Вафери эпитаксиалии карбиди кремний (SiC).

Тавсифи кӯтоҳ:

Вафери кремнийи карбиди (SiC) Epitaxial аз VET Energy як субстрати баландсифатест, ки барои қонеъ кардани талаботи серталаби насли ояндаи нерӯи барқ ​​ва дастгоҳҳои RF пешбинӣ шудааст. VET Energy кафолат медиҳад, ки ҳар як пластинкаи эпитаксиалӣ барои таъмини гармидиҳии олӣ, шиддати вайроншавӣ ва ҳаракати интиқолдиҳанда бодиққат истеҳсол карда мешавад, ки онро барои барномаҳо ба монанди мошинҳои барқӣ, алоқаи 5G ва электроникаи пурсамара беҳтарин месозад.


Тафсилоти маҳсулот

Тегҳои маҳсулот

Вафери эпитаксиалии карбиди кремнийи VET Energy (SiC) як маводи нимноқили фарох-маънои баланд бо муқовимати аълои ҳарорати баланд, басомади баланд ва хусусиятҳои қудрати баланд мебошад. Ин як субстрати беҳтарин барои насли нави дастгоҳҳои электронии барқӣ мебошад. VET Energy технологияи пешрафтаи эпитаксиалии MOCVD-ро барои парвариши қабатҳои баландсифати эпитаксиалии SiC дар субстратҳои SiC истифода мебарад ва иҷрои аъло ва мувофиқати вафлиро таъмин мекунад.

Вафери кремнийи карбиди (SiC) эпитаксиалии мо мутобиқати аълоро бо маводи гуногуни нимноқилӣ, аз ҷумла Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer ва SiN Substrate пешниҳод мекунад. Бо қабати устувори эпитаксиалии худ, он равандҳои пешрафтаро ба монанди афзоиши Epi Wafer ва ҳамгироӣ бо маводҳо ба монанди Gallium Oxide Ga2O3 ва AlN Wafer дастгирӣ мекунад ва истифодаи ҳамаҷонибаро дар технологияҳои гуногун таъмин мекунад. Он барои мувофиқ будан бо системаҳои коркарди Кассетаи стандартии саноат тарҳрезӣ шудааст, он амалиёти самаранок ва соддакардашударо дар муҳити истеҳсоли нимноқилҳо таъмин мекунад.

Хатти маҳсулоти VET Energy бо вафли эпитаксиалии SiC маҳдуд намешавад. Мо инчунин доираи васеи маводи субстратҳои нимноқилро, аз ҷумла Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer ва ғайра пешниҳод менамоем. Илова бар ин, мо инчунин фаъолона маводҳои нимноқилҳои васеъро ба мисли Gallium Oxide Ga2O3 ва AlN таҳия карда истодаем. Wafer, барои қонеъ кардани талаботи саноати ояндаи энергетикӣ ба дастгоҳҳои баландсифат.

第6页-36
第6页-35

МАСЪУЛИЯТҲОИ ВАФЕРИНГ

*n-Pm=n-намуди Pm-дараҷа,n-Ps=n-намуди Ps-дара,Sl=ним-изолятсия

Адад

8-дюйм

6-дюйм

4-дюйм

нП

н-пм

n-Ps

SI

SI

TTV (GBIR)

≤6ум

≤6ум

Камон(GF3YFCD) -Арзиши мутлақ

≤15мкм

≤15мкм

≤25мкм

≤15мкм

Варп (GF3YFER)

≤25мкм

≤25мкм

≤40мкм

≤25мкм

LTV (SBIR) -10ммх10мм

<2мкм

Edge Wafer

Бевор кардан

РАФТИ РУИ

*n-Pm=n-намуди Pm-дараҷа,n-Ps=n-намуди Ps-дара,Sl=ним-изолятсия

Адад

8-дюйм

6-дюйм

4-дюйм

нП

н-пм

n-Ps

SI

SI

Андозаи рӯизаминӣ

Лаҳистони оптикии дуҷониба, Si- Face CMP

Ноҳамвории рӯизаминӣ

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm
C-Face Ra≤ 0,5 нм

(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm
C-Face Ra≤0.5nm

Чипҳои Edge

Ягон иҷозат дода намешавад (дарозӣ ва паҳнӣ≥0,5мм)

Дохилшавӣ

Ҳеҷ иҷозат дода намешавад

Харошидан (Si-Face)

Миқдори ≤5, Ҷамъоварӣ
Дарозӣ≤0,5×диаметри вафли

Миқдори ≤5, Ҷамъоварӣ
Дарозӣ≤0,5×диаметри вафли

Миқдори ≤5, Ҷамъоварӣ
Дарозӣ≤0,5×диаметри вафли

Тарқишҳо

Ҳеҷ иҷозат дода намешавад

Истиснои канор

3мм

tech_1_2_андоза
下载 (2)

  • гузашта:
  • Баъдӣ:

  • Чат онлайни WhatsApp!