ภาพรวมของแผ่นกราไฟท์

ฐานบดหินเคลือบ SIC มีคุณลักษณะทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชัน ความบริสุทธิ์สูง กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์ และฟังก์ชันทางกายภาพและเคมีที่มั่นคง เมื่อเทียบกับกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงที่ 400°C จะเริ่มต้นการเกิดออกซิเดชันที่รุนแรง แม้ว่าอุณหภูมิจะไม่สูง การใช้งานในระยะยาวจะเกิดจากการออกซิเดชันและผง ขึ้นอยู่กับชิ้นงานและโต๊ะหรือมลพิษจากการใช้สิ่งแวดล้อม ดังนั้นฐานกราไฟท์เคลือบ SIC เป็นอุปกรณ์ MOCVD ใหม่ กระบวนการเผาผงจะค่อยๆ แทนที่กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง

คุณสมบัติหลัก:

1. สารต้านอนุมูลอิสระที่อุณหภูมิสูง: สารต้านอนุมูลอิสระ ฟังก์ชั่นสารต้านอนุมูลอิสระยังคงดีมากเมื่ออุณหภูมิสูงถึง 1600 ℃;

2. ความบริสุทธิ์สูง: ได้มาจากวิธีการสะสมไอสารเคมีภายใต้สภาวะคลอรีนที่อุณหภูมิสูง

3. ความต้านทานการกัดกร่อน: ความแข็งสูง, พื้นผิวหนาแน่น, อนุภาคละเอียด;

ความต้านทานการกัดกร่อน: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์

5. ชั้นผิว SIC คือ β-ซิลิคอนคาร์ไบด์ ซึ่งเป็นลูกบาศก์ที่มีศูนย์กลางอยู่ที่ใบหน้า