Grafit material talaplarynyň ýarymgeçiriji pudagy talaplary esasanam ýokary, grafitiň inçe bölejikleriniň ölçegi ýokary takyklyga, ýokary temperatura garşylyga, ýokary güýje, ownuk ýitgä we beýleki artykmaçlyklara eýe, mysal üçin: süzülen grafit önümleriniň galyplary.Ondarymgeçiriji pudagynda ulanylýan grafit enjamlarynyň (gyzdyryjylar we süzülen ölüleri hem goşmak bilen) grafit enjamlarynyň hyzmat möhletini uzaltmak üçin gaýtalanýan ýyladyş we sowadyş proseslerine garşy durmalydygy sebäpli, adatça ulanylýan grafit materiallarynyň durnukly işlemegi talap edilýär we ýylylyga çydamly täsir funksiýasy.
01 icarymgeçirijiniň kristal ösmegi üçin grafit esbaplary
Ondarymgeçiriji kristallary ösdürip ýetişdirmek üçin ulanylýan ähli amallar ýokary temperaturada we poslaýjy gurşawda işleýär. Kristal ösüş peçiniň gyzgyn zonasy, adatça gyzdyryjy, çüýrän, izolýasiýa silindri, ýol görkeziji silindr, elektrod, çüýşeli saklaýjy, elektrod hozy we ş.m. ýaly ýylylyga çydamly we poslama garşy ýokary arassa grafit komponentleri bilen enjamlaşdyrylandyr.
Aýry-aýry ýa-da toplumlar bilen üpjün edilip bilinýän kristal önümçilik enjamlarynyň ähli grafit böleklerini ýa-da müşderiniň talaplaryna laýyklykda dürli ululykdaky grafit böleklerini öndürip bileris. Önümleriň göwrümini saýtda ölçäp bolýar we taýýar önümleriň kül mukdary az bolup biler5ppm-den köp.
02 icarymgeçiriji epitaksiýasy üçin grafit esbaplary
Epitaksial proses, ýekeje kristal substratdaky substrat bilen birmeňzeş panjara tertibi bolan bir kristal materialyň gatlagynyň ösmegine degişlidir. Epitaksial prosesde wafli grafit diskine ýüklenýär. Grafit diskiň öndürijiligi we hili wafli epitaksial gatlagynyň hilinde möhüm rol oýnaýar. Epitaksial önümçilik pudagynda aşa ýokary arassalyk grafiti we SIC örtügi bilen ýokary arassalyk grafit bazasy zerur.
Ondarymgeçiriji epitaksi üçin kompaniýamyzyň grafit bazasy köp sanly amaly ýerine ýetirýär, pudakda giňden ulanylýan enjamlaryň köpüsine gabat gelýär we ýokary arassalygy, birmeňzeş örtügi, ajaýyp hyzmat ömri, ýokary himiki garşylyk we ýylylyk durnuklylygy bar.
03 Ion implantasiýasy üçin grafit esbaplary
Ion implantasiýasy, bor, fosfor we arseniň plazma şöhlesini belli bir energiýa çaltlaşdyrmak, soňra bolsa ýer gatlagynyň maddy aýratynlyklaryny üýtgetmek üçin wafli materialyň üstki gatlagyna sanjym etmek prosesine degişlidir. Ion implantasiýa enjamynyň düzüm bölekleri ýokary ýylylyk garşylygy, ýylylyk geçirijiligi, ion şöhlesiniň az poslamagy we pes haramlygy bilen ýokary arassa materiallardan ýasalmalydyr. Purokary arassalykly grafit amaly talaplara laýyk gelýär we ion implantasiýa enjamlarynyň uçuş turbasy, dürli bölekler, elektrodlar, elektrod örtükleri, geçirijiler, şöhle terminatorlary we ş.m. ulanylyp bilner.
Dürli ion implantasiýa maşynlary üçin diňe bir grafit gorag örtügi bilen üpjün etmek bilen çäklenmän, dürli spesifikasiýalaryň ýokary poslama garşylygy bilen ýokary arassa grafit elektrodlaryny we ion çeşmelerini hem üpjün edip bileris. Ulanylýan modeller: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM we beýleki enjamlar. Mundan başga-da, gabat gelýän keramiki, wolfram, molibden, alýumin önümleri we örtülen bölekler bilen üpjün edip bileris.
04 Grafit izolýasiýa materiallary we başgalar
Ondarymgeçiriji önümçilik enjamlarynda ulanylýan ýylylyk izolýasiýa materiallaryna grafit gaty, ýumşak duýgy, grafit folga, grafit kagyzy we grafit ýüp degişlidir.
Rawhli çig malymyz müşderiniň talaplarynyň belli bir ululygyna görä kesilip ýa-da umuman satylyp bilinýän grafitden getirilýär.
Kömürturşy gazy, gün monokristally kremniniň we polikristally kremniniň öýjükleriniň önümçilik prosesinde film örtügi göteriji hökmünde ulanylýar. Iş prinsipi: kremniý çipini CFC tarelkasyna salyň we filmiň örtügini gaýtadan işlemek üçin peç turbasyna iberiň.
