RTP/RTA için SiC Kaplama Taşıyıcısı, Hızlı Termal İşleme ve Tavlama adı verilen yarı iletken üretim süreçlerinde kullanılan önemli bir bileşendir; silisyum karbür taşıyıcıyı son derece yüksek saflığa, iyi kaplama bütünlüğüne ve mükemmel hizmet ömrüne sahip hale getirmek için patentli teknolojimizi kullanıyoruz. yüksek kimyasal direnç ve termal stabilite özelliklerinin yanı sıra.
Ürünlerimizin özellikleri:
1. 1700 ° C'ye kadar yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci.
2. Yüksek saflık ve termal tekdüzelik
3. Mükemmel korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
4. Yüksek sertlik, kompakt yüzey, ince parçacıklar.
5. Daha uzun servis ömrü ve daha dayanıklı
| CVD SiCAmerika Birleşik Devletleri CVD SiC'nin temel fiziksel özelliklerikaplama | |
| 性质 / Mülk | 典型数值 / Tipik Değer |
| 晶体结构 / Kristal Yapı | FCC β fazı多晶,主要为（111) |
| 密度 / Yoğunluk | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Sertlik | 2500 kg yük (500g yük) |
| 晶粒大小 / Tahıl Boyutu | 2~10μm |
| 纯度 / Kimyasal Saflık | %99,99995 |
| 热容 / Isı Kapasitesi | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Süblimleşme Sıcaklığı | 2700°C |
| 抗弯强度 / Eğilme Dayanımı | 415 MPa RT 4 noktalı |
| 杨氏模量 / Young Modülü | 430 Gpa 4pt viraj, 1300°C |
| 导热系数 / Termabenİletkenlik | 300W·m-1·K-1 |
| Amerika Birleşik Devletleri / Termal Genleşme(CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy, SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama vb. gibi farklı kaplamalara sahip özelleştirilmiş grafit ve silisyum karbür ürünlerinin gerçek üreticisidir ve yarı iletken ve fotovoltaik endüstrisi için çeşitli özelleştirilmiş parçalar tedarik edebilir.
Teknik ekibimiz, yurtiçindeki en iyi araştırma kurumlarından gelmektedir ve sizin için daha profesyonel malzeme çözümleri sağlayabilir.
Daha gelişmiş malzemeler sağlamak için sürekli olarak gelişmiş süreçler geliştiriyoruz ve kaplama ile alt tabaka arasındaki bağı daha sıkı ve ayrılmaya daha az eğilimli hale getirebilen özel patentli bir teknoloji geliştirdik.
Fabrikamızı ziyaret etmenizi memnuniyetle karşılıyoruz, daha fazla tartışalım!
