Epitaksiyel Epi Grafit Namlu Suseptör

Epitaksiyel Epi Grafit Namlu Suseptör

Epitaksiyel Epi Grafit Namlu SuseptörBiriktirme veya Epitaksi işlemleri gibi üretim süreçleri sırasında yarı iletken alt katmanları tutmak ve ısıtmak için kullanılan, özel olarak tasarlanmış bir destek ve ısıtma cihazıdır.

Yapısı tipik olarak silindirik veya hafif fıçı şeklindedir; yüzey özellikleri, gofretlerin yerleştirilmesi için birden fazla cep veya platform içerir; ısıtma yöntemine bağlı olarak katı veya içi boş tasarım olabilir.

Epitaksiyel varil suseptörünün ana fonksiyonları:

-Substrat desteği: birden fazla yarı iletken levhayı güvenli bir şekilde tutar;
-Isı kaynağı: Isıtma yoluyla büyüme için gereken yüksek sıcaklıkları sağlar;
-Sıcaklık eşitliği: alt tabakaların eşit şekilde ısıtılmasını sağlar;
-Döndürme: Sıcaklık ve gaz dağılımı tekdüzeliğini geliştirmek için genellikle büyüme sırasında döner.

Epi grafit varil tutucunun çalışma prensibi:
- Epitaksiyel reaktörde, namlu tutucu gerekli sıcaklığa ısıtılır (silikon epitaksi için tipik olarak 1000°C-1200°C);
- Namlu tutucusu, düzgün sıcaklık dağılımı ve gaz akışı sağlamak için döner;
-Reaksiyon gazları yüksek sıcaklıklarda ayrışır ve substrat yüzeyinde epitaksiyel katmanlar oluşturur.

Uygulamalar:
-Öncelikle silikon epitaksiyel büyüme için kullanılır
-GaAs, InP vb. gibi diğer yarı iletken malzemelerin epitaksisi için de geçerlidir.

VET Energy, kimyasal stabiliteyi arttırmak için CVD-SiC kaplamalı yüksek saflıkta grafit kullanır:

VET Energy Epitaksiyel Epi Grafit Namlu Süseptörünün avantajları:

-Yüksek sıcaklık stabilitesi;
-İyi termal tekdüzelik;
-Birden fazla alt tabakayı aynı anda işleyerek üretim verimliliğini artırabilir;
-Kimyasal olarak inert, yüksek saflıkta bir büyüme ortamını korur.