เนื่องจากมีการผลิตซับสเตรต SiC ที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าในปริมาณมากทีละน้อย ข้อกำหนดที่สูงขึ้นจึงถูกหยิบยกขึ้นมาเพื่อความเสถียรและความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการ โดยเฉพาะอย่างยิ่ง การควบคุมข้อบกพร่อง การปรับเล็กน้อยหรือการเคลื่อนตัวของสนามความร้อนในเตาเผา จะทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงของผลึกหรือเพิ่ม...
อ่านเพิ่มเติม