“Dual-Damascene” integral zynjyrlarda metal özara baglanyşyklary öndürmek üçin ulanylýan proses tehnologiýasydyr. Bu Damask etabynyň mundan beýläkki ösüşidir. Deşikleriň we çukurlaryň şol bir wagtyň özünde şol bir ädimde emele gelip, olary metal bilen doldurmak bilen, metal özara baglanyşyklaryň toplumlaýyn öndürilmegi amala aşyrylýar.
Näme üçin Damaska diýilýär?
Damask şäheri Siriýanyň paýtagtydyr we Damask gylyçlary ýiti we nepis gurluşy bilen meşhurdyr. Giriş prosesiniň bir görnüşi talap edilýär: ilki bilen, zerur nagyş Damask polatynyň ýüzüne nagyşlanýar we öňünden taýýarlanan materiallar oýulan çukurlara berk ýapylýar. Giriş gutaransoň, üstü birneme deň däl bolup biler. Hünär ussasy umumy tekizligi üpjün etmek üçin ony seresaplylyk bilen süpürer. Bu amal, çipiň goşa Damask prosesiniň prototipidir. Ilki bilen dielektrik gatlagyna çukurlar ýa-da deşikler ýazylýar, soňra bolsa metal doldurylýar. Doldurylandan soň artykmaç metal cmp bilen aýrylar.
Iki damasken prosesiniň esasy ädimleri şulary öz içine alýar:
Die Dielektrik gatlagyň çökmegi:
Icarymgeçirijä kremniniň dioksidi (SiO2) ýaly dielektrik materialynyň bir gatlagyny goýuňwafli.
The Nusgany kesgitlemek üçin fotolitografiýa:
Dielektrik gatlagynda çukurlaryň we garymlaryň nagşyny kesgitlemek üçin fotolitografiýany ulanyň.
▪Etching:
Gury ýa-da çukurlaryň nagşyny gury ýa-da çygly eriş prosesi arkaly dielektrik gatlagyna geçiriň.
Metal Metalyň çökdürilmegi:
Mis (Cu) ýa-da alýumin (Al) ýaly metallary özara baglanyşyk emele getirmek üçin çukurlara we garymlara goýuň.
Ical Himiki mehaniki polat:
Artykmaç metallary aýyrmak we ýüzüni tekizlemek üçin demir ýüzüni himiki mehaniki ýuwmak.
Adaty metal özara baglanyşyk prosesi bilen deňeşdirilende, goşa damasen prosesi aşakdaky artykmaçlyklara eýedir:
Process Işiň ýönekeýleşdirilen ädimleri:şol bir ädimde bir wagtyň özünde gämi we çukur emele getirmek bilen, proses ädimleri we önümçilik wagty azalýar.
Manufacturing Önümçiligiň netijeliligi:proses ädimleriniň azalmagy sebäpli goşa damasen prosesi önümçiligiň netijeliligini ýokarlandyryp we önümçilik çykdajylaryny azaldyp biler.
Metal Metal baglanyşyklaryň işleýşini gowulandyrmak:goşa damasken prosesi dar metal özara baglanyşyklara ýetip biler we şeýlelik bilen zynjyrlaryň birleşmegini we işleýşini gowulandyrar.
Para Parazit kuwwatyny we garşylygyny peseltmek:pes k dielektrik materiallaryny ulanmak we metal özara baglanyşyklaryň gurluşyny optimizirlemek arkaly, parazitleriň kuwwatyny we garşylygyny peseldip, zynjyrlaryň tizligini we energiýa sarp ediş işini gowulandyryp bolar.
Iş wagty: Noýabr-25-2024