ข้อกำหนดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับความต้องการวัสดุกราไฟท์นั้นสูงเป็นพิเศษ ขนาดอนุภาคละเอียดของกราไฟท์มีความแม่นยำสูง ทนต่ออุณหภูมิสูง มีความแข็งแรงสูง การสูญเสียเล็กน้อย และข้อดีอื่น ๆ เช่น: แม่พิมพ์ผลิตภัณฑ์กราไฟท์เผาเนื่องจากอุปกรณ์กราไฟท์ที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ (รวมถึงเครื่องทำความร้อนและแม่พิมพ์ซินเตอร์) จำเป็นต้องทนต่อกระบวนการทำความร้อนและความเย็นซ้ำๆ เพื่อยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์กราไฟท์ โดยทั่วไปวัสดุกราไฟท์ที่ใช้จะต้องมีประสิทธิภาพที่มั่นคง และฟังก์ชั่นกันกระแทกทนความร้อน
01 อุปกรณ์เสริมกราไฟท์สำหรับการเติบโตของคริสตัลเซมิคอนดักเตอร์
กระบวนการทั้งหมดที่ใช้ในการปลูกผลึกเซมิคอนดักเตอร์ทำงานภายใต้อุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อน โซนร้อนของเตาเติบโตคริสตัลมักจะติดตั้งส่วนประกอบกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงทนความร้อนและทนต่อการกัดกร่อนเช่นเครื่องทำความร้อนเบ้าหลอมกระบอกฉนวนกระบอกนำอิเล็กโทรดตัวยึดเบ้าหลอมน็อตอิเล็กโทรด ฯลฯ
เราสามารถผลิตชิ้นส่วนกราไฟท์ทั้งหมดของอุปกรณ์การผลิตคริสตัล ซึ่งสามารถจัดหาแยกชิ้นหรือเป็นชุด หรือปรับแต่งชิ้นส่วนกราไฟท์ในขนาดต่างๆ ตามความต้องการของลูกค้า สามารถวัดขนาดของผลิตภัณฑ์ได้ที่ไซต์งาน และปริมาณเถ้าของผลิตภัณฑ์สำเร็จรูปอาจน้อยกว่านี้ได้กว่า 5ppm
02 อุปกรณ์เสริมกราไฟท์สำหรับ epitaxy เซมิคอนดักเตอร์
กระบวนการอีปิแอกเซียลหมายถึงการเติบโตของชั้นของวัสดุผลึกเดี่ยวที่มีการจัดเรียงแบบขัดแตะเดียวกันกับซับสเตรตบนพื้นผิวผลึกเดี่ยว ในกระบวนการอีปิแอกเซียล แผ่นเวเฟอร์จะถูกโหลดลงบนแผ่นกราไฟท์ ประสิทธิภาพและคุณภาพของแผ่นกราไฟท์มีบทบาทสำคัญในคุณภาพของชั้นเอพิแทกเซียลของเวเฟอร์ ในด้านการผลิตอีปิแอกเซียล จำเป็นต้องใช้กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษและฐานกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงพร้อมการเคลือบ SIC จำนวนมาก
ฐานกราไฟท์ของบริษัทของเราสำหรับเซมิคอนดักเตอร์เอพิแทกซีมีการใช้งานที่หลากหลาย สามารถจับคู่กับอุปกรณ์ที่ใช้กันทั่วไปส่วนใหญ่ในอุตสาหกรรมได้ และมีความบริสุทธิ์สูง การเคลือบสม่ำเสมอ อายุการใช้งานที่ดีเยี่ยม และทนทานต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนสูง
03 อุปกรณ์เสริมกราไฟท์สำหรับการฝังไอออน
การฝังไอออนหมายถึงกระบวนการเร่งลำแสงพลาสมาของโบรอน ฟอสฟอรัส และสารหนูให้เป็นพลังงานจำนวนหนึ่ง จากนั้นจึงฉีดเข้าไปในชั้นผิวของวัสดุเวเฟอร์เพื่อเปลี่ยนคุณสมบัติของวัสดุของชั้นผิว ส่วนประกอบของอุปกรณ์ฝังไอออนจะต้องทำจากวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูง ทนความร้อนได้ดีเยี่ยม การนำความร้อน การกัดกร่อนที่เกิดจากลำแสงไอออนน้อยลง และมีปริมาณสิ่งเจือปนต่ำ กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงตรงตามข้อกำหนดการใช้งาน และสามารถใช้กับท่อบิน สลิตต่างๆ อิเล็กโทรด ฝาครอบอิเล็กโทรด ท่อร้อยสาย เทอร์มิเนเตอร์ลำแสง ฯลฯ ของอุปกรณ์ปลูกฝังไอออน
เราไม่เพียงแต่จัดหาฝาครอบป้องกันกราไฟท์สำหรับเครื่องปลูกฝังไอออนต่างๆ เท่านั้น แต่ยังสามารถจัดหาขั้วไฟฟ้ากราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและแหล่งไอออนที่มีความต้านทานการกัดกร่อนสูงตามข้อกำหนดเฉพาะต่างๆ อีกด้วย รุ่นที่ใช้งานได้: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM และอุปกรณ์อื่นๆ นอกจากนี้เรายังสามารถจัดหาผลิตภัณฑ์เซรามิก ทังสเตน โมลิบดีนัม อลูมิเนียม และชิ้นส่วนเคลือบที่เข้ากัน
04 วัสดุฉนวนกราไฟท์และอื่นๆ
วัสดุฉนวนความร้อนที่ใช้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ได้แก่ ผ้าสักหลาดแข็งกราไฟท์ ผ้าสักหลาดนุ่ม ฟอยล์กราไฟท์ กระดาษกราไฟท์ และเชือกกราไฟท์
วัตถุดิบทั้งหมดของเรานำเข้ากราไฟท์ ซึ่งสามารถตัดตามขนาดเฉพาะความต้องการของลูกค้าหรือจำหน่ายโดยรวมได้
ถาดคาร์บอน-คาร์บอนถูกใช้เป็นตัวพาสำหรับการเคลือบฟิล์มในกระบวนการผลิตซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์แสงอาทิตย์และเซลล์โพลีคริสตัลไลน์ซิลิคอน หลักการทำงานคือ: ใส่ชิปซิลิกอนลงในถาด CFC แล้วส่งเข้าไปในท่อเตาหลอมเพื่อประมวลผลการเคลือบฟิล์ม
