Kimyasal buhar biriktirme (CVD) bir silikonun yüzeyine katı bir film biriktirme işlemini ifade edergofretBir gaz karışımının kimyasal reaksiyonu yoluyla. Farklı reaksiyon koşullarına (basınç, öncül) göre çeşitli ekipman modellerine ayrılabilir.
Bu iki cihaz hangi işlemler için kullanılıyor?
PECVD(Plazma Geliştirilmiş) ekipman, OX, Nitrür, metal geçit, amorf karbon vb.'de kullanılan en çok sayıda ve en yaygın kullanılan ekipmandır; LPCVD (Düşük Güç) genellikle Nitrür, poli, TEOS'ta kullanılır.
Prensip nedir?
PECVD-plazma enerjisini ve CVD'yi mükemmel şekilde birleştiren bir süreç. PECVD teknolojisi, düşük basınç altında işlem odasının (örn. numune tepsisi) katodunda parlak deşarjı tetiklemek için düşük sıcaklıkta plazma kullanır. Bu akkor deşarjı veya başka bir ısıtma cihazı, numunenin sıcaklığını önceden belirlenmiş bir seviyeye yükseltebilir ve ardından kontrollü miktarda proses gazı verebilir. Bu gaz bir dizi kimyasal ve plazma reaksiyonuna girer ve sonunda numunenin yüzeyinde katı bir film oluşturur.
LPCVD - Düşük basınçlı kimyasal buhar biriktirme (LPCVD), reaktördeki reaksiyon gazının çalışma basıncını yaklaşık 133Pa veya daha altına düşürmek için tasarlanmıştır.
Her birinin özellikleri nelerdir?
PECVD - Plazma enerjisini ve CVD'yi mükemmel bir şekilde birleştiren bir süreç: 1) Düşük sıcaklıkta çalışma (ekipmanın yüksek sıcaklıktan zarar görmesini önler); 2) Hızlı film büyümesi; 3) Malzemeler konusunda seçici olmamak, ÖKÜZ, Nitrür, metal kapı, amorf karbon hepsi büyüyebilir; 4) İyon parametreleri, gaz akış hızı, sıcaklık ve film kalınlığı aracılığıyla tarifi ayarlayabilen yerinde izleme sistemi mevcuttur.
LPCVD - LPCVD ile biriktirilen ince filmler daha iyi adım kapsamına, iyi bileşime ve yapı kontrolüne, yüksek biriktirme hızına ve çıktıya sahip olacaktır. Ek olarak, LPCVD taşıyıcı gaz gerektirmez, dolayısıyla parçacık kirliliğinin kaynağını büyük ölçüde azaltır ve ince film biriktirme için yüksek katma değerli yarı iletken endüstrilerinde yaygın olarak kullanılır.
Daha fazla tartışma için dünyanın her yerinden gelen müşterilere hoş geldiniz!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Gönderim zamanı: Temmuz-24-2024