган графит материалларының тотрыклы эшләве таләп ителә. һәм җылылыкка чыдам функция.
01 Ярымүткәргеч кристалл үсеше өчен графит аксессуарлары
Ярымүткәргеч кристалларын үстерү өчен кулланылган барлык процесслар югары температурада һәм коррозив шартларда эшли. Кристалл үсеш миченең кайнар зонасы гадәттә җылылыкка чыдам һәм коррозиягә чыдам югары чисталыклы графит компонентлары белән җиһазландырылган, мәсәлән, җылыткыч, кристалл, изоляция цилиндры, гид цилиндры, электрод, критик тоткыч, электрод гайкасы һ.б.
Без кристалл җитештерү җайланмаларының барлык графит өлешләрен җитештерә алабыз, алар индивидуаль яки комплект белән тәэмин ителергә мөмкин, яисә клиент таләпләренә туры китереп төрле зурлыктагы графит өлешләре. Продукциянең күләмен сайтта үлчәп була, һәм әзер продуктларның көл күләме азрак булырга мөмкин5 сәгатьтән артык.
02 Ярымүткәргеч эпитакси өчен графит аксессуарлары
Эпитаксиаль процесс бер кристалл материал катламының үсүен аңлата, бер кристалл субстраттагы субстрат белән бер үк такталы аранжировка. Эпитаксиаль процесста вафин графит дискка йөкләнә. Графит дискның эшләнеше һәм сыйфаты ваферның эпитаксиаль катламы сыйфатында мөһим роль уйный. Эпитаксиаль производство өлкәсендә бик күп ультра югары чисталыклы графит һәм СИС каплавы булган югары чисталыклы графит базасы кирәк.
Ярымүткәргеч эпитакси өчен безнең компаниянең графит базасы бик күп кушымталарга ия, тармакта еш кулланыла торган җиһазларның күбесенә туры килә, һәм югары чисталыгы, бердәм каплавы, искиткеч хезмәт вакыты, югары химик каршылык һәм җылылык тотрыклылыгы бар.
03 Ион имплантациясе өчен графит аксессуарлары
Ион имплантациясе бор, фосфор һәм арсеник плазма нурларын билгеле бер энергиягә тизләтү процессын аңлата, аннары өслек катламының матди үзлекләрен үзгәртү өчен аны вафат материалның өске катламына кертү. Ион имплантация җайланмасының компонентлары югары җылылык каршылыгы, җылылык үткәрүчәнлеге, ион нуры аркасында аз коррозия һәм аз пычраклык булган югары чисталык материаллардан эшләнергә тиеш. Purгары чисталыклы графит кушымта таләпләренә туры килә, һәм очыш трубасы, төрле ярыклар, электродлар, электрод каплагычлары, үткәргечләр, нур терминаторлары һ.б. өчен ион имплантация җиһазлары өчен кулланылырга мөмкин.
Без төрле ион имплантация машиналары өчен графиттан саклаучы каплау белән тәэмин итә алмыйбыз, шулай ук югары чисталыклы графит электродлары һәм ион чыганакларын төрле спецификацияләрнең коррозиягә каршы торуы белән тәэмин итә алабыз. Кулланыла торган модельләр: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM һәм башка җиһазлар. Моннан тыш, без шулай ук керамик, вольфрам, молибден, алюминий продуктлары һәм капланган өлешләр белән тәэмин итә алабыз.
04 Графит изоляциясе материаллары һәм башкалар
Ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында кулланылган җылылык изоляциясе материалларына графит каты, йомшак тойгы, графит фольга, графит кәгазе һәм графит аркан керә.
Безнең барлык чимал графиттан кертелә, аны клиент таләпләренең зурлыгына карап кисәргә яки тулаем алганда сатырга мөмкин.
Углерод-углерод подшипкасы кояш монокристалл кремний һәм поликристалл кремний күзәнәкләрен җитештерү процессында кино каплау өчен ташучы буларак кулланыла. Эш принцибы: кремний чипны CFC подносына кертегез һәм пленка каплауны эшкәртү өчен мич торбасына җибәрегез.
