Himiki bug çöketligi (CVD) kremniniň ýüzüne gaty film goýmak prosesine degişlidirwafligaz garyndysynyň himiki reaksiýasy arkaly. Dürli reaksiýa şertlerine (basyş, deslapky) görä, ony dürli enjam modellerine bölmek mümkin.
Bu iki enjam haýsy prosesler üçin ulanylýar?
PECVD(Plazma Enhanced) enjamlar, OX, Nitride, metal derwezede, amorf uglerodda we ş.m. ulanylýan iň köp we iň köp ulanylýan enjamdyr.; LPCVD (Pes güýç) adatça Nitride, poly, TEOS-da ulanylýar.
Principleörelge näme?
PECVD - plazma energiýasyny we CVD-ni ajaýyp birleşdirýän proses. PECVD tehnologiýasy pes basyşda prosess kamerasynyň katodynda (ýagny, lýuboý) ýalpyldawuk akymyň döremegi üçin pes temperaturaly plazmany ulanýar. Bu ýalpyldawuk akym ýa-da beýleki ýyladyş enjamy, nusganyň temperaturasyny öňünden kesgitlenen derejä çykaryp, soňra gözegçilik edilýän mukdarda gaz gazyny girizip biler. Bu gaz birnäçe himiki we plazma reaksiýalaryny başdan geçirýär we ahyrynda nusganyň üstünde gaty film döredýär.
LPCVD - Pes basyşly himiki bug çökdürilmegi (LPCVD) reaktordaky reaksiýa gazynyň iş basyşyny takmynan 133Pa ýa-da ondanam peseltmek üçin döredildi.
Hersiniň aýratynlyklary näme?
PECVD - Plazma energiýasyny we CVD-ni ajaýyp birleşdirýän proses: 1) Pes temperaturaly işlemek (enjamlara ýokary temperatura zeper ýetmeginiň öňüni almak); 2) Filmiň çalt ösmegi; 3) Materiallary saýlamazlyk, OX, Nitride, metal derwezesi, amorf uglerod hemmesi ösüp biler; 4) Reseptini ion parametrleri, gaz akymynyň tizligi, temperatura we filmiň galyňlygy arkaly sazlap bilýän in-situ gözegçilik ulgamy bar.
LPCVD - LPCVD tarapyndan goýlan inçe filmler has gowy ädim örtügine, gowy düzümine we gurluşyna gözegçilik, ýokary depozit derejesi we çykarylyşyna eýe bolar. Mundan başga-da, LPCVD daşaýjy gazy talap etmeýär, şonuň üçin bölejikleriň hapalanmagynyň çeşmesini ep-esli azaldar we inçe film çökdürilmegi üçin ýokary bahaly ýarymgeçiriji pudaklarda giňden ulanylýar.
Has giňişleýin pikir alyşmak üçin dünýäniň dürli künjeginden gelen müşderilere hoş geldiňiz!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Iş wagty: Iýul-24-2024