Bug fazasynyň epitaksiýasy (VPE) prosesinde basgançagyň roly substraty goldamak we ösüş döwründe birmeňzeş ýyladyşy üpjün etmekdir. Dürli ösümlikler dürli ösüş şertleri we material ulgamlary üçin amatlydyr. Aşakda bug fazasynda köp ulanylýan pedal görnüşleri barepitaksiýa:
Barrel pedal
Barrel pedallar köplenç keseligine ýa-da egrelen bug fazasynyň epitaksiýa ulgamlarynda ulanylýar. Substraty saklap, epitagyň birmeňzeş ösmegine kömek edýän substratyň üstünden gazyň akmagyna ýol berip bilerler.
Disk şekilli pedal (dik pedal)
Disk şekilli pedallar, substratyň dikligine ýerleşdirilen dik bug fazasy epitaksi ulgamlary üçin amatlydyr. Bu dizaýn, substrat bilen duýgurlygyň arasyndaky aragatnaşyk meýdanyny azaltmaga kömek edýär, şeýlelik bilen ýylylygyň ýitmegini we bolup biljek hapalanmagy azaldýar.
Gorizontal duýgur
Gorizontal duýgurlar bug fazasy epitaksiýasynda az duş gelýär, ýöne keseliň ugry boýunça epitaksial ösmegine ýol açmak üçin käbir ösüş ulgamlarynda ulanylyp bilner.
Monolit epitaksial reaksiýa duýgurlygy
Monolit epitaksial reaksiýa duýgurlygy, ýokary hilli epitaksial gatlaklaryň ösmegi üçin has takyk temperatura gözegçiligini we has gowy ýylylyk izolýasiýasyny üpjün edip biljek bir substrat üçin niýetlenendir.
Önüm maglumatlary we maslahat üçin web sahypamyza hoş geldiňiz.
Sahypamyz: https://www.vet-china.com/
Iş wagty: Iýul-30-2024