Grafit malzeme gereksinimlerinin yarı iletken endüstrisi gereksinimleri özellikle yüksektir, grafitin ince parçacık boyutu yüksek hassasiyete, yüksek sıcaklık direncine, yüksek mukavemete, küçük kayıplara ve sinterlenmiş grafit ürünleri kalıbı gibi diğer avantajlara sahiptir.Yarı iletken endüstrisinde kullanılan grafit ekipmanın (ısıtıcılar ve bunların sinterlenmiş kalıpları dahil) tekrarlanan ısıtma ve soğutma işlemlerine dayanması gerektiğinden, grafit ekipmanın servis ömrünü uzatmak amacıyla, genellikle kullanılan grafit malzemelerin istikrarlı performansa sahip olması gerekir. ve ısıya dayanıklı darbe fonksiyonu.
01 Yarı iletken kristal büyütme için grafit aksesuarlar
Yarı iletken kristalleri büyütmek için kullanılan tüm işlemler, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamda gerçekleştirilir. Kristal büyütme fırınının sıcak bölgesi genellikle ısıtıcı, pota, izolasyon silindiri, kılavuz silindir, elektrot, pota tutucusu, elektrot somunu vb. gibi ısıya dayanıklı ve korozyona dayanıklı yüksek saflıkta grafit bileşenlerle donatılmıştır.
Tek tek veya takım halinde temin edilebilen kristal üretim cihazlarının tüm grafit parçalarını veya müşteri ihtiyaçlarına göre çeşitli ebatlarda özel grafit parçaları üretebilmekteyiz. Ürünlerin boyutu yerinde ölçülebilir ve bitmiş ürünlerin kül içeriği daha az olabilir.5 ppm'den fazla.
02 Yarı iletken epitaksi için grafit aksesuarlar
Epitaksiyel proses, tek kristalli substrat üzerindeki substratla aynı kafes düzenine sahip tek kristalli bir malzeme tabakasının büyümesini ifade eder. Epitaksiyel işlemde, levha grafit disk üzerine yüklenir. Grafit diskin performansı ve kalitesi, levhanın epitaksiyel katmanının kalitesinde hayati bir rol oynar. Epitaksiyel üretim alanında, çok sayıda ultra yüksek saflıkta grafit ve SIC kaplamalı yüksek saflıkta grafit bazına ihtiyaç vardır.
Şirketimizin yarı iletken epitaksi için grafit tabanı geniş bir uygulama yelpazesine sahiptir, endüstride yaygın olarak kullanılan ekipmanların çoğuyla eşleşebilir ve yüksek saflığa, tekdüze kaplamaya, mükemmel hizmet ömrüne ve yüksek kimyasal dirence ve termal stabiliteye sahiptir.
03 İyon implantasyonu için grafit aksesuarlar
İyon implantasyonu, bor, fosfor ve arseniğin plazma ışınının belirli bir enerjiye kadar hızlandırılması ve daha sonra yüzey katmanının malzeme özelliklerini değiştirmek için bunu gofret malzemesinin yüzey katmanına enjekte edilmesi işlemini ifade eder. İyon implantasyon cihazının bileşenleri, mükemmel ısı direncine, termal iletkenliğe, iyon ışınının neden olduğu daha az korozyona ve düşük yabancı madde içeriğine sahip, yüksek saflıkta malzemelerden yapılacaktır. Yüksek saflıkta grafit, uygulama gereksinimlerini karşılar ve iyon implantasyon ekipmanının uçuş tüpü, çeşitli yarıklar, elektrotlar, elektrot kılıfları, borular, ışın sonlandırıcıları vb. için kullanılabilir.
Çeşitli iyon implantasyon makineleri için yalnızca grafit koruyucu kapak sağlamakla kalmıyoruz, aynı zamanda çeşitli spesifikasyonlarda yüksek korozyon direncine sahip yüksek saflıkta grafit elektrotlar ve iyon kaynakları da sağlıyoruz. Uygulanabilir modeller: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ve diğer ekipmanlar. Ayrıca uygun seramik, tungsten, molibden, alüminyum ürünler ve kaplamalı parçalar da sağlayabiliriz.
04 Grafit yalıtım malzemeleri ve diğerleri
Yarı iletken üretim ekipmanlarında kullanılan ısı yalıtım malzemeleri arasında grafit sert keçe, yumuşak keçe, grafit folyo, grafit kağıt ve grafit ip bulunur.
Hammaddelerimizin tamamı ithal grafit olup, müşterinin özel ölçülerine göre kesilebilmekte veya bütün olarak satılabilmektedir.
Karbon-karbon tepsisi, güneş enerjisi monokristalin silikon ve polikristalin silikon hücrelerinin üretim prosesinde film kaplama için taşıyıcı olarak kullanılır. Çalışma prensibi şu şekildedir: silikon çipi CFC tepsisine yerleştirin ve film kaplamayı işlemek için fırın tüpüne gönderin.
