Näme üçin inçelmeli?

Yzky etapda ,.wafli (kremniý wafliöňündäki zynjyrlar bilen) paketiň monta height beýikligini peseltmek, çip paketiniň göwrümini azaltmak, çipiň ýylylyk diffuziýa netijeliligini, elektrik öndürijiligini, mehaniki aýratynlyklaryny ýokarlandyrmak we mukdaryny azaltmak üçin indiki baha kesmekden, kebşirlemekden we gaplamakdan ozal arka tarapdan inçe bolmaly. baha bermek. Yzky üwemek ýokary netijeliligiň we arzan bahanyň artykmaçlyklaryna eýedir. Adaty çygly eriş we ion dökmek prosesleriniň ornuny iň möhüm arka inçe tehnologiýasy boldy.

Inçe wafli

Nädip inçe bolmaly?

Adaty gaplama prosesinde wafli inçelmegiň esasy prosesi

Theörite ädimleriwafliinçelmek, wafli inçe filme birikdirmeli, soň bolsa vakuumdan peýdalanyp, inçe filmi we üstündäki çipi gözenekli keramiki wafli stoluna, işiň üstündäki içki we daşarky tegelek gaýyk merkeziniň çyzyklaryny sazlamaly. kremniý wafli merkezine käse şekilli göwher ýylmaýjy tigir, kremniý wafli we ýylmaýjy tigir kesmek üçin degişli oklarynyň daşyndan aýlanýar. Öwürmek üç basgançagy öz içine alýar: gödek üwemek, inçe üwürmek we ýuwmak.

Wafli zawodyndan çykýan wafli, gaplamak üçin zerur galyňlyga çenli wafli inçe etmek üçin arka bilen üwürilýär. Wafli üwende, zynjyr meýdanyny goramak üçin öň tarapa (Işjeň meýdança) lenta dakylmaly we arka tarapy şol bir wagtyň özünde ýerdir. Öwürilenden soň, lentany aýyryň we galyňlygyny ölçäň.
Silikon wafli taýýarlamakda üstünlikli ulanylan üweýiş proseslerine aýlaw stoluny üwemek,kremniý wafliaýlanma ýylmaýjy, iki taraplaýyn üweýji we ş.m. singleeke kristal kremniý wafli ýerüsti hil talaplarynyň has-da kämilleşdirilmegi bilen TAIKO üweýji, himiki mehaniki üweýji, ýylmaýjy ýylmaýjy we planetar disk üweýji ýaly täze üweýiş tehnologiýalary hemişe teklip edilýär.

Aýlanýan stol üweýji:

Aýlanýan stol üweýji (aýlanýan stol üweýji), kremniý wafli taýýarlamakda we arka ýukalamakda ulanylýan irki ýylmaýyş prosesi. Onuň ýörelgesi 1-nji suratda görkezilýär. Silikon wafli aýlanýan stoluň sorujy käselerine berkidilýär we aýlanýan stol bilen sinhron hereket edýär. Silikon wafli öz okunda aýlanmaýar; ýylmaýjy tigir ýokary tizlikde aýlananda eksenel iýmitlenýär we ýylmaýjy tigiriň diametri kremniniň wafliniň diametrinden has uly. Aýlanýan stoluň ýylmaýşynyň iki görnüşi bar: ýüzi gysmak we ýüzi tangensial üwemek. Faceüzüňi gysmakda, ýylmaýjy tigiriň ini kremniniň wafli diametrinden has uludyr we ýylmaýjy tigir şpilkasy artykmaç işlenýänçä eksenel ugry boýunça yzygiderli iýmitlenýär, soň bolsa kremniý wafli aýlanýan stoluň sürüjisi astynda aýlanýar; tangensial üweýişde, üweýji tigir eksenel ugry boýunça iýmitlenýär we kremniý wafli aýlanýan diskiň sürüjisiniň aşagynda yzygiderli aýlanýar we üweýiş iýmitlenmek (garşylyk) ýa-da süýrenmek bilen tamamlanýar.

