ในระหว่างกระบวนการ epitaxy เฟสไอ (VPE) บทบาทของฐานคือการรองรับพื้นผิวและให้ความร้อนสม่ำเสมอในระหว่างกระบวนการเติบโต ฐานประเภทต่างๆ เหมาะสำหรับสภาพการเจริญเติบโตและระบบวัสดุที่แตกต่างกัน ต่อไปนี้คือฐานบางประเภทที่ใช้กันทั่วไปในเฟสไอเยื่อบุผิว:
แท่นถัง
ฐานถังมักใช้ในระบบ epitaxy แบบเฟสไอแนวนอนหรือแบบเอียง พวกเขาสามารถยึดซับสเตรตและปล่อยให้ก๊าซไหลผ่านซับสเตรต ซึ่งช่วยให้เกิดการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิวที่สม่ำเสมอ
แท่นรูปดิสก์ (แท่นแนวตั้ง)
ฐานรูปทรงแผ่นดิสก์เหมาะสำหรับระบบ epitaxy เฟสไอในแนวตั้ง ซึ่งวางวัสดุพิมพ์ในแนวตั้ง การออกแบบนี้ช่วยลดพื้นที่สัมผัสระหว่างพื้นผิวและตัวรับ จึงช่วยลดการสูญเสียความร้อนและการปนเปื้อนที่อาจเกิดขึ้น
ตัวรับแนวนอน
ตัวรับความรู้สึกแนวนอนพบได้น้อยใน epitaxy เฟสไอ แต่อาจใช้ในระบบการเจริญเติบโตเฉพาะบางระบบเพื่อให้เยื่อบุผิวเติบโตในแนวนอน
ตัวรับปฏิกิริยา epitaxis แบบเสาหิน
ตัวรับปฏิกิริยาเอพิแทกเซียลเสาหินได้รับการออกแบบมาสำหรับซับสเตรตเดี่ยว ซึ่งสามารถควบคุมอุณหภูมิได้แม่นยำยิ่งขึ้น และการแยกตัวทางความร้อนได้ดีขึ้น เหมาะสำหรับการเติบโตของชั้นเอพิแทกเซียลคุณภาพสูง
ยินดีต้อนรับสู่เว็บไซต์ของเราสำหรับข้อมูลผลิตภัณฑ์และคำปรึกษา
เว็บไซต์ของเรา: https://www.vet-china.com/
เวลาโพสต์: 30 ก.ค.-2024