Fotolitografiýa maşynlarynyň takyk bölekleri üçin islenýän material
Ondarymgeçiriji meýdanynda,kremniy karbid keramikimateriallar esasan kremniý karbid iş stoly, ýol görkeziji relsler ýaly toplumlaýyn zynjyr öndürmek üçin esasy enjamlarda ulanylýar,şöhlelendiriji, keramiki siňdirişlitografiýa maşynlary üçin gollar, üweýji diskler, gurallar we ş.m.
Silikon karbid keramiki bölekleriýarymgeçiriji we optiki enjamlar üçin
● Silikon karbid keramiki üweýji disk. Öýjükli disk çoýun ýa-da uglerod polatdan ýasalan bolsa, hyzmat möhleti gysga we ýylylyk giňelme koeffisiýenti uly. Silikon wafli gaýtadan işlenende, esasanam ýokary tizlikli üwemek ýa-da ýuwmak wagtynda, üweýji diskiň könelmegi we ýylylyk deformasiýasy kremniý wafliniň tekizligini we paralelligini üpjün etmegi kynlaşdyrýar. Silikon karbid keramikasyndan ýasalan ýylmaýjy diskiň gatylygy we pes köýnegi bar, ýylylyk giňelme koeffisiýenti esasan kremniý wafli bilen deňdir, şonuň üçin ýeriň üstünde we ýokary tizlikde polat edilip bilner.
● Silikon karbid keramiki gural. Mundan başga-da, kremniý wafli öndürilende, ýokary temperatura ýylylyk bejergisinden geçmeli we köplenç kremniy karbid gurallary bilen daşalýar. Olar ýylylyga çydamly we weýran ediji däldir. Almaz ýaly uglerod (DLC) we beýleki örtükler öndürijiligi ýokarlandyrmak, wafli zeperini azaltmak we hapalanmagyň ýaýramagynyň öňüni almak üçin ulanylyp bilner.
● Silikon karbid iş stoly. Mysal üçin, daşbasma enjamynda iş stoluny alyp, ýokary tizlikli, uly zarbaly, alty dereje erkinlik nano derejeli ultra takyk hereketi talap edýän iş stoly, täsir ediş hereketini tamamlamak üçin jogapkärdir. Mysal üçin, 100nm durulykda, örtüginiň takyklygy 33nm we çyzyk ini 10nm bolan daşbasma enjamy üçin 10nm ýetmek üçin iş ýeriniň ýerleşiş takyklygy talap edilýär, maska-kremniý wafli bir wagtyň özünde basgançak we skaner tizligi 150nm / s we degişlilikde 120nm / s, we maskany skanirlemegiň tizligi 500nm / s-a ýakyn, iş stolunyň bolsa ýokary hereket takyklygy we durnuklylygy bolmaly.
Iş stolunyň we mikro hereket tablisasynyň shemasy (bölekleýin bölüm)
● Silikon karbid keramiki inedördül aýna. Daşbasma maşynlary ýaly esasy integral zynjyr enjamlarynyň esasy komponentleri çylşyrymly şekillere, çylşyrymly ölçeglere we içi boş ýeňil gurluşlara eýe bolup, şeýle kremniy karbid keramiki komponentlerini taýýarlamagy kynlaşdyrýar. Häzirki wagtda Gollandiýadaky ASML, Japanaponiýadaky NIKON we CANON ýaly esasy halkara integral zynjyr enjamlaryny öndürijiler kwadrat aýnalary, daşbasma maşynlarynyň esasy böleklerini taýýarlamak we kremniy karbidini ulanmak üçin mikrokristally aýna we kordierit ýaly köp mukdarda material ulanýarlar. ýönekeý şekilli beýleki ýokary öndürijilikli gurluş komponentlerini taýýarlamak üçin keramika. Şeýle-de bolsa, Hytaý Gurluşyk materiallary gözleg institutynyň hünärmenleri uly göwrümli, çylşyrymly görnüşli, gaty ýeňil, doly ýapylan kremniy karbid keramiki kwadrat aýnalary we daşbasma maşynlary üçin beýleki gurluş we funksional optiki komponentleri taýýarlamak üçin eýeçilik taýýarlyk tehnologiýasyny ulandylar.
Iş wagty: 10-2024-nji oktýabr