Püskürtme hedefleriesas olarak entegre devreler, bilgi depolama, sıvı kristal ekranlar, lazer hafızalar, elektronik kontrol cihazları vb. gibi elektronik ve bilgi endüstrilerinde kullanılır. Ayrıca cam kaplama alanında ve aşınmaya dayanıklı olarak da kullanılabilirler. malzemeler, yüksek sıcaklıkta korozyon direnci, üst düzey dekoratif ürünler ve diğer endüstriler.
Püskürtme, ince film malzemelerinin hazırlanmasında kullanılan ana tekniklerden biridir.Yüksek hızlı enerji iyon ışınları oluşturmak, katı yüzeyi bombardıman etmek ve iyonlar ile katı yüzey atomları arasında kinetik enerji alışverişi yapmak üzere vakumda hızlandırmak ve toplamak için iyon kaynakları tarafından üretilen iyonları kullanır. Katı yüzeyindeki atomlar katıyı terk eder ve altlık yüzeyinde biriktirilir. Bombardımanlanan katı, püskürtme hedefi olarak adlandırılan püskürtme yoluyla ince filmlerin biriktirilmesi için hammaddedir. Yarı iletken entegre devrelerde, kayıt ortamlarında, düz panel ekranlarda ve iş parçası yüzey kaplamalarında çeşitli püskürtmeli ince film malzemeleri yaygın olarak kullanılmaktadır.
Tüm uygulama endüstrileri arasında yarı iletken endüstrisi, hedef püskürtme filmleri için en sıkı kalite gereksinimlerine sahiptir. Yüksek saflıkta metal püskürtme hedefleri esas olarak levha üretiminde ve ileri paketleme işlemlerinde kullanılır. Çip üretimini örnek alırsak, silikon levhadan çipe kadar 7 ana üretim sürecinden geçmesi gerektiğini görebiliriz: Difüzyon (Termal İşlem), Foto-litografi (Foto-litografi), Etch (Etch), İyon İmplantasyonu (IonImplant), İnce Film Büyütülmesi (Dielektrik Biriktirme), Kimyasal Mekanik Parlatma (CMP), Metalizasyon (Metalizasyon) İşlemler tek tek karşılık gelir. Püskürtme hedefi “metalizasyon” sürecinde kullanılır. Hedef, ince film biriktirme ekipmanı ile yüksek enerjili parçacıklarla bombardıman edilir ve daha sonra silikon levha üzerinde iletken katman, bariyer katmanı gibi belirli işlevlere sahip bir metal katman oluşturulur. Bekleyin. Yarı iletkenlerin tamamının süreçleri değiştiğinden, sistemin doğru bir şekilde var olduğunu doğrulamak için bazı ara sıra durumlara ihtiyaç duyulur; bu nedenle, etkileri doğrulamak için üretimin belirli aşamalarında bazı yapay malzemeler talep ederiz.
Gönderim zamanı: Ocak-17-2022