SiC örtügi himiki bug çökdürilmegi (CVD), deslapky öwrülişik, plazma pürkmek we ş.m. arkaly taýýarlanyp bilner. Metil trihlosilany ulanmak. (CHzSiCl3, MTS) kremniniň çeşmesi hökmünde, CVD usuly bilen taýýarlanan SiC örtügi, bu örtügi ulanmak üçin has kämillik usulydyr.
SiC örtügi we grafit gowy himiki utgaşyklyga eýedir, olaryň arasyndaky ýylylyk giňelme koeffisiýentiniň tapawudy az, SiC örtügini ulanmak grafit materialynyň könelmegine we okislenme garşylygyny netijeli gowulaşdyryp biler. Olaryň arasynda stoiometrik gatnaşygy, reaksiýanyň temperaturasy, eritme gazy, hapa gaz we beýleki şertler reaksiýa uly täsir edýär.
Iş wagty: 14-2022-nji sentýabr