Yeni nesil SiC kristal büyütme malzemeleri

İletken SiC substratlarının kademeli seri üretimiyle, sürecin stabilitesi ve tekrarlanabilirliği için daha yüksek gereksinimler ortaya konmaktadır. Özellikle kusurların kontrolü, fırın içindeki ısı alanının küçük ayarlanması veya kayması, kristal değişikliklerine veya kusurların artmasına neden olacaktır. İlerleyen dönemde “hızlı, uzun ve kalın büyümek ve büyümek” zorluğuyla yüzleşmeliyiz, teori ve mühendisliğin gelişmesinin yanı sıra, destek olarak daha gelişmiş termal alan malzemelerine de ihtiyacımız var. Gelişmiş malzemeler kullanın, gelişmiş kristaller yetiştirin.

Sıcak alanda grafit, gözenekli grafit, tantal karbür tozu vb. gibi pota malzemelerinin yanlış kullanımı, karbon katılımının artması gibi kusurlara yol açacaktır. Ayrıca bazı uygulamalarda gözenekli grafitin geçirgenliği yeterli olmayıp, geçirgenliği arttırmak için ilave deliklere ihtiyaç duyulmaktadır. Yüksek geçirgenliğe sahip gözenekli grafit, işleme, toz giderme, aşındırma vb. zorluklarla karşı karşıyadır.

VET, yeni nesil SiC kristali yetiştirme termal alan malzemesi olan gözenekli tantal karbürü piyasaya sürüyor. Dünya çapında bir ilk.

Tantal karbürün mukavemeti ve sertliği çok yüksektir ve onu gözenekli hale getirmek zorlu bir iştir. Büyük gözenekliliğe ve yüksek saflığa sahip gözenekli tantal karbür yapmak büyük bir zorluktur. Hengpu Technology, maksimum %75 gözenekliliğe sahip, büyük gözenekliliğe sahip çığır açan gözenekli tantal karbürü piyasaya sürerek dünyaya öncülük etti.

Gaz fazı bileşenlerinin filtrelenmesi, yerel sıcaklık eğiminin ayarlanması, malzeme akış yönü, sızıntının kontrolü vb. kullanılabilir. Farklı akış iletkenliğine sahip yerel bileşenler oluşturmak için Hengpu Technology'den başka bir katı tantal karbür (kompakt) veya tantal karbür kaplama ile birlikte kullanılabilir.

Bazı bileşenler yeniden kullanılabilir.

Tantal karbür (TaC) kaplama (2)


Gönderim zamanı: Temmuz-14-2023
WhatsApp Çevrimiçi Sohbet!