Mesleki Eğitim EnerjiPECVD proses grafit taşıyıcısı, PECVD (plazma ile güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme) prosesi için özel olarak tasarlanmış yüksek kaliteli bir sarf malzemesidir. Bu grafit taşıyıcı, mükemmel yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci, boyutsal kararlılık ve diğer özelliklere sahip, yüksek saflıkta, yüksek yoğunluklu grafit malzemeden yapılmıştır ve ince filmin tekdüzeliğini ve düzlüğünü sağlamak için PECVD işlemi için istikrarlı bir taşıyıcı platform sağlayabilir. ifade.
PECVD işlemine yönelik grafit taşıyıcılar aşağıdaki özelliklere sahiptir:
▪ Yüksek saflık: son derece düşük yabancı madde içeriği, filmin kirlenmesini önler ve film kalitesini garanti eder.
▪ Yüksek yoğunluk: yüksek yoğunluk, yüksek mekanik mukavemet, yüksek sıcaklık ve yüksek basınç PECVD ortamına dayanabilme.
▪ İyi boyutsal kararlılık: yüksek sıcaklıkta küçük boyutsal değişim, proses kararlılığını sağlar.
▪ Mükemmel termal iletkenlik: levhanın aşırı ısınmasını önlemek için ısıyı etkili bir şekilde aktarın.
▪ Güçlü korozyon direnci: çeşitli aşındırıcı gazlar ve plazmanın neden olduğu erozyona karşı dayanıklıdır.
▪ Özelleştirilmiş hizmet: Farklı boyut ve şekillerdeki grafit taşıyıcılar, müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir.
SGL'den grafit malzeme:
| Tipik parametre: R6510 | |||
| Dizin | Test standardı | Değer | Birim |
| Ortalama tane büyüklüğü | ISO 13320 | 10 | μm |
| Yığın yoğunluğu | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Açık gözeneklilik | DIN66133 | 10 | % |
| Orta gözenek boyutu | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Geçirgenlik | DIN 51935 | 0,06 | cm²/sn |
| Rockwell sertliği HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spesifik elektriksel direnç | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Eğilme mukavemeti | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Basınç dayanımı | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young modülü | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termal genleşme(20-200°C) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Isı iletkenliği (20°C) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
G12 büyük boyutlu levha işlemeyi destekleyen, yüksek verimli güneş pili üretimi için özel olarak tasarlanmıştır. Optimize edilmiş taşıyıcı tasarımı, verimi önemli ölçüde artırarak daha yüksek verim oranlarına ve daha düşük üretim maliyetlerine olanak tanır.
| Öğe | Tip | Numaralı gofret taşıyıcı |
| PEVCD Grefit tekne - 156 serisi | 156-13 grefit tekne | 144 |
| 156-19 grefit tekne | 216 | |
| 156-21 grefit tekne | 240 | |
| 156-23 grafit tekne | 308 | |
| PEVCD Grefit tekne - 125 serisi | 125-15 grefit tekne | 196 |
| 125-19 grefit tekne | 252 | |
| 125-21 grafit tekne | 280 |
