MOCVD epitaksial ösüşi üçin RTP / RTA SiC örtük göterijisi

Gysga düşündiriş:

VET Energy RTP / RTA SiC örtük göterijisi, uzak wagtyň dowamynda yzygiderli we ygtybarly öndürijiligi üpjün etmek üçin döredilen ýokary öndürijilikli önümdir. Örän oňat ýylylyga garşylygy we ýylylyk birmeňzeşligi, ýokary arassalygy, eroziýa garşylygy bar, ony wafli gaýtadan işlemek üçin amatly çözgüt edýär.


  • Gelip çykan ýeri:Hytaý
  • Kristal gurluşy:FCCβ tapgyry
  • Dykyzlygy:3,21 g / sm
  • Gatylygy:2500 Wikers
  • Galla ölçegi:2 ~ 10μm
  • Himiki arassalygy:99.99995%
  • Atylylyk kuwwaty:640J · kg-1 · K-1
  • Sublimasiýa temperaturasy:2700 ℃
  • Felexural güýç:415 Mpa (RT 4-nokat)
  • Youngaş modul:430 Gpa (4pt egilmek, 1300 ℃)
  • Malylylyk giňelişi (CTE):4.5 10-6K-1
  • Malylylyk geçirijiligi:300 (W / MK)
  • Önümiň jikme-jigi

    Haryt bellikleri

    “RTP / RTA” üçin “SiC örtük göterijisi” Çalt termiki gaýtadan işlemek we Annealing atly ýarymgeçiriji önümçilik prosesinde ulanylýan esasy komponent, kremniý karbid göterijisini aşa ýokary arassalygy, örtüginiň birmeňzeşligi we ajaýyp hyzmat ömri ýaly patentlenen tehnologiýamyzy ulanýarys. şeýle hem ýokary himiki garşylyk we ýylylyk durnuklylyk aýratynlyklary.

    Önümlerimiziň aýratynlyklary:

    1. 1700 up çenli ýokary temperatura okislenme garşylygy.
    2. Highokary arassalyk we ýylylyk birmeňzeşligi
    3. Ajaýyp poslama garşylyk: kislota, aşgar, duz we organiki reagentler.

    4. hardokary gatylyk, ykjam ýer, inçe bölejikler.
    5. Uzak hyzmat möhleti we has çydamly

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    CVD SiC-iň esasy fiziki aýratynlyklaryörtük

    性质 / Emläk

    典型数值 / Adaty baha

    晶体结构 / Kristal gurluş

    FCC β tapgyry多晶,主要为(111 )取向

    密度 / Dykyzlygy

    3.21 g / sm³

    硬度 / Gatylyk

    2500 维氏硬度( 500g ýük)

    晶粒大小 / Galla SiZe

    2 ~ 10μm

    纯度 / Himiki arassalygy

    99.99995%

    热容 / Atylylyk kuwwaty

    640 J · kg-1· K.-1

    升华温度 / Sublimasiýa temperaturasy

    2700 ℃

    抗弯强度 / Fleksural güýç

    415 MPa RT 4 bal

    杨氏模量 / 'Aş modul

    430 Gpa 4pt egilmek, 1300 ℃

    导热系数 / TermalGeçirijilik

    300W · m-1· K.-1

    热膨胀系数 / Malylylyk giňelişi (CTE)

    4.5 × 10-6K-1

    1

    2

    VET Energy, SiC örtügi, TaC örtügi, aýna uglerod örtügi, pirolitiki uglerod örtügi we ş.m. ýaly dürli örtükli ýöriteleşdirilen grafit we kremniy karbid önümleriniň hakyky öndürijisidir, ýarymgeçiriji we fotoelektrik senagaty üçin dürli ýöriteleşdirilen bölekleri üpjün edip biler.

    Tehniki toparymyz içerki gözleg institutlaryndan gelýär, size has professional material çözgütleri berip biler.

    Has ösen materiallar bilen üpjün etmek üçin öňdebaryjy prosesleri yzygiderli ösdürýäris we örtük bilen substratyň arasyndaky baglanyşygy has berkitip, aýrylmaga has ýykgyn edip biljek aýratyn patentlenen tehnologiýany taýýarladyk.

    Zawodymyza baryp görmegiňizi mähirli garşylaýarys, geliň mundan beýläk pikir alyşalyň!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Öňki:
  • Indiki:

  • WhatsApp onlaýn söhbetdeşlik!