1-nji surat, aýlanýan stollary üwemek (ýüz tangensial) ýörelgesiniň shemasy

Öwürmek usuly bilen deňeşdirilende, aýlanýan stol üweýji ýokary aýyrmagyň tizliginiň, ýerüsti zeper ýetmeginiň we aňsat awtomatlaşdyrmagyň artykmaçlyklaryna eýedir. Şeýle-de bolsa, üweýiş prosesinde hakyky üweýiş meýdany (işjeň üweýiş) B we kesilen burç θ (üweýji tigiriň daşky tegelegi bilen kremniniň wafliniň daşky tegelegi) kesiş ýagdaýynyň üýtgemegi bilen üýtgeýär. ýylmaýjy tigir, durnuksyz üweýiş güýjüne sebäp bolup, ideal ýer takyklygyny (ýokary TTV bahasy) almagy kynlaşdyrýar we gyralaryň çökmegi we gyralaryň çökmegi ýaly kemçilikleri aňsatlyk bilen döredýär. Aýlanýan stol üweýji tehnologiýasy esasan 200 mm-den pes bir kristal kremniý wafli gaýtadan işlemek üçin ulanylýar. Singleeke kristal kremniý wafli ululygynyň artmagy, enjamlaryň iş ýeriniň üstki takyklygy we hereket takyklygy üçin has ýokary talaplary öňe sürdi, şonuň üçin aýlanýan stol üweýji 300 mm-den ýokary bir kristal kremniý wafli üwemek üçin amatly däl.
Ingyladyş netijeliligini ýokarlandyrmak üçin täjirçilik tekizligi tangensial ýylmaýjy enjam, köplenç köp ýylmaýjy tigir gurluşyny kabul edýär. Mysal üçin, enjamda gödek üweýji tigirler we inçe ýylmaýjy tigirler toplumy enjamlaşdyrylýar we aýlaw stoly gödek üwürmek we inçe üwemek üçin bir tegelek aýlanýar. Enjamyň bu görnüşine Amerikan GTI kompaniýasynyň G-500DS girýär (2-nji surat).

2-nji surat, GI 500DS ABŞ-daky GTI kompaniýasynyň aýlaw stoluny üweýji enjamlary

Silikon wafli aýlanyş ýylmaýjy:

Uly göwrümli kremniý wafli taýýarlamak we arkaýyn gaýtadan işlemek zerurlyklaryny kanagatlandyrmak we gowy TTV bahasy bilen ýerüsti takyklygy almak üçin. 1988-nji ýylda ýapon alymy Matsui kremniý wafli aýlanyş üwürmek (iýmitlendirmek) usulyny teklip etdi. Principleörelgesi 3-nji suratda görkezilýär. Iş stolunda ýerleşdirilen ýeke-täk kristal kremniý wafli we käse şekilli göwher ýylmaýjy tigir degişli oklaryň daşyndan aýlanýar we ýylmaýjy tigir şol bir wagtyň özünde eksenel ugry boýunça yzygiderli iýmitlenýär. Olaryň arasynda üweýji tigiriň diametri gaýtadan işlenen kremniniň wafliniň diametrinden has uludyr we aýlawy kremniniň wafliniň merkezinden geçýär. Öýjük güýjüni azaltmak we üweýji ýylylygy azaltmak üçin wakuum sorujy käse adatça konweks ýa-da konkaw görnüşde kesilýär ýa-da ýylmaýjy tigir şpilkasy bilen sorujy käsäniň okunyň arasyndaky burç sazlanýar ýylmaýjy tigir we kremniý wafli.

3-nji surat, Silikon wafli aýlawly üweýiş prinsipiniň shemasy

Aýlanýan stol üweýji bilen deňeşdirilende, kremniý wafli aýlawly üwemek aşakdaky artykmaçlyklara eýedir: ① Bir gezeklik bir gezekli üwemek 300 mm-den uly kremniý wafli gaýtadan işläp biler; B Hakyky üweýiş meýdany B we kesiş burçy constant hemişelik, üweýji güýji bolsa birneme durnukly; Ing Öýjükli tigir oky bilen kremniý wafli okunyň arasyndaky ýapgyt burçuny sazlamak bilen, ýerüsti şekiliň has takyklygyny almak üçin ýeke kristal kremniniň wafliniň üstki görnüşini işjeň dolandyryp bolýar. Mundan başga-da, kremniý wafli aýlawly üweýji üweýiş meýdany we kesiş burçy large uly margin üwemek, aňsat onlaýn galyňlygy we ýerüsti hilini kesgitlemek we gözegçilik, ykjam enjam gurluşy, aňsat köp stansiýaly integrasiýa we ýokary üweýiş netijeliligi bar.
Önümçiligiň netijeliligini ýokarlandyrmak we ýarymgeçiriji önümçilik liniýalarynyň zerurlyklaryny kanagatlandyrmak üçin, kremniý wafli aýlawly üwemek prinsipine esaslanýan täjirçilik üweýji enjamlar, bir ýüklemekde we düşürmekde gödek üwemegi we inçe üwemegi tamamlap bilýän köp aýlawly köp stansiýaly gurluşy kabul edýär. . Beýleki kömekçi desgalar bilen birleşip, ýeke-täk kristal kremniý wafli “guradylan / guradylan” we “kasetanyň kasetasyna” doly awtomatiki üýşürip biler.

