TaC örtükli grafit

I. Parametr gözlegleri

1. TaCl5-C3H6-H2-Ar ulgamy

2. Depozit temperaturasy:

Termodinamiki formula görä, temperatura 1273K-dan ýokary bolanda, Gibbsiň erkin energiýasy gaty pes we reaksiýa birneme doly hasaplanýar. Reaksiýa hemişelik KP 1273K-de gaty uly we temperatura bilen çalt ýokarlanýar we ösüş depgini 1773K-de kem-kemden haýallaýar.

Örtügiň üstki morfologiýasyna täsiri: Temperatura laýyk däl bolanda (gaty ýokary ýa-da gaty pes), ýerüsti erkin uglerod morfologiýasyny ýa-da boş gözenekleri görkezýär.

.

(2) Alkanlaryň piroliz reaksiýa derejesi bilen tantal pentahloridiň peseliş reaksiýasynyň arasynda tapawut bar. Piroliz uglerody aşa köp we wagtynda tantal bilen birleşip bilmeýär, netijede uglerod bilen örtülýär.

Temperatura laýyk bolanda, üstüTaC örtükdykyzdyr.

TaCbölejikler biri-biri bilen ereýär we jemlenýär, kristal görnüşi doly we däne araçägi rahat geçýär.

3. Wodorod gatnaşygy:

Mundan başga-da, örtügiň hiline täsir edýän köp faktor bar:

Surfaceerüsti hil

- Gaz ýatagy

- Reaktiw gazyň garyşmagynyň birmeňzeş derejesi

II. Adaty kemçiliklertantal karbid örtügi

1. Örtügiň ýarylmagy we gabygy

Çyzykly ýylylyk giňelme koeffisiýenti çyzykly CTE:

2. Näsaz derňew:

(1) Sebäp:

(2) Häsiýetlendiriş usuly

The Galyndy ştammyny ölçemek üçin rentgen difraksiýa tehnologiýasyny ulanyň.

Hu Galyndy stresini çaklamak üçin Hu Ke kanunyny ulanyň.

(3) Baglanyşyk formulalary

3. Örtügiň we aşaky gatlagyň mehaniki laýyklygyny ýokarlandyrmak

(1) ineriň üstündäki ösüş örtügi

Malylylyk reaksiýasynyň çökmegi we diffuziýa tehnologiýasy TRD

Eredilen duz prosesi

Önümçilik işini ýönekeýleşdiriň

Reaksiýanyň temperaturasyny peseldiň

Has arzan

Ekologiýa taýdan has arassa

Uly senagat önümçiligi üçin amatly

(2) Birleşdirilen geçiş örtügi

Bilelikdäki depozit prosesi

CVDprosesi

Köp komponentli örtük

Her komponentiň artykmaçlyklaryny birleşdirmek

Örtügiň düzümini we ululygyny çeýe sazlaň

4. Termiki reaksiýa çöketligi we diffuziýa tehnologiýasy TRD

(1) Reaksiýa mehanizmi

TRD tehnologiýasyna, içmek prosesi hem diýilýär, ol taýýarlamak üçin bor kislotasy-tantal pentoksid-natriý florid-bor oksidi-bor karbid ulgamyny ulanýartantal karbid örtügi.

① Eredilen bor kislotasy tantal pentoksidini eredýär;

Ant Tantal pentoksidi işjeň tantal atomlaryna azalýar we grafitiň üstünde ýaýraýar;

Active Işjeň tantal atomlary grafitiň üstünde ýerleşdirilip, uglerod atomlary bilen emele gelýärtantal karbid örtügi.

(2) Reaksiýa açary

Karbid örtüginiň görnüşi, karbidi emele getirýän elementiň erkin okislenmeginiň emele gelmeginiň bor oksidinden has ýokary bolmagy talaplaryny kanagatlandyrmalydyr.

Karbidiň Gibbs erkin energiýasy ýeterlik derejede pesdir (başgaça, bor ýa-da bor emele gelip biler).

Tantal pentoksid bitarap oksiddir. Temperatureokary temperaturada eredilen boraksda güýçli gidroksidi oksidi natriý oksidi bilen reaksiýa berip, natriý tantalatyny emele getirip biler we şeýlelik bilen başlangyç reaksiýa temperaturasyny peselder.