Bir kristal peçiň alty ulgamy haýsylar?

Singleeke kristal peç a ulanýan enjamdyrgrafit gyzdyryjypolikristally kremniy materiallaryny inert gaz (argon) gurşawynda eritmek we Çzochralski usulyny ýerleşdirilmedik ýeke kristallary ösdürmek üçin ulanýar. Esasan aşakdaky ulgamlardan durýar:

Mehaniki geçiriş ulgamy

Mehaniki geçiriş ulgamy, esasan kristallaryň hereketine gözegçilik etmek üçin jogapkär ýeke kristal peçiň esasy iş ulgamydyr wehaça çüýlenmeler, tohum kristallarynyň göterilmegi we aýlanmagy, göterilmegi we aýlanmagy ýalyhaça çüýlenmeler. Kristal ösüş prosesiniň yzygiderli öňe gitmegini üpjün etmek üçin kristallaryň we haçly ýerleriň ýagdaýy, tizligi we aýlanma burçy ýaly parametrleri takyk sazlap biler. Mysal üçin, ekiş, boýn, egin, deň diametrli ulalmak we guýruk ýaly dürli kristal ösüş etaplarynda tohum kristallarynyň we haç çüýşeleriniň hereketi, kristal ösüşiniň talaplaryny kanagatlandyrmak üçin bu ulgam tarapyndan takyk gözegçilikde saklanmalydyr.
Temperatureylylyk temperaturasyna gözegçilik ulgamy

Bu ýylylygy öndürmek we peçdäki temperaturany takyk gözegçilikde saklamak üçin ulanylýan ýekeje kristal peçiň esasy ulgamlaryndan biridir. Esasan gyzdyryjylar, temperatura datçikleri we temperatura gözegçileri ýaly komponentlerden durýar. Ateryladyjy, adatça ýokary arassa grafit ýaly materiallardan ýasalýar. Üýtgeýän tok üýtgedilenden we toky köpeltmek üçin azaldylandan soň, gyzdyryjy polisilikon ýaly polikristally materiallary eritmek üçin ýylylyk döredýär. Temperatura datçigi peçdäki temperaturanyň üýtgemegine hakyky wagtda gözegçilik edýär we temperatura signalyny temperatura gözegçisine geçirýär. Temperatura gözegçisi, kesgitlenen temperatura parametrlerine we seslenme temperatura signalyna laýyklykda ýyladyş güýjüne takyk gözegçilik edýär, şeýlelik bilen peçdäki temperaturanyň durnuklylygyny saklaýar we kristalyň ösmegi üçin amatly temperatura gurşawyny üpjün edýär.

Wakuum ulgamy

Wakuum ulgamynyň esasy wezipesi, hrustal ösüş döwründe peçde vakuum gurşawyny döretmek we goldamakdyr. Ojakdaky howa we haramlyk gazlary wakuum nasoslary we beýleki enjamlar arkaly peçdäki gaz basyşyny gaty pes derejä çykarmak üçin, adatça 5TOR (torr) -dan aşakda çykarylýar. Bu kremniniň materialynyň ýokary temperaturada okislenmeginiň öňüni alyp biler we kristal ösüşiniň arassalygyny we hilini üpjün edip biler. Şol bir wagtyň özünde wakuum gurşawy, kristalyň ösüş prosesinde emele gelýän üýtgäp durýan hapalary aýyrmak we kristalyň hilini ýokarlandyrmak üçin amatlydyr.
Argon ulgamy

Argon ulgamy, ýekeje kristal peçdäki peçdäki basyşy goramakda we kadalaşdyrmakda möhüm rol oýnaýar. Wakuumdan soň ýokary arassa argon gazy (arassalygy 6 9-dan ýokary bolmaly) peje doldurylýar. Bir tarapdan, daşarky howanyň peje girmeginiň öňüni alyp biler we kremniniň materiallarynyň okislenmeginiň öňüni alyp biler; beýleki tarapdan, argon gazynyň doldurylmagy peçdäki basyşy saklap biler we kristalyň ösmegi üçin amatly basyş gurşawyny üpjün edip biler. Mundan başga-da, argon gazynyň akymy belli bir sowadyş roluny oýnap, kristal ösüş prosesinde emele gelen ýylylygy hem alyp biler.
Suw sowadyş ulgamy

Suw sowadyş ulgamynyň wezipesi, enjamlaryň kadaly işlemegini we hyzmat ediş möhletini üpjün etmek üçin ýekeje kristal peçiň dürli ýokary temperatura komponentlerini sowatmakdyr. Cryeke kristal peçiň işleýşi wagtynda gyzdyryjy,wajyp, elektrod we beýleki komponentler köp ýylylyk öndürer. Wagtynda sowadylmasa, enjamlar gyzar, deformasiýa ýa-da zeper ýeter. Suw sowadyş ulgamy, enjamlaryň temperaturasyny howpsuz aralykda saklamak üçin sowadyjy suw aýlamak arkaly bu komponentleriň ýylylygyny alýar. Şol bir wagtyň özünde, suw sowadyş ulgamy, temperatura gözegçiliginiň takyklygyny ýokarlandyrmak üçin peçdäki temperaturany sazlamaga hem kömek edip biler.
Elektrik dolandyryş ulgamy

Elektrik dolandyryş ulgamy, ähli enjamlaryň işleýşine gözegçilik etmek we gözegçilik etmek üçin ýeke kristal peçiň “beýni” bolup durýar. Temperatura datçikleri, basyş datçikleri, pozisiýa datçikleri we ş.m. ýaly dürli datçiklerden signallary alyp biler we bu signallara esaslanýan mehaniki geçiriş ulgamyny, ýylylyk temperaturasyna gözegçilik ulgamyny, wakuum ulgamyny, argon ulgamyny we suw sowadyş ulgamyny utgaşdyryp we dolandyryp biler. Mysal üçin, kristal ösüş prosesinde elektrik dolandyryş ulgamy ýylylyk güýjüni temperatura datçigi tarapyndan yzyna gaýtarylýan temperatura signalyna görä awtomatiki sazlap biler; kristalyň ösüşine görä, tohum kristalynyň we aýlanyş tizligine we aýlanma burçuna gözegçilik edip biler. Şol bir wagtyň özünde, elektrik dolandyryş ulgamy enjamyň adaty bolmadyk ýagdaýlaryny wagtynda kesgitläp we enjamyň howpsuz işlemegini üpjün edip bilýän näsazlyklary anyklamak we duýduryş funksiýalaryna eýedir.