Iki taraplaýyn üwemek:

Silikon wafli aýlanýan ýylmaýjy kremniý wafliniň ýokarky we aşaky ýüzlerini gaýtadan işlese, iş bölegi netijeliligi çäklendirýän ädimler bilen ýerine ýetirilmeli. Шул (4-nji suratda görkezilişi ýaly. simmetrik taýdan iki tarapa paýlanan saklaýjy halkadaky ýekeje kristal kremniý wafli gysýar we rulon bilen haýal sürülýär. Kubok şekilli göwher ýylmaýjy tigirler, ýekeje kristal kremniniň wafliniň iki gapdalynda ýerleşýär. Howa göteriji elektrik şpilkasy bilen hereket edip, ters tarapa aýlanýar we ýekeje kristal kremniý wafli iki taraplaýyn üwemek üçin eksenel iýmitlenýär. Suratdan görnüşi ýaly, iki taraplaýyn üwemek sim kesilenden soň ýekeje kristal kremniniň wafliniň üstündäki tolkuny we has täsirli aýyryp biler. Öýjükli tigir okunyň tertipleşdiriş ugruna görä, iki taraplaýyn üwemek keseligine we dikligine bolup biler. Şolaryň arasynda keseligine iki taraplaýyn üweýji, kremniniň wafli deformasiýasynyň kremniý wafli ölen agramynyň üweýiş hiline täsirini peseldip biler we bir kristal kremniniň iki gapdalynda üweýiş prosesiniň şertlerini üpjün etmek aňsat. wafli birmeňzeş, abraziw bölejikler we üweýji çipler ýekeje kristal kremniniň wafliniň üstünde durmak aňsat däl. Bu birneme ideal üweýiş usulydyr.

4-nji surat, "roralňyş göçürme" we kremniniň wafli aýlanyş üwürmekde bellik kemçilikleri

5-nji surat, iki taraplaýyn üwemek prinsipiniň shemasy

1-nji tablisada ýokardaky üç görnüşli ýeke kristal kremniý wafli bilen üwemek we iki taraplaýyn üwemek arasyndaky deňeşdirme görkezilýär. Iki taraplaýyn üwemek, esasan 200 mm-den pes kremniý wafli gaýtadan işlemek üçin ulanylýar we ýokary wafli hasyllylygy bar. Kesgitli abraziw ýylmaýjy tigirleriň ulanylmagy sebäpli, bir kristal kremniý wafli üwemek, iki taraplaýyn üwemekden has ýokary ýer hilini alyp biler. Şol sebäpden, kremniý wafli aýlanýan ýylmaýjy we iki taraplaýyn üweýji, esasy 300 mm kremniý wafli gaýtadan işlemegiň hil talaplaryna laýyk bolup biler we häzirki wagtda tekizlemegiň iň möhüm usullarydyr. Silikon wafli tekizleýiş gaýtadan işleýiş usuly saýlanylanda, bir kristal kremniý wafliniň diametriniň ululygynyň, ýeriň hiliniň we ýalpyldawuk wafli gaýtadan işleýiş tehnologiýasynyň talaplaryna giňişleýin göz aýlamak zerurdyr. Wafli arka ýuka, diňe kremniý wafli aýlawly üweýiş usuly ýaly bir taraply gaýtadan işlemek usulyny saýlap biler.

Silikon wafli üwemekde ýylmaýjy usuly saýlamakdan başga-da, polo positiveitel basyş, ýylmaýjy tigir dänesiniň ululygy, ýylmaýjy tigir baglaýjy, ýylmaýjy tigir tizligi, kremniniň wafli tizligi, üweýji suwuklygyň ýapyklygy we amatly proses parametrlerini saýlamaly. akym tizligi we ş.m. we amatly proses ugruny kesgitläň. Adatça, ýokary gaýtadan işleýiş netijeliligi, ýokary tekizligi we pes ýerüsti zeper ýetmegi bilen ýekeje kristal kremniý wafli almak üçin gödek üweýiş, ýarym timarlamak, gutarmak üweýji, uçgunsyz üweýiş we haýal goldaw bermek ýaly segmentli üweýiş prosesi ulanylýar.