İyon bombardımanının eşitsizliği
Kurugravürgenellikle fiziksel ve kimyasal etkileri birleştiren, iyon bombardımanının önemli bir fiziksel aşındırma yöntemi olduğu bir işlemdir. sırasındaaşındırma işlemiiyonların geliş açısı ve enerji dağılımı eşit olmayabilir.
İyon geliş açısı yan duvar üzerindeki farklı konumlarda farklıysa, iyonların yan duvar üzerindeki aşındırma etkisi de farklı olacaktır. İyon geliş açısının daha büyük olduğu bölgelerde, iyonların yan duvar üzerindeki aşındırma etkisi daha güçlüdür, bu da bu bölgedeki yan duvarın daha fazla aşındırılmasına ve yan duvarın bükülmesine neden olur. Ayrıca iyon enerjisinin eşit olmayan dağılımı da benzer etkiler yaratacaktır. Daha yüksek enerjiye sahip iyonlar malzemeleri daha etkili bir şekilde uzaklaştırabilir ve bu da tutarsız sonuçlara neden olur.gravürYan duvarın farklı konumlardaki dereceleri, bu da yan duvarın bükülmesine neden olur.
Fotorezistin etkisi
Fotorezist, kuru aşındırmada maske görevi görür ve aşındırılması gerekmeyen alanları korur. Bununla birlikte fotorezist, dağlama işlemi sırasında plazma bombardımanından ve kimyasal reaksiyonlardan da etkilenir ve performansı değişebilir.
Fotorezistin kalınlığı eşit değilse, aşındırma işlemi sırasındaki tüketim oranı tutarsızsa veya fotorezist ile alt tabaka arasındaki yapışma farklı konumlarda farklıysa, aşındırma işlemi sırasında yan duvarların eşit olmayan şekilde korunmasına yol açabilir. Örneğin, daha ince fotodirençli veya daha zayıf yapışmalı alanlar, alttaki malzemenin daha kolay aşındırılmasına neden olarak yan duvarların bu konumlarda bükülmesine neden olabilir.
Alt tabaka malzemesi özelliklerindeki farklılıklar
Kazınmış alt tabaka malzemesinin kendisi, farklı kristal oryantasyonları ve farklı bölgelerdeki katkı konsantrasyonları gibi farklı özelliklere sahip olabilir. Bu farklılıklar aşındırma hızını ve aşındırma seçiciliğini etkileyecektir.
Örneğin, kristalin silikonda, silikon atomlarının farklı kristal oryantasyonlarındaki düzeni farklıdır ve bunların aşındırma gazıyla reaktiviteleri ve aşındırma hızları da farklı olacaktır. Aşındırma işlemi sırasında, malzeme özelliklerindeki farklılıklardan kaynaklanan farklı aşındırma hızları, yan duvarların farklı konumlardaki aşındırma derinliğini tutarsız hale getirecek ve sonuçta yan duvarın bükülmesine yol açacaktır.
Ekipmanla ilgili faktörler
Aşındırma ekipmanının performansı ve durumu da aşındırma sonuçları üzerinde önemli bir etkiye sahiptir. Örneğin, reaksiyon odasında eşit olmayan plazma dağılımı ve eşit olmayan elektrot aşınması gibi sorunlar, aşındırma sırasında levha yüzeyinde iyon yoğunluğu ve enerji gibi parametrelerin eşit olmayan dağılımına yol açabilir.
Ek olarak, ekipmanın eşit olmayan sıcaklık kontrolü ve gaz akışındaki hafif dalgalanmalar da dağlamanın düzgünlüğünü etkileyerek yanak bükülmesine neden olabilir.
Gönderim zamanı: Aralık-03-2024