Силикон карбиди Камушки Wafer Disc Susceptor

Силикон карбиди Камушки Wafer Susceptor Disc Тасвири Тавсифи

Тавсифи кӯтоҳ:

Диски ҳассосии пластинка бо карбиди кремнийи VET Energy як маҳсули сермаъноест, ки барои таъмини иҷрои пайваста ва боэътимод дар тӯли муддати тӯлонӣ пешбинӣ шудааст. Он дорои муқовимати хеле хуби гармӣ ва якрангии гармӣ, покии баланд, муқовимат ба эрозия мебошад, ки онро барои ҳалли беҳтарин барои коркарди вафель табдил медиҳад.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед Ҳамчун PDF зеркашӣ кунед

Тафсилоти маҳсулот

Тегҳои маҳсулот

Диски кремний карбиди вафли як ҷузъи калидӣ мебошад, ки дар равандҳои гуногуни истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешавад. мо технологияи патентшудаи худро барои бехатар кардани диски карбиди кремний бо тозагии бениҳоят баланд, якрангии хуби пӯшиш ва мӯҳлати хидматрасонии аъло, инчунин муқовимати баланди кимиёвӣ ва хосиятҳои устувории гармиро истифода мебарем.

VET Energy истеҳсолкунандаи воқеии маҳсулоти фармоишии графит ва карбиди кремний бо рӯйпӯшҳои гуногун ба монанди SiC, TaC, карбон пиролитикӣ, шиша-карбон ва ғайра мебошад, метавонад қисмҳои гуногуни фармоиширо барои саноати нимноқилҳо ва фотоэлектрикҳо таъмин намояд. Гурӯҳи техникии мо аз муассисаҳои олии тадқиқотии ватанӣ меояд, метавонад барои шумо ҳалли бештари моддиро пешниҳод кунад.

Мо пайваста равандҳои пешрафтаро барои таъмини маводҳои пешрафта таҳия мекунем ва технологияи истисноии патентиро кор карда баромадем, ки метавонад пайванди байни рӯйпӯш ва субстратро сахттар ва ба ҷудошавӣ камтар моил кунад.

Fхусусиятҳои маҳсулоти мо:

1. Муқовимати оксидшавии ҳарорати баланд то 1700℃.
2. тозагии баланд ваякрангии гармидиҳӣ
3. Муқовимат ба зангзании аъло: кислота, сілтӣ, намак ва реагентҳои органикӣ.
4. Сахтии баланд, сатҳи паймон, зарраҳои хуб.
5. Муддати хизмати дарозтар ва пойдору бештар

CVD SiC薄膜基本物理性能 Хусусиятҳои асосии физикии CVD SiCпӯшиш
性质 / Амвол	典型数值 / Арзиши маъмулӣ
晶体结构 / Сохтори Кристалл	Марҳилаи β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Зичии	3,21 г/см³
硬度 / Сахтӣ	2500 维氏硬度（500г бор）
晶粒大小 / Андозаи гандум	2 ~ 10 мкм
纯度 / Тозагии кимиёвӣ	99.99995%
热容 / Иқтидори гармӣ	640 Йкг^-1· К^-1
升华温度 / Ҳарорати сублиматсия	2700℃
抗弯强度 / Қувваи флексия	415 МПа ҶТ 4-нуқта
杨氏模量 / Модули ҷавон	430 Gpa 4pt хам, 1300 ℃
导热系数 / Термалгузаронанда	300Вт·м^-1· К^-1
热膨胀系数 / Тавсеаи гармидиҳӣ (CTE)	4,5×10^-6K^-1