PECVD prosesi üçin grafit daşaýjy

PECVD prosesi üçin grafit göteriji Aýratyn surat

Gysga düşündiriş:

HTB energiýasyGün paneli üçin PECVD grafit gaýygy, ýokary öndürijilikli gün panellerini öndürmek üçin ýörite döredilen ösen komponent. Plazma güýçlendirilen himiki bug buglanyşy (PECVD) proseslerinde ulanylýan bu grafit gaýyk, materiallaryň amatly işlemegini we gün öýjüklerinde inçe filmleriň birmeňzeş ýerleşdirilmegini üpjün edýär. Takyklyk we çydamlylyk üçin işlenip düzülen, ýokary, ýokary hilli gün panellerini öndürmek üçin zerur bolan ýokary ýylylyk geçirijiligini, ýokary poslama garşylygy we minimal hapalanmagy üpjün edýär.

Bize e-poçta iberiň PDF görnüşinde göçürip alyň

Önümiň jikme-jigi

Haryt bellikleri

HTB energiýasyPECVD prosesi grafit göterijisi, PECVD (plazmany güýçlendirilen himiki bug çökdürmek) prosesi üçin taýýarlanan ýokary hilli sarp ediji. Bu grafit daşaýjy ýokary arassalyk, ýokary dykyzlykly grafit materialdan ýasalýar, ýokary temperatura garşylygy, poslama garşylygy, ölçeg durnuklylygy we beýleki aýratynlyklary, inçe filmiň birmeňzeşligini we tekizligini üpjün etmek üçin PECVD prosesi üçin durnukly daşaýjy platforma üpjün edip biler. depozit.

PECVD prosesi üçin grafit göterijiler aşakdaky aýratynlyklara eýedir:

▪ purokary arassalygy: gaty pes haramlyk, filmiň hapalanmagynyň öňüni almak we filmiň hilini üpjün etmek.

▪ ensokary dykyzlyk: ýokary dykyzlyk, ýokary mehaniki güýç, ýokary temperatura we ýokary basyşly PECVD gurşawyna çydap bilýär.

▪ Gowy ölçegli durnuklylyk: ýokary temperaturada kiçi ölçegli üýtgeşiklik, prosesiň durnuklylygyny üpjün edýär.

▪ Ajaýyp ýylylyk geçirijiligi: wafli gyzmagyň öňüni almak üçin ýylylygy netijeli geçiriň.

Rong Güýçli poslama garşylyk: dürli poslaýjy gazlar we plazmalar bilen eroziýa garşy durmaga ukyply.

▪ omöriteleşdirilen hyzmat: dürli ululykdaky we şekilli grafit göterijiler müşderiniň isleglerine görä düzülip bilner.

SGL-den grafit materialy:

Adaty parametr: R6510
Indeks	Synag standarty	Gymmatlyk	Bölüm
Dänäniň ortaça ululygy	ISO 13320	10	μm
Köp dykyzlygy	DIN IEC 60413/204	1.83	g / sm³
Açyk gözenek	DIN66133	10	%
Orta gözenegiň ululygy	DIN66133	1.8	μm
Ygtyýarlylyk	DIN 51935	0.06	cm² / s
Rokwelliň gatylygy HR5 / 100	DIN IEC60413 / 303	90	HR
Electricörite elektrik garşylygy	DIN IEC 60413/402	13	μm
Fleksural güýç	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Sykyş güýji	DIN 51910	130	MPa
Youngaş modul	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Malylylyk giňelişi (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Malylylyk geçirijiligi (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

G12 uly göwrümli wafli gaýtadan işlemegi goldaýan ýokary öndürijilikli gün öýjükleri öndürmek üçin ýörite döredildi. Optimal göterijiniň dizaýny, has ýokary öndürijilik we önümçilik çykdajylaryny peseltmek mümkinçiligini ep-esli ýokarlandyrýar.

Haryt	Görnüşi	San wafli daşaýjy
PEVCD Grefit gaýygy - 156 seriýa	156-13 grefit gaýygy	144
	156-19 grefit gaýygy	216
	156-21 grefit gaýygy	240
	156-23 grafit gaýyk	308
PEVCD Grefit gaýygy - 125 seriýa	125-15 grefit gaýygy	196
	125-19 grefit gaýygy	252
	125-21 grfit gaýyk	280