Tüweleý nyşanlaryesasan integrirlenen zynjyrlar, maglumat saklaýyş, suwuk kristal displeýler, lazer ýatlamalary, elektron dolandyryş enjamlary we ş.m. ýaly elektronika we maglumat pudaklarynda ulanylýar. Şeýle hem aýna örtük ulgamynda, şeýle hem könelişmäge çydamly ulanylyp bilner. materiallar, ýokary temperaturaly poslama garşylyk, ýokary derejeli bezeg önümleri we beýleki pudaklar.
Tüýkürmek inçe film materiallaryny taýýarlamagyň esasy usullaryndan biridir.Wakuumda tizlenmek we jemlemek üçin ion çeşmelerinden emele gelen ionlary ulanýar, ýokary tizlikli energiýa ion şöhlelerini emele getirýär, gaty ýerini bombalaýar we ionlar bilen gaty ýer atomlarynyň arasynda kinetik energiýany alyşýar. Gaty üstündäki atomlar gaty gaty galdyrýar we substratyň üstünde goýulýar. Bombalanan gaty gaty tüýkürmek maksady bilen inçe filmleri goýmak üçin çig maldyr. Ondarymgeçirijiniň integral zynjyrlarynda, ýazgy metbugatynda, tekiz panelli displeýlerde we iş bölekleriniň üst örtüklerinde dürli görnüşli inçe film materiallary giňden ulanyldy.
Applicationhli amaly pudaklaryň arasynda ýarymgeçiriji pudagy maksatly tüýdükli filmler üçin iň berk hil talaplaryna eýedir. Highokary arassa metal dökmek maksatlary esasan wafli önümçiliginde we ösen gaplama amallarynda ulanylýar. Çip önümçiligini mysal hökmünde alyp, kremniý wafli bilen çipe çenli diffuziýa (ýylylyk prosesi), surat-litografiýa (surat-litografiýa), etç (Etch), 7 esasy önümçilik prosesinden geçmelidigini görüp bileris. Ion implantasiýasy (IonImplant), inçe filmiň ösüşi (dielektrik çöketligi), himiki mehaniki polishing (CMP), metallaşdyrma (metallaşdyrma) Amallar gabat gelýär ýeke-ýekeden. Tüýdük nyşany “metallizasiýa” prosesinde ulanylýar. Maksat ýokary energiýa bölejikleri bilen inçe film çökdüriji enjamlar bilen bombalanýar, soň bolsa geçiriji gatlak, barýer gatlagy ýaly kremniniň wafli boýunça aýratyn funksiýalary bolan demir gatlak emele gelýär. Garaşyň. Searymgeçirijileriň tutuş prosesi dürli-dürli bolansoň, ulgamyň dogry barlygyny barlamak üçin wagtal-wagtal ýagdaýlar zerurdyr, şonuň üçin önümleriň belli bir döwründe önümleriň belli bir döwründe köp sanly materiallary talap edýäris.
Iş wagty: -20anwar-17-2022