VET Energy silisyum karbür (SiC) epitaksiyel levha, mükemmel yüksek sıcaklık direnci, yüksek frekans ve yüksek güç özelliklerine sahip, yüksek performanslı, geniş bant aralıklı bir yarı iletken malzemedir. Yeni nesil güç elektroniği cihazları için ideal bir alt tabakadır. VET Energy, SiC substratları üzerinde yüksek kaliteli SiC epitaksiyel katmanları büyütmek için gelişmiş MOCVD epitaksiyel teknolojisini kullanarak levhanın mükemmel performansını ve tutarlılığını sağlar.
Silisyum Karbür (SiC) Epitaksiyel Gofretimiz, Si Gofret, SiC Substrat, SOI Gofret ve SiN Substrat dahil olmak üzere çeşitli yarı iletken malzemelerle mükemmel uyumluluk sunar. Sağlam epitaksiyel katmanıyla, Epi Gofretin büyütülmesi ve Galyum Oksit Ga2O3 ve AlN Gofret gibi malzemelerle entegrasyon gibi gelişmiş süreçleri destekleyerek farklı teknolojilerde çok yönlü kullanım sağlar. Endüstri standardı Kaset taşıma sistemleriyle uyumlu olacak şekilde tasarlanan bu ürün, yarı iletken üretim ortamlarında verimli ve akıcı operasyonlar sağlar.
VET Energy'nin ürün yelpazesi SiC epitaksiyel levhalarla sınırlı değildir. Ayrıca Si Wafer, SiC Substrat, SOI Wafer, SiN Substrat, Epi Wafer vb. dahil olmak üzere çok çeşitli yarı iletken substrat malzemeleri sağlıyoruz. Ayrıca, Galyum Oksit Ga2O3 ve AlN gibi yeni geniş bant aralıklı yarı iletken malzemeleri de aktif olarak geliştiriyoruz. Wafer, gelecekteki güç elektroniği endüstrisinin daha yüksek performanslı cihazlara olan talebini karşılamak için.
GOFRET ÖZELLİKLERİ
*n-Pm=n-tipi Pm-Sınıfı,n-Ps=n-tipi Ps-Sınıfı,Sl=Yarı Yalıtımlı
Öğe | 8 inç | 6 inç | 4 inç | ||
nP | n-Pm | n-P'ler | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Yay(GF3YFCD)-Mutlak Değer | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Çözgü(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Gofret Kenarı | Eğim verme |
YÜZEY FİNİŞİ
*n-Pm=n-tipi Pm-Sınıfı,n-Ps=n-tipi Ps-Sınıfı,Sl=Yarı Yalıtımlı
Öğe | 8 inç | 6 inç | 4 inç | ||
nP | n-Pm | n-P'ler | SI | SI | |
Yüzey İşlemi | Çift taraflı Optik Cila, Si-Face CMP | ||||
Yüzey Pürüzlülüğü | (10um x 10um) Si-YüzRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Yüz Ra≤0,2nm | |||
Kenar Cipsleri | Hiçbiri İzin Verilmez (uzunluk ve genişlik≥0,5 mm) | ||||
Girintiler | Hiçbirine İzin Verilmez | ||||
Çizikler(Si-Yüz) | Adet.≤5,Kümülatif | Adet.≤5,Kümülatif | Adet.≤5,Kümülatif | ||
Çatlaklar | Hiçbirine İzin Verilmez | ||||
Kenar Hariç Tutma | 3 mm |