Silikonyň üstünde kremniniň dioksidiniň emele gelmegine okislenme diýilýär we durnukly we berk ýapyşýan kremniniň dioksidiniň döredilmegi kremniniň integral zynjyr meýilnama tehnologiýasynyň döremegine sebäp boldy. Silikonyň dioksidini gönüden-göni kremniniň üstünde ösdürmegiň köp usuly bar bolsa-da, adatça kremnini ýokary temperatura oksidleýji gurşawa (kislorod, suw) täsir etmek üçin termiki okislenme arkaly amala aşyrylýar. Malylylyk oksidleniş usullary kremniniň dioksid filmleri taýýarlanylanda filmiň galyňlygyny we kremniý / kremniniň dioksid interfeýs aýratynlyklaryny dolandyryp biler. Silikon dioksidini ösdürmegiň beýleki usullary plazma anodizasiýasy we çygly anodizasiýa, ýöne bu usullaryň hiç biri-de VLSI proseslerinde giňden ulanylmady.
Silikon durnukly kremniniň dioksidini emele getirmek meýlini görkezýär. Täze ýapylan kremniý oksidleýji gurşawa (kislorod, suw ýaly) täsir etse, otag temperaturasynda-da gaty inçe oksid gatlagyny (<20Å) emele getirer. Silikon ýokary temperaturada oksidleýji gurşawa sezewar bolanda has çalt tizlikde has galyň oksid gatlagy emele geler. Silikondan kremniniň dioksidiniň emele gelmeginiň esasy mehanizmi gowy düşünilýär. “Deal and Grove” 300Å-den has galyň oksid filmleriniň ösüş dinamikasyny takyk suratlandyrýan matematiki model döretdi. Okislenmäniň aşakdaky usulda amala aşyrylmagyny teklip etdiler, ýagny oksidant (suw molekulalary we kislorod molekulalary) bar bolan oksid gatlagyndan Si / SiO2 interfeýsine ýaýraýar, bu ýerde oksidant kremniniň dioksidi emele getirýär. Silikon dioksidiň emele gelmeginiň esasy reaksiýasy şeýle düşündirilýär:
Okislenme reaksiýasy Si / SiO2 interfeýsinde ýüze çykýar, şonuň üçin oksid gatlagy ulalanda kremniý yzygiderli sarp edilýär we interfeýs kem-kemden kremnini basyp alýar. Silikon we kremniniň dioksidiniň degişli dykyzlygyna we molekulýar agramyna görä, soňky oksid gatlagynyň galyňlygy üçin sarp edilýän kremniniň 44% -e deňdigini görmek bolýar. Şeýlelik bilen, oksid gatlagy 10,000Å össe, 4400Å kremniý sarp ediler. Bu gatnaşyk, basgançaklaryň beýikligini hasaplamak üçin möhümdirkremniý wafli. Bu ädimler, kremniniň wafli üstündäki dürli ýerlerde dürli okislenme derejesiniň netijesidir.
Şeýle hem, ýokary arassalykly grafit we kremniy karbid önümleri bilen üpjün edýäris, oksidlenmek, diffuziýa we anneal ýaly wafli gaýtadan işlemekde giňden ulanylýar.
Has giňişleýin pikir alyşmak üçin dünýäniň dürli künjeginden gelen müşderilere hoş geldiňiz!
https://www.vet-china.com/
Iş wagty: Noýabr-13-2024