Geçiriji SiC substratlarynyň ýuwaş-ýuwaşdan köpçülikleýin öndürilmegi bilen, prosesiň durnuklylygy we gaýtalanmagy üçin has ýokary talaplar öňe sürülýär. Hususan-da, kemçiliklere gözegçilik etmek, peçdäki ýylylyk meýdanynyň kiçijik sazlanmagy ýa-da süýşmegi kristal üýtgemelere ýa-da kemçilikleriň köpelmegine sebäp bolar. Soňky döwürde “çalt, uzyn we galyň ösmek we ulalmak” meselesi bilen ýüzbe-ýüz bolmalydyrys, teoriýany we in engineeringenerçiligi kämilleşdirmekden başga-da, goldaw hökmünde has ösen ýylylyk meýdan materiallaryna mätäç. Ösen materiallary ulanyň, ösen kristallary ösdüriň.
Gyzgyn meýdanda grafit, gözenekli grafit, tantal karbid tozy we ş.m. ýaly möhüm materiallary nädogry ulanmak uglerodyň goşulmagy ýaly kemçiliklere sebäp bolar. Mundan başga-da, käbir programmalarda gözenekli grafitiň geçirijiligi ýeterlik däl we geçirijiligini ýokarlandyrmak üçin goşmaça deşikler zerurdyr. Highokary geçirijilikli gözenekli grafit gaýtadan işlemek, poroşok aýyrmak, efirlemek we ş.m. kynçylyklar bilen ýüzbe-ýüz bolýar.
HTB täze nesil SiC kristal ösýän ýylylyk meýdan materialy, gözenekli tantal karbidi bilen tanyşdyrýar. Dünýäde ilkinji çykyş.
Tantal karbidiň güýji we gatylygy gaty ýokary we ony gözenekli etmek kyn. Uly gözenekli we ýokary arassalygy bolan gözenekli tantal karbidini öndürmek gaty kyn mesele. “Hengpu Technology”, iň köp gözenekli, iň ýokary gözenekli 75% bilen dünýäde öňdebaryjy gözenekli tantal karbidini öňe sürdi.
Gaz fazasynyň komponentlerini süzmek, ýerli temperatura gradiýentini sazlamak, material akymynyň ugry, syzmagyna gözegçilik we ş.m. ulanylyp bilner. Hengpu tehnologiýasyndan başga bir gaty tantal karbidi (ykjam) ýa-da tantal karbid örtügi bilen dürli akym geçirijiligi bilen ýerli komponentleri emele getirip bolýar.
Käbir komponentleri gaýtadan ulanyp bolýar.
Iş wagty: Iýul-14-2023