Ion bombalanmagynyň birmeňzeş bolmazlygy
Guryçişirmekköplenç fiziki we himiki täsirleri birleşdirýän, ion bombalanmagy möhüm fiziki usuldyr. Bu döwürdedökmek prosesi, hadysanyň burçy we ionlaryň energiýa paýlanyşy deň däl bolup biler.
Ion hadysasynyň burçy pyýada ýörelgesindäki dürli ýerlerde dürli bolsa, ionlaryň pyýada ýörelgesine täsir etmegi hem başgaça bolar. Ion hadysalarynyň has uly burçlary bolan ýerlerde, ionlaryň pyýada ýörelgesine täsir etmegi has güýçlidir, bu bolsa bu ýerdäki pyýada ýörelgesiniň has köpelmegine sebäp bolar we pyýada ýörelgesiniň egilmegine sebäp bolar. Mundan başga-da, ion energiýasynyň deň däl paýlanmagy hem şuňa meňzeş täsirleri döreder. Has ýokary energiýaly ionlar materiallary has netijeli aýyryp biler, netijede biri-birine gabat gelmezçişirmekdürli ýerlerde pyýada ýörelgesiniň derejeleri, bu bolsa öz gezeginde pyýada ýörelgesine sebäp bolýar.
Fotorezistiň täsiri
Fotorezist, gury erişde maska roluny ýerine ýetirýär, ekilmeli däl ýerleri goraýar. Şeýle-de bolsa, fotorezist plazma bombalanmagy we dökülme döwründe himiki reaksiýalar bilen täsir edýär we öndürijiligi üýtgäp biler.
Fotorezistiň galyňlygy deň däl bolsa, eriş prosesinde sarp ediş tizligi biri-birine gabat gelmeýän bolsa ýa-da fotorezist bilen substratyň arasyndaky ýelmeşme dürli ýerlerde tapawutly bolsa, ekiş döwründe pyýadalaryň deňsiz goralmagyna sebäp bolup biler. Mysal üçin, has inçe fotorezist ýa-da has gowşak ýelmeşýän ýerler, esasy materiallary has aňsatlaşdyryp biler, bu ýerlerde pyýadalaryň egilmegine sebäp bolup biler.
Substrat material häsiýetleriniň tapawudy
Dökülen substrat materialyň özi dürli kristal ugurlary we dürli sebitlerde doping konsentrasiýalary ýaly dürli häsiýetlere eýe bolup biler. Bu tapawutlar, çişmegiň tizligine we saýlama seçimine täsir eder.
Mysal üçin, kristal kremniýde kremniy atomlarynyň dürli kristal ugurlarynda ýerleşişi başga, olaryň reaktiwligi we çykýan gaz bilen täsir ediş derejesi hem başgaça bolar. Dökmek prosesinde, maddy häsiýetleriň tapawudynyň netijesinde ýüze çykýan dürli dykyzlyk derejeleri, dürli ýerlerde pyýada ýörelgeleriniň çuňlugyny biri-birine gabat gelmez, netijede pyýada ýörelgelerine sebäp bolar.
Enjam bilen baglanyşykly faktorlar
Dökýän enjamlaryň işleýşi we ýagdaýy, etiň netijelerine möhüm täsir edýär. Mysal üçin, reaksiýa kamerasynda deň bolmadyk plazma paýlanyşy we elektrod könelmezligi ýaly meseleler, dykylýan mahaly ion dykyzlygy we energiýa ýaly parametrleriň deň paýlanmagyna sebäp bolup biler.
Mundan başga-da, enjamlara temperaturanyň deň däl gözegçilik edilmegi we gaz akymynyň birneme üýtgemegi hem pyýada ýoluň egilmegine sebäp bolup, çişmegiň birmeňzeşligine täsir edip biler.
Iş wagty: Dekabr-03-2024