Buhar fazlı epitaksi (VPE) işlemi sırasında kaidenin rolü, substratı desteklemek ve büyüme süreci sırasında eşit ısıtma sağlamaktır. Farklı büyüme koşulları ve malzeme sistemleri için farklı tipte kaideler uygundur. Aşağıdakiler buhar fazında yaygın olarak kullanılan kaide türlerinden bazılarıdırepitaksi:
Namlu kaidesi
Namlu kaideleri genellikle yatay veya eğimli buhar fazlı epitaksi sistemlerinde kullanılır. Substratı tutabilirler ve gazın substrat üzerinden akmasına izin verebilirler, bu da tekdüze epitaksiyel büyümenin elde edilmesine yardımcı olur.
Disk şeklindeki kaide (dikey kaide)
Disk şeklindeki kaideler, alt tabakanın dikey olarak yerleştirildiği dikey buhar fazlı epitaksi sistemleri için uygundur. Bu tasarım, substrat ile sensör arasındaki temas alanının azaltılmasına yardımcı olur, böylece ısı kaybını ve olası kirlenmeyi azaltır.
Yatay suseptör
Yatay suseptörler, buhar fazı epitaksisinde daha az yaygındır, ancak bazı spesifik büyüme sistemlerinde yatay yönde epitaksiyel büyümeye izin vermek için kullanılabilir.
Monolitik epitaksiyel reaksiyon tutucu
Monolitik epitaksiyel reaksiyon tutucusu, yüksek kaliteli epitaksiyel katmanların büyümesi için uygun, daha hassas sıcaklık kontrolü ve daha iyi termal izolasyon sağlayabilen tek bir alt tabaka için tasarlanmıştır.
Ürün bilgisi ve danışmanlık için web sitemize hoş geldiniz.
Web sitemiz: https://www.vet-china.com/
Gönderim zamanı: Temmuz-30-2024